硫化锌薄膜

作品数：37被引量：81H指数：6
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厚度对ZnS薄膜光学特性与力学特性的影响
《红外与激光工程》2025年第3期211-218,共8页孟阳 陶海军 刘华松 孙鹏 白金林 杨仕琪 
国家自然科学基金项目(61975150);同济大学先进微结构材料教育部重点实验室开放基金项目;天津市自然科学重点基金项目(23JCZDJC00150)。
ZnS是重要的宽光谱光学薄膜材料,在宽带红外增透膜膜系中常常需要使用几十纳米到几百纳米的ZnS薄膜。为了明确厚度对ZnS薄膜性能的影响,使用离子辅助电阻热蒸发法在熔融石英基底上镀制了不同厚度的ZnS薄膜,分析了不同厚度ZnS薄膜的光学...
关键词：光学薄膜 薄膜性能 微观结构分析 硫化锌薄膜 光学特性 力学特性 
工艺参数对硫化锌薄膜光学性能和结晶特性的影响被引量：3
《表面技术》2021年第6期184-192,共9页李坤 熊玉卿 王虎 何延春 王兰喜 周超 周晖 
装备预研重点实验室基金项目(6142207190407)。
目的研究离子源偏压和沉积温度的变化对硫化锌薄膜光学性能和结晶性能的影响规律。方法采用电子束蒸发技术,在K9玻璃基片上制备了硫化锌薄膜。采用分光光度计测试了薄膜的光学性能,利用光谱反演法得出薄膜的折射率和消光系数随波长的变...
关键词：电子束蒸发 硫化锌 薄膜 偏压 温度 折射率 结晶 
硫化温度对ZnS薄膜生长质量的影响被引量：2
《原子核物理评论》2017年第3期651-655,共5页宋力刚 朱特 曹兴忠 张仁刚 况鹏 靳硕学 张鹏 龚毅豪 王宝义 
国家自然科学基金资助项目(11505205;11505192);湖北省教育厅科研计划项目(D20121109)~~
采用热反应法对玻璃衬底上以磁控溅射制备的Zn薄膜进行硫化,制备出Zn S薄膜。薄膜的微观结构、物相结构和表面形貌分别采用正电子湮没技术(PAT)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)进行分析和表征。利用慢正电子湮没多普勒展宽对...
关键词：硫化锌薄膜 磁控溅射 硫化 正电子湮没谱学 
离子辅助沉积对ZnS薄膜晶体结构及光学特性的影响被引量：2
《激光与光电子学进展》2017年第10期457-462,共6页冯毅东 秦杨 于天燕 
对不同离子束密度条件下辅助沉积的ZnS薄膜进行了物理及光学特性研究。研究结果表明,在离子束辅助沉积ZnS薄膜时会出现非均匀生长现象,且非均匀性和折射率会随着离子束密度的增加而增大,薄膜结晶程度也增加。薄膜的非均匀性增加了薄膜...
关键词：薄膜 光学特性 离子束辅助沉积 硫化锌薄膜 非均匀性 折射率 
硫化锌薄膜的原子层沉积生长及表征被引量：3
《红外》2017年第2期1-6,共6页孙常鸿 张鹏 张天宁 陈鑫 叶振华 
国家自然科学基金(6070612);中国科学院国防科技创新基金(cxjj-10-m29)
为满足硫化锌(ZnS)薄膜在光学薄膜领域进一步应用的要求,基于原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)技术在130℃温度下以二乙基锌(DEZ)和硫化氢(H_2S)为反应源,在砷化镓(GaAs)衬底表面沉积了ZnS薄膜。用扫描电子显微镜(Scanning Elec...
关键词：原子层沉积 硫化锌 薄膜 
椭偏法研究硫化锌薄膜的中红外光学特性被引量：1
《材料导报（纳米与新材料专辑）》2015年第1期93-97,共5页王者 肖峻 马孜 
西南民族大学研究生"创新型科研项目"(CX2014SZ129)
采用电子束蒸发法在K9玻璃衬底上分别制备了设计厚度为115nm、467nm、652nm的硫化锌薄膜，分别记为A、B、C；采用椭偏法研究薄膜的光学特性。对薄膜A、B、C进行Brendel振予拟合，根据ZnS薄膜特性及成膜特点，建立模型“基底（K9玻璃）...
关键词：薄膜 光学常量 椭偏法 ZNS 薄膜厚度 
沉积温度对硫化锌(ZnS)薄膜的结晶和光学特性影响研究被引量：9
《物理学报》2013年第21期206-210,共5页于天燕 秦杨 刘定权 
对不同温度下沉积的ZnS薄膜的结晶情况和光学特性进行了研究,结果表明:沉积温度对ZnS薄膜的物理和光学特性有较大影响,不同的温度沉积的ZnS薄膜具有不同的择优取向,牢固度也大不相同;不同沉积温度下,ZnS薄膜的光学常数也不尽相同.温度为...
关键词：硫化锌薄膜 沉积温度 表面形貌 光学常数 
离子束辅助沉积和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响被引量：8
《真空科学与技术学报》2009年第S1期55-58,共4页陈焘 罗崇泰 王多书 刘宏开 王济洲 马锋 
表面工程技术国家级重点实验室基金资助项目(No.51418060305HT6007)
在硅基底上用电子束蒸发方法制备了硫化锌薄膜。通过XRD和薄膜应力测试仪研究了离子束辅助沉积和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响规律。结果表明,未采用离子辅助技术制备的硫化锌薄膜为压应力,平均应力值为110.6 MPa,当采用离子束辅助...
关键词：硫化锌薄膜 离子束辅助沉积 真空退火 应力 
化学水浴沉积法制备硫化锌薄膜研究进展被引量：2
《无机盐工业》2008年第4期8-10,18,共4页崔占奎 邹正光 龙飞 吴一 
广西自然科学基金资助项目(0542013)
硫化锌薄膜是重要的半导体光电材料。分析了化学水浴沉积法制备硫化锌薄膜的原理与机制,重点阐述了制备过程的影响因素及工艺的优化。简要介绍了采用该工艺制备的硫化锌薄膜在Cu(In,Ga)Se2薄膜太阳电池方面的应用。最后指出硫化锌薄膜...
关键词：化学水浴沉积 硫化锌薄膜 Cu(In Ga)Se2 太阳电池 
不同参数溅射的ZnO薄膜硫化后的特性被引量：1
《物理学报》2005年第5期2389-2393,共5页张仁刚 王宝义 张辉 马创新 魏龙 
国家自然科学基金 (批准号 :10 2 75 0 77)资助的课题 .~~
采用直流反应磁控溅射法在玻璃和石英衬底上沉积了ZnO薄膜 ,然后将它们在H2 S气流中硫化得到ZnS薄膜 .用x射线粉末衍射仪 (XRD)、扫描电子显微镜 (SEM)和UV VIS透过光谱对ZnS薄膜样品进行了分析 .结果表明 ,该ZnS薄膜为六角晶体结构 ,沿...
关键词：硫化锌薄膜 磁控溅射 氧化锌硫化 太阳电池 
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