苏言

作品数：1被引量：12H指数：1
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硅微机械陀螺仪温度补偿方法的研究现状被引量：12
《微纳电子技术》2017年第6期395-400,共6页刘楠 苏言 童鑫 韩国威 司朝伟 宁瑾 
国家自然科学基金资助项目(61274001;61234007;61504130)
综述了硅微机械陀螺仪温度补偿方法的研究现状。介绍了陀螺仪的基本原理,并分析了陀螺仪的温度特性。分别对温度控制、器件设计和算法补偿三种温度补偿方法进行了原理和结果分析,总结了各种方法的优势与不足。介绍了算法补偿中两种常用...
关键词：微机械系统(MEMS) 陀螺仪 零偏稳定性 温度补偿 软件算法补偿 
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