微机械加速度计

作品数：92被引量：251H指数：8
导出分析报告
相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
相关作者：董景新刘云峰金仲和任杰常洪龙更多>>
相关机构：清华大学浙江大学西北工业大学北京航空航天大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国防科技技术预先研究基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于AD7124的高精度MEMS加速度计信号处理系统
《半导体光电》2024年第5期792-797,共6页唐宇莎 张伟 郭子龙 
国家自然科学基金资助项目(61372016);北京市教育委员会科技计划重点项目(KZ201711232030);传感器北京市重点实验室开放课题基金资助项目(2022CGKF002).
为降低加速度计存在的零点漂移对测量精度的影响,满足低量程微机械(MEMS)加速度计的测量精度和漂移需求,设计了一种基于AD7124的高精度MEMS加速度计信号处理系统。以STM32F303CBT6为核心控制器,驱动高精度模/数(A/D)转换芯片AD7124进行...
关键词：微机械加速度计 AD7124 脉冲宽度调制 加权移动平均滤波 零点漂移 
梳状电容式微加速度计温度性能优化
《导航与控制》2019年第4期89-94,共6页王帅民 孙国良 牛昊斌 李博洋 余才佳 
零偏温度漂移是影响高精度MEMS加速度计整体性能的关键指标,敏感结构机械零位的温度漂移和电路零位(电容检测电路)的温度漂移是加速度计零偏温度漂移的直接原因。分析了影响加速度计零偏温度系数的3种主要影响因素,提出了某型加速度计...
关键词：微机械加速度计 温度系数 电路零位 全硅表头 封装粘胶技术 
用于微机械加速度计的亚微米工艺ADC设计被引量：1
《西安电子科技大学学报》2019年第3期140-147,共8页于健海 尹亮 
国家自然科学基金(61562074);广西高校科学技术研究项目(KY2015ZD123);广西创新驱动发展专项(科技重大专项)(桂科AA181180361)
为了满足高性能微机械加速度计输出数字化的应用需求,基于亚微米工艺提出了一种16位高阶∑Δ模数转换器。采用五阶前馈单比特量化的方法,实现转换器低失真输出。前级积分器采用增益增强折叠共源共栅一级运放结构,提高低频增益,减少前级...
关键词：微机械加速度计 ∑Δ模数转换器 低失真 增益增强折叠共源共栅 
基于模态局部化效应的微机械加速度计研究进展被引量：3
《导航与控制》2018年第6期16-22,93,共8页康昊 常洪龙 
国家自然科学基金(编号:51575454)
模态局部化效应是安德森局部化在结构动力学中的一种具体表现形式,其利用振动模态的能量局部集中效应实现了灵敏度的大幅度提高。因此,模态局部化效应近年来逐渐被用于研制高精度的谐振式传感器。介绍了模态局部化效应的基本原理及发展...
关键词：模态局部化 弱耦合谐振器 谐振式传感器 加速度计 
MEMS加速度计噪声分析与降噪方法研究被引量：12
《传感器与微系统》2018年第7期45-48,55,共5页杜少林 陈书钊 陈鹏光 田亚芳 陈剑鸣 
昆明理工大学计算物理与应用科技创新团队资助项目(KKGA201607014)
针对微机电系统(MEMS)加速度计的随机噪声对输出信号干扰的情况,提出了对加速度计噪声源及噪声类型进行辨识、估计与建模,并确定误差补偿的降噪方法,以提高加速度计精度。采用Allan方差分析法对MEMS加速度计的随机噪声进行分析,得到了影...
关键词：微机械加速度计 一随机噪声 ALLAN方差 自回归滑动平均模型 KALMAN滤波 
MEMS加速度计温度漂移仿真分析被引量：4
《中国惯性技术学报》2018年第3期375-380,共6页梅崴 胡启方 邢朝洋 徐宇新 王国栋 
北京市自然科学基金(4142058);装备预先研究项目(41417020402);国家重点研发计划课题(2016YFB0501303)
温度漂移是影响高精度、高稳定性MEMS加速度计整体工作性能的关键参数。采用有限元方法,建立了三种不同材料组合的MEMS"三明治"加速度计三维结构模型,开展热-应力耦合场仿真分析,并通过提取加速度计差动电容变化量及其变化率对温度漂移...
关键词：微机械加速度计 温度漂移 有限元法 计算机仿真 
电容式微机械加速度计传感器检测电路研究
《混合微电子技术》2016年第4期19-22,60,共5页游超 庄永河 
电容式微机械加速度计传感器需要检测的信号十分微弱，易受电路寄生参数干扰，常采用差分检测方法。本文通过对加速度计传感器差分电容检测电路分析研究，提出检测电容匹配、差分信号对称性布局布线、敏感信号隔离与保护等创新性设计，...
关键词：微机械加速度计 三明治式 温度滞回 重复性 
级联式高阶Σ△M数字式闭环微机械加速度计
《中国惯性技术学报》2016年第3期399-403,共5页陈方 刘卫平 刘礼 张勇军 
国家自然科学基金资助项目(61504159)
基于Sigma-delta Modulator(Σ△M)原理的数字闭环微机械加速度计不仅实现了力反馈闭环控制,同时直接完成信号的模数转换。基于全差分式电容微加速度设计了一种2-2级联式(MASH)高阶Σ△M闭环系统——MASH_(2-2),并与传统的单环路二阶、...
关键词：Σ△M 微机械加速度计 数字闭环 模数转换 MASH_(2-2) 
减小电容式MEMS加速度计零偏的关键技术研究
《混合微电子技术》2016年第2期13-15,19,共4页游超 刘嘉 庄永河 
电容式微机械加速度计传感器需要检测的信号十分微弱，易受电路寄生参数干扰，常采用差分检测方法。本文通过对加速度计传感器差分电容检测电路分析研究，提出检测电容匹配、差分信号对称性布局布线、敏感信号隔离与保护等创新性设计，...
关键词：微机械加速度计 三明治式 差分信号 
微机械加速度计的温漂性能研究综述被引量：1
《固体电子学研究与进展》2015年第6期565-571,共7页张霞 
陕西省教育厅专项科研计划项目(15JK1683)
温度是影响微机械加速度计性能指标、限制其应用领域的关键因素之一。在简要介绍微机械加速度计发展现状及温度对其影响机理的基础上,对近年来在降低微机械加速度计温漂方面国内外研究机构所采取的主要研究方法进行了详细的阐述,为该研...
关键词：微电子机械系统 加速度计 温漂 
全选清除导出
共10页<12345678910>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部