硅微机械陀螺仪

作品数：28被引量：99H指数：7
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硅微机械陀螺仪频率调谐控制系统设计被引量：6
《中国惯性技术学报》2017年第6期793-798,共6页曹慧亮 张英杰 闫捷 李宏生 申冲 刘俊 
国家自然基金项目(51727808;51705477;61603353;61503346);山西省回国留学人员科研资助项目(2016-083);中北大学电子测试技术重点实验室开放基金(ZDSYSJ2015004);毁伤技术重点学科实验室开放基金(DXMBJJ2017-15)
硅微机械陀螺结构的驱动和检测模态谐振频率差(Δf)是决定其结构机械灵敏度的主要因素,当Δf≈0时,陀螺结构处于频率调谐状态,此时陀螺的机械灵敏度达到最大峰值且噪声和分辨率等指标可得到有效提高。提出了一种基于正交信号和驱动位移...
关键词：硅微机械陀螺仪 模态频率调谐 鉴相 模型仿真 模态刚度调节 
硅微机械陀螺仪温度补偿方法的研究现状被引量：12
《微纳电子技术》2017年第6期395-400,共6页刘楠 苏言 童鑫 韩国威 司朝伟 宁瑾 
国家自然科学基金资助项目(61274001;61234007;61504130)
综述了硅微机械陀螺仪温度补偿方法的研究现状。介绍了陀螺仪的基本原理,并分析了陀螺仪的温度特性。分别对温度控制、器件设计和算法补偿三种温度补偿方法进行了原理和结果分析,总结了各种方法的优势与不足。介绍了算法补偿中两种常用...
关键词：微机械系统(MEMS) 陀螺仪 零偏稳定性 温度补偿 软件算法补偿 
双质量硅微机械陀螺仪带宽拓展系统设计被引量：5
《中国惯性技术学报》2016年第2期218-223,共6页曹慧亮 李宏生 申冲 石云波 刘俊 王华 
国家杰出青年科学基金(51225504);973(2012CB723404);总装预研基金项目(9140A09011313JW06119);江苏省科技攻关项目(BE2014003-3);中北大学校基金
检测开环状态下,微机械陀螺的实际工作带宽约为驱动和检测模态固有频率差值(?f)的一半,而陀螺结构的机械灵敏度与Δf成反比,较高的机械灵敏度有助于优化陀螺的噪声特性。本文提出了一种较为通用的陀螺带宽拓展方法,在使陀螺拥有较好的...
关键词：双质量硅微机械陀螺仪 带宽拓展 比例-积分串联相位超前 模型仿真 
硅微陀螺正交误差校正方案优化被引量：6
《光学精密工程》2016年第1期134-142,共9页曹慧亮 王玉良 石云波 申冲 李宏生 刘俊 杨志才 
总装预研基金资助项目(No.9140A09011313JW06119);江苏省科技攻关计划资助项目(No.BE2014003);国家杰出青年科学基金资助项目(No.51225504);国家安全重大基础研究计划资助项目(No.2012CB723404);中北大学科研基金资助项目
本文意在寻求双质量硅微机械陀螺仪正交校正最优方案。首先介绍了带有正交校正和检测力反馈梳齿的双质量硅微机械陀螺结构,量化分析了正交误差对输出信号的影响并进行了仿真,结果显示解调相角变化为±2°,200(°)/s的正交误差等效输入...
关键词：硅微机械陀螺仪 电荷注入法 正交力校正 正交耦合刚度校正 
基于偶极子补偿法的硅微机械陀螺仪带宽拓展被引量：9
《仪器仪表学报》2015年第11期2427-2434,共8页曹慧亮 李宏生 申冲 刘俊 杨波 
国家杰出青年科学基金(51225504);国家973计划(2012CB723404);国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金(U1230114);中北大学基金项目资助
硅微机械陀螺仪的机械灵敏度与驱动和检测模态的谐振频率差Δf成反比,而Δf处的谐振峰是影响陀螺带宽的直接因素,带宽约0.54Δf,因此,带宽和机械灵敏度往往成为两个互为矛盾的指标。基于自动控制原理中介绍的偶极子理论提出了偶极子补...
关键词：硅微机械陀螺仪 偶极子补偿 带宽拓展 模态叠加 谐振峰 控制器设计 
双质量硅微机械陀螺仪正交校正系统设计及测试被引量：8
《中国惯性技术学报》2015年第4期544-549,共6页曹慧亮 李宏生 申冲 石云波 刘俊 杨波 
总装预研基金项目(9140A09011313JW06119);江苏省科技攻关项目(BE2014003-3);国家杰出青年科学基金(51225504);国防973(2012CB723404);国家自然科学基金委员会;中国工程物理研究院联合基金资助(U1230114);中北大学校基金
为了减小正交误差对双质量硅微机械陀螺仪性能的影响,进一步提高陀螺精度和工程化成品率,对双质量结构正交耦合刚度校正法进行了研究。首先,针对双质量陀螺结构的特殊形式,分析了其左、右结构中正交耦合刚度不相等的原因,并结合相敏检...
关键词：双质量硅微机械陀螺仪 正交误差 正交耦合刚度校正 两质量块单独校正 性能测试 
硅微机械陀螺仪测控电路的温度补偿被引量：10
《光学精密工程》2013年第12期3118-3125,共8页曹慧亮 李宏生 王寿荣 杨波 黄丽斌 
国家自然科学基金资助项目(No.60974116;No.61101021;No.61104217);江苏省自然科学基金资助项目(No.BK2010401)
提出了一种基于微机械陀螺仪测控电路进行温度补偿的方法。介绍了本课题组自主研发的SHH17#陀螺结构,分析了温度变化对陀螺的影响,并对驱动和检测模态的谐振频率,品质因数以及标度因数和零偏进行了测试。分析了陀螺结构的动力学方程以...
关键词：硅微机械陀螺仪 测温电路 温度补偿 标度因数 零偏 热敏电阻 
电容式硅微机械陀螺仪结构设计及仿真被引量：1
《功能材料与器件学报》2011年第3期333-337,共5页赵幸娟 王瑞荣 石云波 刘俊 唐军 
高灵敏度多层纳米膜隧穿微陀螺仪研究(50675212);重点实验室基金(NO.9140C1204021008)
通过对微机械陀螺的调研分析,提出了一种新型微机械陀螺仪,并对陀螺进行了结构设计。该结构采用静电梳齿驱动、栅结构电容检测,使陀螺具有较高灵敏度。驱动模态和检测模态均为滑膜阻尼,能够实现较高的Q值,且具有一定的解耦特性。文中通...
关键词：硅微机械陀螺 电容检测 结构设计 
硅微机械陀螺仪温度控制系统的PID算法实现被引量：3
《测控技术》2010年第8期4-7,12,共5页盛霞 王寿荣 陈淑铃 夏敦柱 
国防预研项目支持(6922002055)
温度的变化对硅微机械陀螺仪的性能有较大的影响,对温度的稳定性控制有着重要意义。分析了硅微机械陀螺仪的温度影响机理,通过对表头测试得到性能参数随温度变化的规律。介绍了PID控制算法的基本概念,对其进行了系统仿真,并在实际的温...
关键词：硅微机械陀螺仪 温度控制 PID算法 
一种适用于旋转弹单通道控制的硅微机械陀螺仪被引量：2
《中国惯性技术学报》2009年第5期599-603,共5页严庆文 张福学 吴立锋 刘宇 
国家自然科学基金项目(60627001);北京市传感器重点实验室开放课题(KM200810772003);北京市教委科技创新平台基金资助项目(PXM2008014224067420)
单通道控制是一种简单实用的旋转弹控制方式。通过控制旋转弹的舵面偏转方向,可减小弹体受横向角速率的影响,提高旋转弹的命中率。针对单通道控制方式,提出了一种可用于提供控制信号的硅微机械陀螺仪。陀螺仪无驱动部分,体积小,结构简...
关键词：微机械 陀螺仪 旋转弹 单通道控制 
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