硅微加速度计温度特性分析与误差补偿  

Analysis on temperature characteristics and error compensation of silicon micro accelerometer

作　　者：王增跃 李孟委[1,3] 刘国文[2] 

机构地区：[1]中北大学动态测试技术国家级重点实验室,山西太原030051 [2]北京航天控制仪器研究所,北京100076 [3]中北大学微系统集成研究中心,山西太原030051

出　　处：《传感器与微系统》2016年第1期25-28,共4页Transducer and Microsystem Technologies

基　　金：兵器预研支撑基金资助项目(622010750514/5);武器装备预研基金资助项目(9140A20040514BQ04293;9140A20040515BQ04283)

摘　　要：环境温度对硅微加速度计的检测精度具有较大影响，并最终影响导航系统的精度。因此，准确标定环境温度对微加速度计使用性能的影响，并建立温度补偿模型，对于实际工程应用至关重要。在-20-60℃温度区间，通过实验得到微加速度计的零偏与标度因数，并采用线性拟合与Lorentz曲线拟合构建了温度补偿模型，后者使测量结果的稳定性精度提高了1个数量级，具有较好的实际应用价值。Environmental temperature has significant effect on detection precision of silicon micro accelerometer, and ultimately affect precision of navigation system. So accurately calibrate environmental temperature effect on operational performance of micro aeeelerometer, and establish temperature compensating model, which is crucial for practical engineering application. At -20 -60 ℃ temperature range ,obtain zero-bias and scale factor of micro accelerometer by experiment, and use linear fitting and Lorentz curve fitting to construct the temperature compensation model. The latter increase stability of measurement result about one order of magnitude, which has good practical application value.

关 键 词：硅微加速度计 温度影响分析 Lorentz曲线 零偏 标度因数 

分 类 号：U666.1[交通运输工程—船舶及航道工程]