谐振式加速度计

作品数：46被引量：134H指数：7
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一种摆式谐振加速度计的微杠杆结构设计与分析
《中国惯性技术学报》2024年第3期290-299,共10页周严 张宇轩 姚志超 吴天豪 苏岩 张晶 
国家重点研发计划(2021YFB3201600);国家自然科学基金(62101263)。
为提升摆式谐振式加速度计性能,设计了一种将质量块与微杠杆结构一体化的摆式微杠杆结构,实现惯性力的敏感与放大,提升结构的鲁棒性。首先建立了微杠杆结构力学模型,并进行了关键参数计算。其次,根据微杠杆结构放大倍数影响机理,分析了...
关键词：谐振式加速度计 摆式结构 微杠杆 放大倍数 
石英谐振加速度计低温漂结构设计及温度补偿被引量：2
《压电与声光》2023年第5期719-722,730,共5页杨敏 陈福彬 朱嘉林 田文杰 
国家自然科学基金(61871043);北京市教委科技计划重点项目(KZ201911232023)。
温度影响加速度计的性能,误差来源主要由石英材料及封装工艺产生的热应力引起。针对加速度计温度漂移现象,该文介绍了集成式石英谐振加速度计低温漂结构设计和补偿方法。首先通过对称的差分结构消除一阶温度系数,并进行工艺优化,降低封...
关键词：谐振式加速度计 差频 温度补偿 低温漂 随机森林 
高灵敏度ZnO纳米梁谐振式加速度计被引量：1
《传感器与微系统》2023年第8期78-80,84,共4页许文元 唐彬 赵宝林 谢晋 
国家自然科学基金资助项目(62074138)。
针对谐振式加速度计灵敏度较低的问题,设计了一种基于化学气相沉积(CVD)法制备的ZnO纳米线作谐振梁的谐振式加速度计,采用了双谐振梁的差分结构,利用混频检测方式进行谐振梁的激振和拾振。实现了超高灵敏度加速度检测。使用COMSOL Multi...
关键词：ZNO纳米线 纳米谐振梁 混频检测 加速度计 高灵敏度 
谐振式加速度计闭环控制电路非线性振动分析
《今日自动化》2023年第8期13-15,共3页赵辉 
文章提出了一种利用锁相环技术来滤除谐振式加速度计闭环控制电路谐波的方法。首先介绍了谐振式加速度计工作原理,分析了谐振器的动力学方程以及非线性谐波共振原理。然后根据非线性振动方程的解,分析锁相环滤除谐波的原理。最后,建立...
关键词：闭环控制电路 锁相环 非线性振荡 自激振荡 
面向硅微谐振式加速度计的高精度片上温度控制器
《微纳电子技术》2023年第5期750-757,共8页米玥臻 杨伍昊 熊兴崟 汪政 邹旭东 
国家重点研发计划项目(2022YFB3207301);中科院重大仪器设备研制项目(E23C09010D)。
为提高硅微谐振式加速度计在变温环境下的精度与稳定性,设计并制备了一种高精度的片上温度控制器,它由硅衬底、铂电阻加热器、测温电阻和温度控制电路组成。对温度控制器的传热模型进行理论分析,使用COMSOL对片上温度控制器进行仿真。...
关键词：硅微谐振式加速度计 片上温控器 测控电路 连续电压输出 比例-积分-微分(PID)控制 
基于AGC线性化的谐振式加速度计相位噪声分析被引量：2
《传感器与微系统》2023年第4期31-34,42,共5页夏蓬勃 丁徐锴 黄丽斌 
谐振式加速度计系统运行过程中会引入噪声,导致输出信号的相位发生偏移,从而影响测频精度。同时,由于自动增益控制(AGC)回路非线性的影响,噪声的传递无法直接利用传递函数分析。为了减小噪声的影响,根据谐振式加速度计的工作原理与噪声...
关键词：谐振式加速度计 自动增益控制 线性化 相位噪声 仿真分析 
硅微谐振式加速度计温度补偿方法研究综述被引量：5
《仪器仪表学报》2023年第1期1-15,共15页蒋金玲 张晶 朱欣华 苏岩 周同 
国家重点研发计划(2021YFB3201604);国家自然科学基金(62101263);江苏省自然科学基金(BK20190417);中央高校基本科研业务费专项资金(30920021110)项目资助
硅微谐振式加速度计具有体积小、成本低、动态范围宽、高精度准数字频率信号输出等优势,但零偏、标度因数等关键性能指标受到了温度等因素的制约,尚不能满足高精度导航制导的高性能要求。因此,本文在简要介绍硅微谐振式加速度计温度特...
关键词：硅微谐振式加速度计 有源温度补偿技术 无源温度补偿技术 微电子机械系统 
硅微谐振式加速度计器件级封装应力辨识被引量：1
《半导体技术》2022年第5期410-415,共6页贡旭超 裘安萍 黄锦阳 施芹 
国家自然科学基金资助项目(62074078)。
器件级封装应力是影响微电子机械系统(MEMS)器件性能的主要因素之一。基于硅微谐振式加速度计(SRA)的力频特性,结合SRA芯片表面翘曲变化的有限元分析,实现SRA器件级封装应力的辨识。分析封装应力的辨识机理和误差,建立SRA器件级封装应...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 硅微谐振式加速度计(SRA) 器件级封装应力 封装应力辨识 有限元仿真 
一种硅微谐振式加速度计频率读出方法与ASIC实现被引量：2
《半导体技术》2022年第4期307-312,331,共7页赵广胜 夏国明 裘安萍 施芹 赵阳 
国家自然科学基金资助项目(62074078)。
针对硅微谐振式加速度计(SRA),提出了一种低噪声、低功耗、可集成的频率读出电路。频率读出电路主要基于Σ-Δ原理,实现了对量化噪声的调制与抑制,在0.1 Hz频率下实现了0.1Mhz/√Hz的频率测量水平。同时,专用集成电路(ASIC)实现了对加...
关键词：硅微谐振式加速度计(SRA) 频率读出 专用集成电路(ASIC) 低噪声 零均值 
基于ANSYS的谐振式加速度计优化设计仿真与实验被引量：3
《实验技术与管理》2022年第3期188-194,共7页李艳 靳彪 杨福铃 
中国矿业大学(北京)教改项目(J210415);国家自然科学基金面上项目(61973308)。
将测控技术与仪器专业基础课程“传感技术及应用”中谐振式传感器的优化设计与实际应用相结合,以谐振式加速度计为例,提出基于ANSYS的谐振式加速度计优化设计仿真与实验方案。实验内容包括:利用有限元分析软件对谐振式加速度计进行建模...
关键词：ANSYS 谐振式加速度计 优化设计 仿真实验 
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