CVD

作品数:2053被引量:4320H指数:21
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Fabrication of two-dimensional van der Waals moiré superlattices
《Chinese Physics B》2025年第4期12-27,共16页Zihao Wan Chao Wang Hang Zheng Wenna Tang Zihao Fu Weilin Liu Zhenjia Zhou Jun Li Guowen Yuan Libo Gao 
Project supported by the National Natural Science Foundation of China(Grant Nos.52425203 and 12104218);the the Natural Science Foundation of Jiangsu Province(Grant Nos.BK20240008 and BK20241252);the China National Postdoctoral Program for Innovative Talents(Grant No.BX2021120);the Xiaomi Foundation,the Postdoctoral Fellowship Program of CPSF(Grant No.GZC20231093);Jiangsu Funding Program for Excellent Postdoctoral Talent(Grant No.2023ZB553).
Two-dimensional(2D)van der Waals(vdW)moiré superlattices have attracted significant attention due to their novel physical properties and quantum phenomena.The realization of these fascinating properties,however heavi...
关键词:2D materials moirésuperlattices fabrication techniques chemical vapor deposition(CVD) 
基于QC方法降低CVD单晶金刚石激光加工裂纹研究
《超硬材料工程》2025年第2期33-38,共6页潘红星 吴晓磊 宋军营 孙宁 
激光切割CVD单晶金刚石生产时易产生裂纹,严重影响了产品价值。为此,基于QC方法,从现状调查、要因确认、制定对策、对策实施、效果检查五个方面,提出了降低CVD单晶金刚石激光切割裂纹的思路和方法。结果表明,在采取相应措施后,切面裂纹...
关键词:QC方法 单晶金刚石 裂纹 降低 
LPCVD制备二氧化硅薄膜工艺中防颗粒污染技术
《电子工艺技术》2025年第2期52-55,共4页樊坤 黄志海 王理正 王志伟 苏子懿 
二氧化硅(SiO_(2))薄膜制备作为集成电路制造工艺中重要的一个步骤,在芯片的制造过程中具有多种用途,但易受颗粒污染造成产品不良。对采用TEOS源LPCVD法沉积SiO_(2)膜颗粒污染的方法进行了探索,设计了一种用于防颗粒污染的机构,该机构...
关键词:半导体 CVD 温度控制 微环境 颗粒污染 二氧化硅 
FMEA工具在提高CVD单晶金刚石质量生产实践中的应用
《价值工程》2025年第9期96-98,共3页潘红星 冯涛 周文涛 闫建明 韩光伟 
运用失效模式FMEA分析工具找出影响单晶金刚石生产过程质量的关键因素,制定相应控制措施,对原材料基片清洗处理,洁净度以及生产过程规范管控改善,单晶金刚石的合格率由87.5%提升到92.5%,为解决生产中的过程质量问题及预防提供了重要的...
关键词:FMEA 单晶金刚石 过程控制 
化学气相沉积含氟粉尘制备氟化钾联产白炭黑的工艺设计
《有机氟工业》2025年第1期14-19,共6页李璟 邓国平 
以某半导体厂化学气相沉积过程产生的化学气相沉积(CVD)含氟粉尘和氢氧化钾为原料,通过水解打浆、KOH中和反应、蒸发结晶等过程制备氟化钾并联产白炭黑产品。对处理规模2 500 kg/h的CVD含氟粉尘资源化利用过程进行模拟分析和工艺优化,CV...
关键词:CVD含氟粉尘 氟硅酸铵 氟化钾 白炭黑 
Heart sound classification technique for early CVD detection using improved wavelet time scattering and discriminant analysis classifiers
《Informatics and Health》2025年第1期49-62,共14页Vishwanath Madhava Shervegar 
Objective:PCG represents the acoustic replay of heart sounds from the cardiac structure.To detect and analyse the different conditions of the heart,heart sound signals are essential.CVD is detected by classifiers who ...
关键词:PHONOCARDIOGRAM Wavelet time frequency scattering transform Discrete cosine transform Discriminant analysis Classification 
Low‐temperature chemical vapor deposition growth of 2D materials
《Electron》2025年第1期104-129,共26页Minting Lei Peijian Wang Xiaofeng Ke Jun Xie Min Yue Mei Zhao Kenan Zhang Youqing Dong Quanlong Xu Chao Zou Shun Wang Lijie Zhang 
Key Programs for Science and Technology Innovation of Wenzhou,Grant/Award Number:ZG2022037;National Natural Science Foundation of China,Grant/Award Numbers:51902061,52072272,52331009,62304157。
Two‐dimensional(2D)materials have atomic thickness,and thickness‐dependent electronic transport,optical and thermal properties,high-lighting great promise applications in future semiconductor devices.Chemical vapor ...
关键词:2D materials CMOS techniques CVD low-temperature growth 
An AI-Enabled Framework for Transparency and Interpretability in Cardiovascular Disease Risk Prediction
《Computers, Materials & Continua》2025年第3期5057-5078,共22页Isha Kiran Shahzad Ali Sajawal ur Rehman Khan Musaed Alhussein Sheraz Aslam Khursheed Aurangzeb 
funded by Researchers Supporting Project Number(RSPD2025R947),King Saud University,Riyadh,Saudi Arabia.
Cardiovascular disease(CVD)remains a leading global health challenge due to its high mortality rate and the complexity of early diagnosis,driven by risk factors such as hypertension,high cholesterol,and irregular puls...
关键词:Artificial Intelligence cardiovascular disease(CVD) explainability eXplainable AI(XAI) INTERPRETABILITY LIME machine learning(ML) SHAP 
K444合金表面CVD渗铝涂层耐高温95%Na_(2)SO_(4)+5%NaCl腐蚀行为研究
《中国腐蚀与防护学报》2025年第1期127-136,共10页王粤 耿树江 王金龙 王福会 孙清云 吴勇 夏思瑶 
国家重点研发计划(2020YFB2010400);湖北省重点研发计划(2021BAA210)。
采用化学气相沉积(CVD)技术在镍基高温合金K444表面制备了渗铝涂层。研究了K444合金及其CVD渗铝涂层表面沉积95%(质量分数)Na_(2)SO_(4)+5%NaCl混合盐在850和950℃空气中的高温腐蚀行为。结果表明,K444合金腐蚀10 h后,表现出较差的耐腐...
关键词:镍基高温合金 热腐蚀 CVD渗铝涂层 
DD6单晶Ni基高温合金表面CVD渗Al涂层的氧化行为
《中国腐蚀与防护学报》2025年第1期148-154,共7页许习文 舒小勇 陈智群 何海瑞 董舒赫 房雨晴 彭晓 
采用化学气相沉积(CVD)的方法,分别在DD6单晶Ni基高温合金与纯Ni表面750℃扩散渗Al,均获得主要由δ-Ni_(2)Al_(3)相组成的铝化物涂层。空气中1000℃的氧化表明,DD6上的CVD涂层具有更快的氧化速度。光激发荧光谱分析表明,虽然DD6与纯Ni...
关键词:NI 基单晶高温合金 化学气相沉积 铝化物扩散涂层 高温氧化 
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