严斌

作品数：4被引量：15H指数：3
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供职机构：清华大学更多>>
发文主题：谐振梁硅封装硅微加速度计加速度计更多>>
发文领域：交通运输工程机械工程更多>>
发文期刊：《中国惯性技术学报》《清华大学学报（自然科学版）》《光学精密工程》更多>>
所获基金：中国人民解放军总装备部预研基金国防科技技术预先研究基金更多>>
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非线性振动条件下估算谐振梁品质因数被引量：1
《清华大学学报（自然科学版）》2016年第10期1055-1060,共6页严斌 刘云峰 董景新 
总装“十二五”预研项目(20114113015)
硅微谐振式加速度计在真空封装后出现非线性振动,导致测量品质因数的常规方法失效。为了能对真空封装的加速计进行精确监测,提出了一种品质因数测量方法。该方法基于谐振梁的非线性振动模型,通过将扫频数据按照模型公式拟合得到品质因数...
关键词：谐振加速度计 非线性振动 品质因数 真空封装 
常温下硅微谐振加速度计零偏稳定性的提高被引量：5
《光学精密工程》2016年第5期1050-1056,共7页严斌 尹永刚 董景新 
总装备部十二五预研基金资助项目(No.20114113015)
考虑环境温度会影响硅微谐振加速度计(MSRA)的测量精度,本文研究了谐振梁的频率漂移及抑制方法以便提高其在常温下的零偏稳定性。针对结构热膨胀导致的应力进行了建模仿真,并根据仿真结果优化设计了一种低热应力的双端固支梁的结构来降...
关键词：硅微加速度计 谐振梁 结构优化 温度补偿 零偏稳定性 
谐振式加速度计非线性振动的建模与优化被引量：4
《中国惯性技术学报》2015年第6期775-779,共5页严斌 刘云峰 董景新 
十二五预研项目(20114113015)
实验发现硅微谐振式加速度计非线性效应的弱化可以降低测量噪声,对非线性振动进行了推导与建模,利用扫频数据得到模型中的未知参数,并根据模型计算出使非线性效应消失所需的激励电压,给闭环工作点的设计提供了理论指导。实验结果表明:...
关键词：谐振式加速度计 非线性振动 杜芬方程 降低噪声 
硅微振梁式加速度计抗温漂的微结构及工艺设计被引量：5
《中国惯性技术学报》2014年第2期227-232,共6页王帆 董景新 赵淑明 严斌 
国家十二五预研资助项目(51309020201)
针对硅微振梁式加速度计输出频率随环境温度漂移的问题,提出了抗温漂的硅微结构设计方法及相关工艺,降低了环境温度对输出的影响,在室温条件即可达到一定精度。通过建立"硅-玻璃"和"玻璃-陶瓷"耦合模型,分析了造成硅微振梁式加速度计温...
关键词：硅微振梁式加速度计 温度漂移 抗温漂耦合设计 半粘结封装 
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