MEMS技术中的电镀工艺与应用分析  

作　　者：罗乔 龚清乾 邹瑜 秦兰 

机构地区：[1]吉安职业技术学院,江西吉安343000

出　　处：《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2024年第11期131-134,共4页

基　　金：江西省教育厅科学技术研究项目“微型加速度开关齿型结构的理论模型建立与应用研究”项目编号GJJ2209315。

摘　　要：本文主要简单介绍了MEMS技术和电镀工艺的相关内容,阐述了MEMS技术中的电镀工艺,探讨了MEMS技术中电镀工艺的应用,旨在加强对电镀工艺的研究,满足MEMS技术的应用需求,转变传统的电镀工艺模式,实现MEMS技术制备器件的批量生产,促进器件的微型化、集成化发展。电镀工艺是MEMS技术中的重要加工工艺,直接影响着相关器件的结构性能,需根据使用需求采用使用的电镀工艺,以充分发挥MEMS技术作用,促进微电子机械系统的发展。

关 键 词：MEMS技术 电镀工艺 应用 

分 类 号：TN43[电子电信—微电子学与固体电子学]