沉积温度

作品数：307被引量：712H指数：12
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ITO沉积温度对ITO/Au透明导电薄膜光电性能的影响
《表面技术》2025年第4期233-241,261,共10页侯焕然 金扬利 石晓飞 张运生 王衍行 祖成奎 
目的研究衬底层ITO的沉积温度对ITO/Au透明导电薄膜光电性能的影响规律和机理。方法采用直流磁控溅射技术,在不同沉积温度下制备的ITO薄膜表面沉积超薄Au膜,利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、分光光度计、四探针电阻测试仪对ITO/Au薄...
关键词：沉积温度 氧化铟锡 超薄金膜 透明导电薄膜 磁控溅射 光电性能 表面自由能 
基于mist CVD的高纯相α-Ga_(2)O_(3)生长与光电响应特性研究
《人工晶体学报》2025年第2期233-243,共11页姚苏昊 张茂林 季学强 杨莉莉 李山 郭宇锋 唐为华 
国家重点研发计划(2022YFB3605404);国家自然科学基金联合项目(U23A20349);江苏省双创人才团队项目(JSSCTD202351)。
超宽禁带半导体氧化镓(Ga_(2)O_(3))在功率电子和信息传感方面有重要应用,其高效、经济的制备方法是实现产业推广的重要环节。本文报道了一种Sn辅助雾相化学气相沉积(mist CVD)技术,基于这种非真空、低成本方法在c面蓝宝石衬底上成功外...
关键词：α-Ga_(2)O_(3) 雾相化学气相沉积 Sn辅助生长 光电响应 沉积温度 掺杂激活 
沉积温度对氮化铝压电薄膜性能影响及机制分析
《光电子.激光》2025年第1期107-112,共6页郭燕 刘小军 王进 
江苏省第六期333高层次人才培养工程项目(苏人才办[20222]号);教育部产学研合作协同育人项目(220606545244324)资助项目。
高频光电通信器件对压电材料特性要求越来越高,氮化铝(AlN)薄膜由于其优异的压电特性而备受关注,高取向高压电AlN薄膜沉积工艺优化成为其应用拓展的瓶颈技术之一,众多制备工艺参数中温度是影响AlN薄膜晶格取向的关键参数之一。本文采用...
关键词：氮化铝(AlN) 衬底温度 取向生长 压电特性 
沉积温度对AlCrTiN涂层铣刀切削性能的影响
《轻工科技》2024年第6期79-82,139,共5页李志强 
对比研究无涂层铣刀和在沉积温度为300℃或400℃制备下的AlCrTiN涂层铣刀的切削温度、切屑形态、切削力、磨损形貌、磨损宽度等随着切削时间的变化趋势,通过切削性能实验数据分析刀具的切削磨损机理,得出沉积温度对AlCrTiN涂层铣刀切削...
关键词：沉积温度 AlCrTiN涂层 切削温度 切屑形态 切削力 磨损形貌 磨损宽度 
沉积温度对MOCVD法制备固体氧化物燃料电池GDC阻挡层性质的影响
《人工晶体学报》2024年第12期2197-2204,共8页马超 熊春艳 徐源来 赵培 
致密的氧化钆掺杂的氧化铈(GDC)薄膜可以被应用于固体氧化物燃料电池(SOFC)的阴极LSCF与电解质YSZ的阻挡层,防止绝缘相SrZrO3的生成,从而提高电池的耐久性。本文以四(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)铈(Ce(DPM)_(4))和三(2,2,6,6-四甲基-3,5...
关键词：氧化钆掺杂氧化铈 金属有机物化学气相沉积 沉积温度 固体氧化物燃料电池 
沉积温度对AlN陶瓷表面电弧离子镀Ni涂层性能的影响
《电子元件与材料》2024年第12期1431-1436,共6页耿子航 孙世龙 尤斌 林荣川 郑新建 
福建省高校产学研合作项目(2021H6031);福建省高校产学研合作项目(2022H6030);福建省科技计划引导性项目(2023H0014)。
AlN陶瓷具有高热导率、低热膨胀系数、优异的电学性能和机械性能等优点,是一种理想的电子封装基板材料,在电子封装基板领域应用广泛。然而,当其作为封装基板材料使用时,必须对其表面进行金属化处理,才能实现陶瓷与金属的互连。本文创新...
关键词：AlN陶瓷金属化 Ni涂层 电弧离子镀 沉积温度 涂层性能 
电弧离子镀AlCrSiN涂层及其切削性能研究
《黑龙江科学》2024年第20期80-83,共4页姜春昌 
为解决刀具在高速切削时寿命短、加工效率低等问题,在刀具上涂覆AlCrSiN涂层提升刀具的硬度、韧性、耐磨性和抗氧化性能,采用电弧离子镀技术,通过改变沉积温度在基体材料上制备AlCrSiN涂层,利用纳米压痕仪、划痕测试仪和高温摩擦磨损试...
关键词：电弧离子镀 AlCrSiN涂层 纳米蓝(AlTiN)涂层 沉积温度 切削性能 
基于沉积温度的氧化铟锡微结构调控及性能被引量：2
《材料工程》2024年第9期11-18,共8页马可欣 曹丽莉 罗飞 周海涛 王瑶 罗炳威 徐毅 刘松 孙坤 
为提高薄膜热电偶在航空发动机高温零部件表面瞬时测温的性能,采用直流磁控溅射法制备氧化铟锡(ITO)薄膜。通过沉积温度变化调控薄膜的微结构,并采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、塞贝克测试仪、纳米划痕测试仪等分别表征薄膜的微观结...
关键词：ITO薄膜 薄膜热电偶 沉积温度 热电性能 
Ni-CeO_(2)黑色防护镀层的光助动电位沉积及光热性能
《材料导报》2024年第14期77-85,共9页吴世伟 杨雨萌 段雪佳 蓝世锋 李舒铭 朱本峰 卫国英 
国家自然科学基金(52001300,52171083)。
镍镀层作为一种重要的工程材料,已经在金属涂装等领域得到了广泛的应用,而二氧化铈作为一种重要的稀土氧化物也引起了学者们极大的关注。本工作利用光助动电位沉积法制备了Ni-CeO_(2)复合黑色镀层,分别研究了光照条件、沉积电位范围和...
关键词：动电位沉积 镍-二氧化铈 复合黑色镀层 沉积电位 沉积温度 光照 
K452合金表面CVD渗铝涂层制备温度对其750℃硫酸盐热腐蚀行为的影响被引量：2
《中国腐蚀与防护学报》2024年第3期612-622,共11页徐佳新 耿树江 王金龙 王福会 孙清云 吴勇 夏思瑶 
国家重点研发计划(2020YFB2010400);湖北省重点研发计划(2021BAA210)。
采用化学气相沉积(CVD)技术在K452合金表面沉积渗铝涂层,沉积温度分别为850、950和1050℃。研究了沉积温度对CVD渗铝涂层在750℃空气中表面沉积Na_(2)SO_(4)及Na_(2)SO_(4)+NaCl环境下热腐蚀行为的影响。采用扫描电子显微镜(SEM)、X射...
关键词：CVD渗铝涂层 沉积温度 Na_(2)SO_(4)腐蚀 Na_(2)SO_(4)+NaCl腐蚀 
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