分子束外延

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基于分子束外延技术可控制备Ga原子团簇的研究
《原子与分子物理学报》2025年第3期77-84,共8页马玉麟 郭祥 丁召 
国家自然科学基金(61564002);贵州省科学技术基金资助项目(黔科合基础[2020]1Y271和[2017]1055);半导体功率器件可靠性教育部研究中心开放基金(ERCME-KFJJ2019-(07));贵州大学培育项目(贵大培育[2019]58号)。
本研究基于分子束外延(Molecular Beam Epitaxy,MBE)技术在Si(100)衬底表面成功制备金属Ga原子团簇.通过控制变量法,研究其尺寸形貌与工艺参数之间的关系.第一组对照实验分别在940℃、970℃、1000℃的Ga源温度下制备Ga原子团簇.实验结...
关键词：MBE Ga原子团簇 Ga源温度 沉积时长 退火时长 
基于分子束外延技术可控制备Bi原子团簇的研究
《原子与分子物理学报》2025年第2期79-84,共6页马玉麟 郭祥 丁召 
国家自然科学基金(61564002);贵州省科学技术基金资助项目(黔科合基础[2020]1Y271和[2017]1055);半导体功率器件可靠性教育部研究中心开放基金(ERCME-KFJJ2019-(07));贵州大学培育项目(贵大培育[2019]58号)。
本研究基于分子束外延(MBE)技术在Si(111)衬底表面成功制备金属Bi原子团簇.首先,分别在100℃、125℃、150℃、175℃、200℃的生长温度下,制备了大小均一、密度不同的Bi原子团簇.实验结果表明,可以通过改变生长温度来精细控制Bi原子团簇...
关键词：分子束外延 Bi原子团簇 生长温度 沉积时长 经典成核理论 晶体生长动力学 
锑化物半导体材料及其分子束外延生长研究进展
《半导体技术》2025年第3期229-240,共12页胡德鹏 王红真 路云峰 贺训军 
国家自然科学基金(62075052)。
锑化物半导体的带隙能量覆盖了整个红外区域,为开展材料的能带工程提供了很大的自由度和灵活性。分子束外延(MBE)是一种在超高真空环境下能够高度可控地生长高纯化合物薄膜材料的技术,在III-V族化合物半导体尤其是锑化物半导体材料生长...
关键词：锑化物 半导体 分子束外延(MBE) 能带结构 生长工艺 
原子吸收光谱在线束流监控技术在分子束外延中的应用及研究进展
《功能材料与器件学报》2025年第1期11-21,共11页张庆凌云 陈意桥 
国家自然科学基金资助项目(No.E23JTA1J01)。
本文在简要回顾原子吸收光谱技术发展历史的基础上,总结概括了应用于分子束外延中束流原位实时监控的原子吸收光谱系统结构,并对搭建该系统所需关键部件的选型和参数进行了综述。同时,本文还归纳了原子吸收光谱的背景参比方法、误差来...
关键词：原子吸收光谱 分子束外延 光学束流监测 原位表征 实时束流监控 
富加镓业氧化镓外延片经二轮器件验证,性能具有显著国际竞争优势
《人工晶体学报》2024年第12期2205-2205,共1页齐红基 
近日,杭州富加镓业科技有限公司(以下简称:富加镓业)在第一轮器件验证基础上,优化分子束外延(molecular beam epitaxy,MBE)工艺,大幅提升外延片性能,基于此外延片研制的金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)横向功率器件,其电流密度提...
关键词：外延片 分子束外延 氧化镓 比导通电阻 半导体材料 国际竞争优势 国家重点研发计划 富加 
分子束外延中波/中波双色HgCdTe材料研究
《红外》2024年第9期1-6,共6页李震 王丹 邢伟荣 王丛 周睿 折伟林 
国家自然科学基金项目(61971395,52075519)。
采用分子束外延(Molecular Beam Epitaxy,MBE)法制备了高质量的npn型中波/中波双色HgCdTe材料。利用傅里叶变换红外光谱仪(Fourier Transform Infrared Spectrometer,FTIR)、二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectroscopy,SIMS)、X射...
关键词：HGCDTE 表面缺陷 原位掺杂 
基于数值稳定型神经网络的Villain-Lai-Das Sarma方程的动力学标度行为研究
《物理学报》2024年第16期28-35,共8页宋天舒 夏辉 
中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:2024QN11021)资助的课题.
Villain-Lai-Das Sarma(VLDS)方程因其能够有效描述分子束外延生长过程而在表面生长动力学等领域中备受关注.然而,长程关联噪声驱动下的VLDS方程的标度结果尚不明确,不同解析近似方法所得的标度结果仍不自洽.在数值模拟方面,由于非线性...
关键词：神经网络 分子束外延生长 Villain-Lai-Das Sarma方程 动力学标度 
纤锌矿结构砷化镓纳米线中的深能级缺陷研究
《量子电子学报》2024年第4期671-678,共8页乔旭冕 李新化 谷毛毛 龚书磊 弓紫燕 吴超可 吴超 赵雷鸣 
安徽省首批揭榜性质课题(2021e03020007);安徽省重点研究与开发计划项目(202104a05020048)。
深能级缺陷是造成纤锌矿结构砷化镓纳米线中持续光电导效应的主要原因。采用基于高斯分布的缺陷复合动力学方程分析了纤锌矿结构砷化镓纳米线的光电导衰减曲线,得到平均载流子捕获势垒为60.2 meV。通过分析光照下光电导瞬态行为,提出了...
关键词：光电子学 光电导 纤锌矿结构砷化镓 深能级缺陷 分子束外延 
分子束源炉加热丝温度控制算法研究
《工业控制计算机》2024年第7期18-20,共3页托乎提努尔 罗阳 胡强 吴进 
广东省重点领域研发计划项目(2021B0101300001)。
分子束源炉工作过程中,由于内部温度场受到多种复杂因素的干扰,导致温度控制精度与稳定性下降,影响束流质量。源炉温度变化滞后性及非线性的特点使得常规PID控制参数整定不良、性能欠佳,达不到良好的控制效果。针对以上问题,提出一种复...
关键词：分子束外延 温度控制 变域论模糊PID控制 遗传算法 
利用扫描隧道显微术对SrTiO_(3)(001)上生长CoSe/FeSe异质界面结构和谱学研究
《电子显微学报》2024年第3期269-276,共8页苗光耀 徐小凤 方皓 朱学涛 郭建东 王炜华 
国家自然科学基金资助项目(No.11974399);中国科学院战略研究项目(No.XDB33000000);IOP-Humboldt PostdoctoralFellowship in Physics。
硒化铁/钛酸锶(001)(FeSe/SrTiO_(3)(001),FeSe/STO)中界面增强的超导电性一直是近些年凝聚态物理领域的热点问题之一,基于FeSe薄膜构筑异质界面是调控其超导电性和构筑新奇量子物态的重要手段。本文报道了利用分子束外延在SrTiO_(3)(0...
关键词：分子束外延 扫描隧道显微镜 异质结 界面电荷转移 CoSe 
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