原位掺杂

作品数:37被引量:44H指数:3
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相关机构:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司中国科学院清华大学中国科学院微电子研究所更多>>
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分子束外延中波/中波双色HgCdTe材料研究
《红外》2024年第9期1-6,共6页李震 王丹 邢伟荣 王丛 周睿 折伟林 
国家自然科学基金项目(61971395,52075519)。
采用分子束外延(Molecular Beam Epitaxy,MBE)法制备了高质量的npn型中波/中波双色HgCdTe材料。利用傅里叶变换红外光谱仪(Fourier Transform Infrared Spectrometer,FTIR)、二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectroscopy,SIMS)、X射...
关键词:HGCDTE 表面缺陷 原位掺杂 
TOPCon电池中的EL卡点印缺陷分析
《集成电路应用》2024年第6期30-33,共4页李国庆 居瑞智 谢路华 李香伟 谢致任 
阐述PE-Poly是N型TOPCon太阳电池工艺中的难点与关键,电致发光(EL)卡点印是PE-Poly路线TOPCon电池主要缺陷之一。基于PE-poly路线TOPCon电池量产设备和工艺,通过电性能测试、椭偏仪测试、QE测试以及对比实验,针对此类电池EL缺陷问题进...
关键词:TOPCon电池 PE-Poly 隧穿氧化层 原位掺杂 界面 
高密度电容器件的制备及其可靠性
《电子工艺技术》2024年第3期13-16,共4页商庆杰 王敬轩 董春晖 宋洁晶 杨志 
介绍了一种基于微机械加工技术(MicroElectronMechanical System,MEMS)的硅基高密度电容芯片的制备方法。该电容芯片采用了深孔刻蚀、介质淀积生长以及原位掺杂多晶硅等工艺技术,实现了高击穿电压(50V@1μA)、高电容密度(38.8~39.5nF/mm...
关键词:微系统芯片 高密度电容 深孔刻蚀 原位掺杂多晶硅 
激光诱导石墨烯的制备、改性与应用
《复合材料学报》2024年第6期2761-2774,共14页李钊 刘翠 
国家重点研发计划(2020YFA0210703)。
激光诱导石墨烯(Laser induced graphene,LIG)是一种新型的石墨烯制备技术,该工艺是通过高能束辐照含碳基底实现三维网络结构石墨烯的快速生成。与传统的石墨烯制备工艺相比,LIG制备技术具有快速制备、可图案化、环境友好、微观形貌可...
关键词:激光诱导石墨烯 原位掺杂 复合材料 柔性电极 传感器 
丝胶蛋白基多孔碳的制备及其吸波性能研究
《浙江理工大学学报(自然科学版)》2024年第1期21-29,共9页胡普奇 朱曜峰 
国家自然科学基金项目(51503183)。
为解决传统多孔碳材料制备工艺繁杂、污染大、成本高等问题,采用活化-碳化法处理废弃的丝胶蛋白,制备原位杂原子掺杂丝胶蛋白基多孔碳材料(Silk sericin-based derived porous carbon,SSC)。采用扫描电镜、X射线衍射仪和拉曼光谱仪对试...
关键词:丝胶蛋白 化学活化 多孔碳 原位掺杂 电磁波吸收 
废旧锂电池回收过程中氟的迁移及其原位掺杂再生制备LiNi_(0.9)Co_(0.05)Mn_(0.05)O_(2)正极材料
《Science China Materials》2023年第9期3433-3444,共12页王天宇 易晨星 葛鹏 王丽 孙伟 吴美容 张驰 杨越 
supported by the National Natural Science Foundation of China (51904340);the Natural Science Foundation of Hunan (2021JJ2020066);the National Key Research and Development Program (2019YFC1907801, 2019YFC1907803 and 2019YFC1907804);the Central South University Innovation-Driven Research Programme (2023CXQD009)。
氟是废旧锂电池回收难以回避的典型杂质元素,其迁移转化行为复杂,制约了高品质正极材料的可控再生制备.本研究通过揭示废旧锂电池在热解、浸出及高镍LiNi_(0.9)Co_(0.05)Mn_(0.05)O_(2)材料再生过程中氟的迁移转化规律,为氟的定向调控...
关键词:正极材料 三元材料 废旧锂离子电池 高镍 回收过程 废旧锂电池 循环稳定性 氟掺杂 
Fe的原位掺杂对Pt/Silicalite-1催化丙烷脱氢反应性能的提升作用被引量:1
《物理化学学报》2023年第7期79-88,共10页沈姗姗 刘晓晖 郭勇 王艳芹 
国家自然科学基金(21832002)资助。
利用一步水热法制备了原位掺杂Fe的Silicalite-1分子筛载体,浸渍得到相应的Pt基催化剂,用于丙烷的直接脱氢反应。作为对比,也制备了Pt/Silicalite-1和共浸渍的Pt1Fe2/Silicalite-1催化剂。研究发现较之Pt/Silicalite-1催化剂,原位掺入Fe...
关键词:丙烷脱氢 SILICALITE-1 Pt基催化剂 Fe原位掺杂 
原位掺杂的高镍正极材料LiNi_(0.92)Co_(0.039)Mn_(0.038)Zr_(0.003)O_(2)的烧结工艺与性能被引量:1
《材料热处理学报》2023年第4期47-58,共12页张昊霖 陶志军 孟凡博 左业展 韩旗英 伍儒锋 袁斌 胡仁宗 
采用共沉淀-固相烧结法成功制备了锆离子原位掺杂的高镍正极LiNi_(0.92)Co_(0.039)Mn_(0.038)Zr_(0.003)O_(2),通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、电化学阻抗(EIS)、循环伏安(CV)和恒流充放电测试等探究了不同烧结温度、烧结时间以及...
关键词:高镍正极材料 原位掺杂 共沉淀法 电化学性能 锂配比 
锑原位掺杂SiO_(2)@PDA-Sb复合材料修饰电极用于海水中Zn离子检测
《应用海洋学学报》2023年第1期118-127,共10页常粟淮 兰旺荣 程薛霖 黄旭光 
国家自然科学基金资助项目(41976150);福建省自然科学基金资助项目(2019J01747)。
本研究提出了一种用于检测海水中锌离子(Zn^(2+))含量的电化学检测方法。该方法首先应用水热法合成SiO_(2)@PDA-Sb复合材料,然后将该复合材料修饰到玻碳电极上制备SiO_(2)@PDA-Sb-Nafion/GCE,利用差分脉冲阳极溶出伏安法(DPASV)对珠江...
关键词:海洋化学 锑原位掺杂 差分脉冲阳极溶出伏安法 痕量锌离子 海水 
具有选择性前表面场的p型背结太阳电池被引量:1
《微纳电子技术》2022年第11期1119-1125,共7页李得银 马岩青 石惠君 杨超 王冬冬 陈丹 
隧穿氧化物钝化接触(TOPCon)结构由掺杂多晶硅及隧穿氧化层构成,具有出色的钝化及接触特性。将n型TOPCon太阳电池制备理念应用到p型硅片中,利用背面原位掺杂磷多晶硅层充当pn结,并利用印刷纳米硼浆的方法完成选择性前表面场(FSF)的制备...
关键词:背结太阳电池 隧穿氧化物钝化接触(TOPCon) 原位掺杂 选择性前场 纳米硼浆 
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