云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 李艳

李艳: 作品数：1被引量：1H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>; 发文主题：掩膜干法刻蚀光刻胶淀积镍更多>>; 发文领域：电子电信理学化学工程更多>>; 发文期刊：《分析测试技术与仪器》更多>>; 所获基金：中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目国家自然科学基金更多>>

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瓦里安300XP离子注入机改造及功能开发被引量：1: 《分析测试技术与仪器》2020年第3期151-159,共9页张明亮韩国威刘庆李艳杨富华王晓东; 国家重点研发计划(项目号:2019YFB1503602,2018YFB1107502);国家自然科学基金(项目号:51720105004);中国科学院科研仪器设备研制项目(项目号:GJJSTD20200006);中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目。; 在完全掌握瓦里安300XP离子注入机各部件的工作原理后,将原离子源供电系统中500 W电流源和450 W起弧电源升级为1500 W电流源和1500 W起弧电源,并集成到当前系统中.将现有不稳定的气体流量、离子源电源、分析器、源磁场和吸极高压塑料光...; 关键词：离子注入浓硼掺杂自停止腐蚀微电子机械系统压力传感器热电器件纳米谐振子