谐振梁

作品数：38被引量：71H指数：5
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十字型微谐振梁振型分析
《机械制造》2025年第3期36-40,共5页韩光 李智 查天任 张秀礼 孙博 陆向辉 齐有军 赵克宝 凤祥云 
河北省高等学校科学技术研究项目(编号:QN2024251)。
谐振式传感器具有高精度与高稳定性等显著优势,在众多领域得到广泛应用。针对谐振式传感器振动元件在实际应用中的需求,提出一种具有新型微梁结构的振动元件——十字型微谐振梁。利用光刻技术加工谐振梁样件,建立两端固定约束且中部带...
关键词：谐振梁 振型分析 
光热激励硅微谐振式压力传感器敏感结构热梯度分布研究
《仪器与设备》2023年第4期388-393,共6页王海榕 王亿文 史慧超 
本文以硅谐振式压力传感器为研究对象,建立了光热激励硅谐振敏感结构的有限元分析模型,通过ANSYS仿真分析研究了硅谐振敏感结构光热激励方式的动态热分布,揭示了光热激励产生的热量在谐振梁厚度方向激励振动的原因,仿真分析获得了光热...
关键词：压力传感器 谐振梁 光热激励 温度梯度 
基于硅谐振压力传感器的开环特性测试被引量：1
《山西电子技术》2023年第5期33-35,45,共4页张志远 彭勇钢 
2022年度山西省高等学校科技创新计划(2022L710);2022年度山西省高等学校科技创新计划(2022L708);2022年度山西工程职业学院院级校企合作类立项课题(XQ2022_04)。
谐振梁是硅谐振传感器的核心部件,其品质最终决定了传感器整体精度等级的高低。论文从硅谐振传感器开环特性的测试结果出发,利用了基于锁相放大器的开环测试系统,对谐振梁的振动特性进行了测量,得到了不同工作温度、不同激励条件下谐振...
关键词：硅谐振压力传感器 谐振梁 振动特性 开环特性 
用于大气数据系统的硅谐振压力传感器被引量：1
《传感器与微系统》2023年第3期160-163,共4页胡宗达 彭鹏 李奇思 杨劼立 苏晓晓 
设计了一种用于机载大气数据系统的高精度微机电系统(MEMS)硅谐振压力传感器。采用了多层硅—硅键合技术、阳极键合技术以获得高稳定性的频率信号输出和圆片级真空封装,其具有高精度、高Q值的特点。芯片采用复合谐振梁—膜—硅岛结构作...
关键词：硅谐振压力传感器 复合谐振梁—膜—硅岛结构 高精度 微机电系统 
十字型微谐振梁多场耦合振动及信号分析
《华南理工大学学报（自然科学版）》2023年第2期10-19,共10页韩光 许立忠 
国家重点研发计划资助项目(2018YFB1304803)。
微机电系统(MEMS)又称微系统或微电子机械系统,是在微电子技术基础上发展起来的一种高科技微型器件或系统。MEMS集光刻、腐蚀、LIGA、硅和非硅表面微加工、精密机械加工等技术于一体,其尺寸在微米量级。利用微加工技术生产的微传感器以...
关键词：微机电系统 范德华力 十字型谐振梁 非线性振动 多场耦合 电容检测 
十字型微谐振梁多场耦合非线性振动分析
《振动与冲击》2023年第1期308-317,共10页韩光 许立忠 
河北省重点基础研究项目(13961701D)。
为了提高电容检测传感器的检测精度,提出了一种十字型微谐振梁。将其简化为多场耦合振动模型,在考虑分子力与电场力的情况下建立动力学方程。求得其非线性振动固有频率及其变化规律,分析了不同参数对位移响应的影响。利用微加工技术制...
关键词：微机电系统(MEMS) 非线性振动 分子力 多场耦合 十字型谐振梁 
基于MEMS陀螺仪谐振梁的不确定度分析被引量：1
《传感器与微系统》2022年第12期139-142,共4页李敏 曹乐 
国家自然科学基金资助项目(61703270)。
基于一种微机电系统(MEMS)陀螺仪谐振梁的振动模型,通过采用不确定度分析方法,分析了非线性振动系统下结构参数对等效固有频率的影响。建立基于样本的随机采样模型,将谐振梁的结构尺寸确定为模型的输入参数,采用蒙特卡洛采样方法对输入...
关键词：微机电系统陀螺仪 不确定度分析 谐振梁 结构参数 随机模型 
石墨烯谐振梁的分子动力学研究被引量：2
《电子测量技术》2020年第18期151-157,共7页邢维巍 马翠萍 樊尚春 
国家自然科学基金(61773045);长江学者和创新团队发展计划(IRT_16R02);国家重大仪器专项(2014YQ350461)资助。
石墨烯谐振梁的力学性能和振动特性是石墨烯谐振式传感器的研究重点。基于分子动力学法对石墨烯谐振梁的力学性能及振动特性展开研究。对于谐振梁的力学性能,提出了一种基于势能与应变关系求解谐振梁杨氏模量的方法,验证了此方法具有可...
关键词：石墨烯谐振梁 分子动力学法 杨氏模量 谐振频率 缺陷 
一种谐振式加速度计的稳定性分析方法
《矿业科学学报》2020年第2期203-208,共6页李艳 曾浩轩 张帅印 朱周宇 周迅 周子强 
国家自然科学基金(61973308)。
谐振式加速度计的振动稳定性,是加速度计的重要性能指标之一,对测量精度和可靠性有重要影响。本文以谐振式加速度计敏感结构的振动稳定性为研究对象,研究其结构参数对谐振梁振动稳定性的影响。首先分析谐振式加速度的敏感机理,构建谐振...
关键词：谐振式加速度计 稳定性分析 谐振梁 稳定性区间 
双端固支谐振梁动态响应分析
《力学研究》2017年第4期151-160,共10页邢维巍 李昊霖 张硕 樊尚春 
总装基金;“长江学者和创新团队发展计划资助(IRT_16R02)”的资助。
谐振式传感器的高动态应用近年来得到越来越多的关注。典型谐振式传感器利用反映被测量的轴向载荷调制谐振梁的固有频率实现这种映射。高动态应用中的核心问题是动态轴向载荷下谐振梁的振动特性。本文以微元法为基础,利用基本的微元力...
关键词：谐振梁 动态响应 传感器 等效电路 阻尼 
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