金属有机物化学气相沉积

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基于衬底台阶调控技术的高质量GaN生长
《半导体技术》2025年第5期481-487,共7页高楠 房玉龙 王波 张志荣 尹甲运 韩颖 刘超 
GaN晶体质量提升对材料及器件性能优化至关重要。通过金属有机物化学气相沉积(MOCVD)在SiC衬底上对GaN晶体质量进行了实验研究。对比了高温H,刻蚀与高温HCl刻蚀对衬底台阶的影响,并对后续生长的AIN和GaN晶体质量进行了表征,发现增加衬...
关键词：金属有机物化学气相沉积(MOCVD) GAN 衬底台阶 高温刻蚀 半高宽(FWHM) 
c面蓝宝石衬底上ε-Ga_(2)O_(3)的金属有机物化学气相沉积
《人工晶体学报》2025年第3期420-425,共6页王子铭 张雅超 冯倩 刘仕腾 刘雨虹 王垚 王龙 张进成 郝跃 
本文采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)法在c面蓝宝石衬底上沉积ε-Ga_(2)O_(3)薄膜,研究了单步生长和两步生长方法对薄膜沉积的影响。采用单步法时,薄膜直接在蓝宝石衬底上生长,使用高分辨X射线单晶衍射分析沿蓝宝石c轴方向的Ga_(2)O_...
关键词：ε-Ga_(2)O_(3) 金属有机物化学气相沉积 蓝宝石衬底 晶体生长 宽禁带半导体 X射线衍射 原子力显微镜 
沉积温度对MOCVD法制备固体氧化物燃料电池GDC阻挡层性质的影响
《人工晶体学报》2024年第12期2197-2204,共8页马超 熊春艳 徐源来 赵培 
致密的氧化钆掺杂的氧化铈(GDC)薄膜可以被应用于固体氧化物燃料电池(SOFC)的阴极LSCF与电解质YSZ的阻挡层,防止绝缘相SrZrO3的生成,从而提高电池的耐久性。本文以四(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)铈(Ce(DPM)_(4))和三(2,2,6,6-四甲基-3,5...
关键词：氧化钆掺杂氧化铈 金属有机物化学气相沉积 沉积温度 固体氧化物燃料电池 
双有源区结构4.7μm中波红外量子级联激光器
《中国光学（中英文）》2024年第5期1042-1049,共8页王渝沛 章宇航 罗晓玥 钱晨灏 程洋 赵武 魏志祥 韩迪仪 孙方圆 王俊 周大勇 
国家重点研发计划(No.2018YFB1107300)。
本文报道了一种基于双有源区的4.7μm中波红外量子级联激光器,脊宽为9.5μm,可实现室温连续基横模工作。通过在单有源区中心插入0.8μm InP间隔层,将原有的单有源区转变成双有源区结构,可显著降低器件有源区的峰值温度,同时抑制高阶横...
关键词：中红外 量子级联激光器 双有源区 金属有机物化学气相沉积 连续输出 
Zn、Si掺杂GaAs纳米线的发光性能
《红外与激光工程》2024年第7期234-241,共8页郎天宇 王海珠 于海鑫 王登魁 马晓辉 
重庆自然科学基金项目(cstc2021jcyjmsxmX1060,CSTB2022NSCQ-MSX0401);吉林省科学技术发展计划(20210201089GX,20210201030GX)。
为探明掺杂对硅基GaAs纳米线发光性能的影响机理,采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)技术,以气-液-固(VLS)生长机制为基础,在硅基上实现了Zn和Si掺杂的GaAs纳米线制备。通过变温、变功率光致发光(PL)等表征手段发现,未掺杂与Si掺杂GaAs...
关键词：材料 发光性能 金属有机物化学气相沉积 掺杂GaAs纳米线 
感光层厚度对a-GaO_(x)基日盲紫外光电探测器的性能影响研究
《吉林大学学报（信息科学版）》2024年第3期567-572,共6页常鼎钧 李赜明 张赫之 
国家自然科学基金资助项目(62104024)。
为制备高性能日盲紫外光电探测器,采用低温金属有机物化学气相沉积方法制备了非晶氧化镓薄膜。通过对薄膜结构特性测试证明了薄膜的非晶特性,并且薄膜表面较为平坦,光学吸收边位于深紫外波段范围内。在此基础上,研制了日盲紫外光电探测...
关键词：非晶氧化镓 日盲紫外探测 厚度依赖特性 金属有机物化学气相沉积 
金属有机物化学气相沉积颗粒物污染及在线氯气清洗工艺研究
《广东化工》2024年第9期25-27,20,共4页杨超普 方文卿 李晓龙 
陕西省教育厅专项科研计划项目(20JK0615);商洛学院重点培育项目(22KYPY03);商洛学院博士启动基金(21SKY127)。
近耦合喷淋MOCVD在硅衬底GaN基LED外延生长中优势显著。外延中反应室内颗粒物污染直接影响着晶体质量。通过自主设计加工全316L不锈钢近耦合MOCVD喷头,在近耦合喷淋MOCVD上首次实现了在线氯气清洗并完成工艺优化。利用激光尘埃粒子计数...
关键词：金属有机物化学气相沉积 外延生长 氯气清洗 颗粒物污染 
MOCVD生长的中红外高功率量子级联激光器
《发光学报》2024年第5期794-799,共6页杨鹏昌 李曼 孙永强 程凤敏 翟慎强 刘峰奇 张锦川 
国家自然科学基金(61991430,62235016,12393830,62327813)。
量子级联激光器(QCL)是中远红外波段的优质光源,具有体积小、重量轻、电光转化效率高等诸多优势,在传感、通信和国防等领域有重要的应用前景。金属有机物化学气相沉积(MOCVD)技术作为更高效的外延方式,应发展适用于QCL的MOCVD外延生长...
关键词：量子级联激光器 中红外 高功率 金属有机物化学气相沉积 
高温退火对AlN外延材料晶体质量的影响
《固体电子学研究与进展》2024年第2期167-172,共6页罗伟科 王翼 李亮 李传皓 张东国 杨乾坤 彭大青 李忠辉 
江苏省重点研发计划资助项目(BE2020004);重点实验室基金资助项目(614280303012002)。
采用高温退火技术改善金属有机物化学气相沉积AlN薄膜材料晶体质量。研究发现较低的生长温度下,Al原子迁移能力弱,外延呈岛状生长模式,形成大量的柱状晶粒,晶粒倾斜、扭曲,晶格原子排列混乱,存在大量的位错和层错缺陷;高温退火时晶格发...
关键词：高温退火 氮化铝 晶体质量 金属有机物化学气相沉积 
具有多MO喷嘴垂直MOCVD反应腔外延层厚度均匀性的优化理论及应用
《物理学报》2024年第4期245-255,共11页李建军 崔屿峥 付聪乐 秦晓伟 李雨畅 邓军 
国家重点研发计划(批准号:2018YFA0209003);北京市自然科学基金(批准号:4222060)资助的课题.
金属有机物化学气相淀积(metal organic chemical vapor deposition,MOCVD)作为异质结半导体材料外延的关键手段,其外延层厚度均匀性会直接影响产品的良率.本文将理论与实验相结合,针对3个MO源喷嘴的垂直反应腔MOCVD,将各MO源喷嘴等效...
关键词：外延生长 最小二乘拟合 薄膜均匀性 金属有机物化学气相沉积 
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