刘嘉

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供职机构：中国电子科技集团公司第43研究所更多>>
发文主题：差分信号MEMS陀螺仪MEMS闭环控制力反馈更多>>
发文领域：机械工程更多>>
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MEMS陀螺仪闭环检测控制系统设计
《混合微电子技术》2017年第1期8-11,15,共5页刘嘉 庄永河 
MEMS陀螺仪的开环检测系统在抗干扰性、带宽方面有明显不足，无法满足较高精度使用场合的要求，本文在介绍硅微机械振动式陀螺仪工作原理和分析其动力学特性的基础上，设计了基于力反馈平衡的硅微陀螺仪敏感模态闭环控制方案。敏感信号...
关键词：MEMS 陀螺仪 闭环控制 力反馈 
减小电容式MEMS加速度计零偏的关键技术研究
《混合微电子技术》2016年第2期13-15,19,共4页游超 刘嘉 庄永河 
电容式微机械加速度计传感器需要检测的信号十分微弱，易受电路寄生参数干扰，常采用差分检测方法。本文通过对加速度计传感器差分电容检测电路分析研究，提出检测电容匹配、差分信号对称性布局布线、敏感信号隔离与保护等创新性设计，...
关键词：微机械加速度计 三明治式 差分信号 
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