马静

作品数：2被引量：17H指数：1
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供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文主题：光吸收减反射膜阳极氧化铝感应耦合等离子体复合结构更多>>
发文领域：理学机械工程电子电信更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《激光与光电子学进展》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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量子定位导航技术研究与发展现状被引量：16
《激光与光电子学进展》2018年第9期23-37,共15页宋培帅 马静 马哲 张淑媛 司朝伟 韩国威 宁瑾 杨富华 王晓东 
国家自然科学基金(61474115;61504130;61704165;51720105004)
最近二十年,作为一种新型导航技术,量子定位系统(QPS)因其特有的信息传输优势得到了飞速发展。简要介绍了卫星导航与惯性导航系统的原理及各自面临的问题,阐述了量子定位导航系统的概念与基本原理、量子导航的优势、量子导航的分类及国...
关键词：量子光学 量子定位系统 卫星导航 量子通信 量子信息和处理 
GaAs/Si直接键合用GaAs表面化学活化技术被引量：1
《微纳电子技术》2014年第8期523-528,541,共7页马静 刘雯 杨添舒 时彦朋 杨富华 王晓东 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2012CB934204);国家自然科学基金资助项目(61076077;61274066)
研究了GaAs/Si疏水性直接键合技术中GaAs表面化学活化关键工艺,对比分析了不同体积分数的HF和HCl溶液作为表面活性处理剂时对GaAs表面进行活化处理的结果。发现用HCl和H2O溶液处理GaAs晶片得到的表面均方根粗糙度要优于用HF处理得到的结...
关键词：疏水性 直接键合 清洗工艺 原子力显微镜 表面均方根粗糙度 
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