电容式加速度计

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变刚度单轴电容式MEMS加速度计设计
《传感器与微系统》2025年第4期70-73,共4页洪逸飞 武焕臣 汤沛源 刘晨 李磊 
山东省自然科学基金面上项目(ZR2023MA057);国家自然科学基金资助项目(11902182);山东省高校青年创新团队发展计划资助项目(2023KJ150)。
本文提出了一种利用静电弹簧软化效应提高加速度计灵敏度的方法。加速度计采用4组U型弹簧对敏感质量进行支撑,敏感质量上设计了差分电容检测结构和静电调谐结构。实现了结构谐振频率可调,保证了加速度计的结构强度,提高了传感器灵敏度...
关键词：MEMS 电容式加速度计 灵敏度 变刚度 谐响应分析 
基于交流反馈的电容式加速度计闭环数字系统
《仪表技术与传感器》2024年第10期27-31,50,共6页汤浙 丁徐锴 黄丽斌 
针对加速度计系统中普遍存在的信号零偏漂移与低频噪声,文中采用一种基于交流反馈的闭环系统,结合结构参数和电路参数,对加速度计系统进行仿真,设计FPGA数字电路。搭建模拟直流反馈与数字交流反馈的闭环系统测试平台,在相同环境下进行...
关键词：微加速度计 闭环系统 交流反馈 噪声水平 
±16g三质量块三轴MEMS电容式加速度计的设计被引量：2
《电子科技大学学报》2023年第3期444-450,共7页虎勇 李绍荣 郭威 蒋婷 郭小伟 邹力 任颖慧 梁杰 
雅砻江官地水力发电厂基于MEMS智能传感器的水工边坡风险实时监测试验研究科研项目的支持。
微电子机械系统(MEMS)惯性传感器(如加速计、陀螺仪)具有高性能、低功耗、低成本、集成度高、可靠性高、体积小等特点。但MEMS传感器交叉串扰仍较大,影响了加速度的测量。该文设计了一个量程为±16 g的三质量块三轴MEMS电容式加速度计结...
关键词：电容式加速度计 高精度 MEMS 三质量块 
粘接工艺对电容加速度计封装应力的影响被引量：1
《中国电子科学研究院学报》2023年第5期444-449,460,共7页陈卓 李杰 何中伟 罗志恒 金龙 
为了提高电容式加速度计的输出性能,更好地消除粘接工序引起的封装应力,文中对加速度计的可动结构进行了合理的简化,通过有限元分析对加速度计在工况下的应力场和芯片翘曲进行了模拟仿真,系统分析了粘接材料特性、粘接工艺参数以及应力...
关键词：粘接 封装应力 梳齿电容式加速度计 有限元 仿真 
MEMS电容式加速度计的四拱梁悬挂设计与参数优化被引量：1
《力学与实践》2022年第6期1351-1356,共6页张猛 施展 张华杰 赵梦石 郭一凡 宦荣华 
国家电网科技项目资助(SGZJJXI0SYJS2101112)。
微机械结构的设计是MEMS电容式加速度计研究的重要内容。本文设计了一款四拱梁悬挂的MEMS电容式加速度计结构,建立了四拱梁悬挂结构的力学模型,对拱梁的结构参数进行了优化分析并获得了最优悬挂参数,接着利用COMSOL软件对微机械结构的...
关键词：微结构 微机电系统 动力学 电容式加速度计 
MEMS加速度计微敏感结构的伽马辐照退化效应被引量：4
《太赫兹科学与电子信息学报》2022年第10期1101-1106,共6页许蔚 杨杰 刘珉强 
国家自然科学基金资助项目(61904165);电子元器件可靠性物理及其应用技术重点实验室基金资助项目(614280620190303)。
抗辐射的微机电系统(MEMS)加速度计在航天飞行器和核工业中有着广泛应用。当前的研究主要集中在MEMS测控电路的抗辐射加固技术上,对MEMS微敏感结构的辐照退化机理还缺乏深入的认识。由于MEMS微敏感结构和测试电路必须工作在一起,目前研...
关键词：微机电系统(MEMS) 电容式加速度计 电离辐照退化 微敏感结构 
三质量块MEMS三轴电容式加速度计的设计被引量：12
《电子测量与仪器学报》2021年第10期193-201,共9页李开富 蒋婷 郭小伟 李绍荣 章龙管 张兴 牟松 
为解决电容式加速度计灵敏度低,交叉灵敏度高等性能问题,设计了一种新的三质量块MEMS三轴电容式加速度计,该三质量块加速度计能够测量x、y、z三个正交轴的外加加速度,单独的横向(x、y轴)和垂直轴(z轴)加速度计集成在同一SOI晶片上,并键...
关键词：三质量块 三轴电容式加速度计 高机械灵敏度 低交叉灵敏度 SOI 
电容式MEMS加速度计电子辐照效应研究
《黑龙江大学自然科学学报》2021年第4期481-488,共8页刘超铭 蒋礼达 刘国文 马国亮 王天琦 孙凤云 霍明学 
国家自然科学基金资助项目(11775061)。
随着我国航天工程的技术发展,对航天器用惯性器件的小型化和轻量化的需求越来越高,研究微电子机械系统(Micro electromechanical system,MEMS)惯性器件的空间环境效应以保障其在轨长寿命和高可靠运行就显得尤为重要。针对国产电容式MEM...
关键词：微电子机械系统 电容式加速度计 电子辐照 电压特性 
基于MEMS电容式加速度计的闭环读出电路设计
《传感技术学报》2021年第2期162-167,共6页徐娇 张玉龙 杨中宝 吴次南 刘泽文 
国家级重点研发计划项目(2018YFB2002800)。
设计了面向圆片级封装的一种闭环加速度计读出电路。在基于电容式微加速度计结构的读出电路设计中考虑了寄生电容对整个系统的影响。用MATLAB SIMULINK对所设计的读出电路进行了建模仿真。在仿真过程中分析了噪声、圆片级封装与普通封...
关键词：微加速度计 仿真模型 数学建模 不对称梳齿 圆片级封装 
MEMS闭环加速度计温漂数字化处理
《现代制造技术与装备》2020年第6期95-98,102,共5页杨谢天 刘云峰 董景新 
MEMS电容式加速度计受温度影响,敏感结构易产生结构参数及应力变化,电路易产生漂移,两者共同作用引起加速度计输出电压变化,使加速度的测量出现温漂误差及升、降温的温漂滞环误差。抑制温漂是提高加速度计性能的关键所在。在实验室现有M...
关键词：MEMS电容式加速度计 温漂误差 温漂滞环 数字化补偿 
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