薄膜热电偶

作品数：103被引量：314H指数：11
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冷效试验中涡轮叶片表面薄膜热电偶测温技术研究被引量：1
《中国科学:技术科学》2025年第2期309-321,共13页田青云 曹丽莉 徐毅 刘松 王登奎 罗飞 周海涛 马可欣 王素杰 史继源 崔金婷 牟仁德 詹喻威 孙坤 谢孝昌 罗炳威 
中国航发自主创新基金(编号:JK65200309);中国航发航材院创新基金(编号:KJSJ230312,KJSZ240312)资助项目。
气冷涡轮叶片结构复杂,高温高速燃气与冷却气体的复合使得叶片的表面温度分布极不均匀.冷效试验是检验气冷涡轮叶片冷效设计优劣的主要方法,也为避免叶片超温提供基础的设计数据,冷效试验过程中涡轮叶片表面的真实温度测量成为关键.薄...
关键词：冷效试验 表面温度 多物理场耦合 薄膜热电偶 涡轮叶片 
ITOPt柔性薄膜热电偶的制备及其热电性能优化
《计测技术》2024年第5期39-47,共9页黄明镜 刘兆钧 李杨 郭子隽 张仲恺 田边 
中国航空发动机集团产学研合作项目(HFZL2023CXY011);中国航发四川燃气涡轮研究院外委课题稳定支持项目(GJCZ-0203-2024-0004);中国博士后创新人才支持计划项目(BX20240278)。
为解决柔性薄膜温度传感器易变形损坏失效、测试灵敏度低等问题,建立了传感器模型,开展了柔性薄膜热电偶的热-电-力多场耦合仿真计算。根据结果优化传感器结构尺寸,提出了热处理优化传感器灵敏度的工艺方法,制备出基于柔性聚酰亚胺基底...
关键词：温度传感器 柔性器件 薄膜热电偶 热处理 灵敏度 
基于沉积温度的氧化铟锡微结构调控及性能被引量：2
《材料工程》2024年第9期11-18,共8页马可欣 曹丽莉 罗飞 周海涛 王瑶 罗炳威 徐毅 刘松 孙坤 
为提高薄膜热电偶在航空发动机高温零部件表面瞬时测温的性能,采用直流磁控溅射法制备氧化铟锡(ITO)薄膜。通过沉积温度变化调控薄膜的微结构,并采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、塞贝克测试仪、纳米划痕测试仪等分别表征薄膜的微观结...
关键词：ITO薄膜 薄膜热电偶 沉积温度 热电性能 
曲面铜—康铜薄膜热电偶的研制及分度方法研究
《计量与测试技术》2024年第9期1-4,共4页关卫军 李水敏 路宗敏 张仲恺 田边 张金龙 
国家重点研发计划(项目名称:涡轮和燃烧室结构参数测试通用传感器研制,项目编号:2022YFB3207502)。
薄膜热电偶可实现对固体表面温度的准确测量。本文采用磁控溅射工艺制备曲面铜-铜镍合金(康铜)薄膜热电偶,通过对影响成膜质量的溅射参数进行分析,提出一种基于磁控溅射和退火工艺的制备方法,并进行实验验证。结果表明:该热电偶工作温...
关键词：薄膜热电偶 研制 最小二乘法 分度方法 
高精度NiCr/NiSi薄膜热电偶高温测试系统被引量：2
《仪表技术与传感器》2024年第2期1-5,10,共6页阮勇 肖倩 韩玉宁 刘海龙 李嘉恒 吴宇 石萌 董和磊 
国家重点研发计划(2020YFB2009103)。
针对航空发动机涡轮叶片和燃烧室内壁等高温恶劣环境下对温度测量的迫切需求,提出了一种基于薄膜热电偶的高精度测温方法。采用磁控溅射法在SiC衬底上制备了NiCr/NiSi薄膜热电偶。完成了薄膜热电偶的设计与制备,并设计了一套高精度温度...
关键词：高温 高精度 薄膜热电偶 测温电路 
基于多节点阵列结构的高精度薄膜温度传感器研究
《机械工程学报》2024年第4期92-100,共9页田边 刘江江 张仲恺 刘兆钧 马荣 林启敬 蒋庄德 
国家重点研发计划资助项目(2019YFB2004501)。
针对液压系统中的智能感知需求,提出一种新型微机电系统(Micro-electro-mechanical system,MEMS)薄膜温度传感器,其具有微小体积的同时兼具较高的测温精度,可实现液压元件及系统中油液温度信号的精确感知。开发出基于高分子聚合物-金属...
关键词：液压系统 薄膜热电偶 多节点结构 曲面成膜 性能研究 
高温合金异形件表面薄膜热电偶研制取得突破性进展被引量：2
《航空材料学报》2023年第6期117-120,共4页罗炳威 曹丽莉 罗飞 牟仁德 王长亮 陈柳 孙坤 徐毅 刘松 周海涛 马可欣 田青云 史继源 
中国航发自主创新基金(JK65200309);中国航发航材院创新基金。
在GH5188高温合金异形件表面制备了铂铱薄膜热电偶,并将薄膜热电偶放置于焰流台,测试高温合金异形件表面的瞬态温度。经过高温高速焰流灼烧四个循环,总测试时长达到8700 s后,铂铱薄膜热电偶仍可以稳定获取温度数据。这次实验的成功,说...
关键词：薄膜热电偶 贵金属 表面测温 高温合金 
基于多项式插值的薄膜热电偶热电特性曲线拟合方法被引量：1
《工业计量》2023年第5期9-13,共5页魏明 张开峰 张军 房成宾 许方鹏 
甘肃省市场监督管理局科研项目(SSCJG-BJ-201904)。
针对薄膜热电偶热电特性曲线拟合大多采用基于最小二乘法的多项式拟合,这种方法单一,精度低的问题,文章设计了一种基于更高阶多项式插值的薄膜热电偶热电特性曲线拟合方法,并与拉格朗日插值进行了比较,解决了拟合方法单一且拟合精度低...
关键词：薄膜热电偶 检定校准 热电曲线 多项式插值 
基于专利导航和文献综述的薄膜热电偶技术发展分析被引量：2
《计量与测试技术》2023年第4期25-29,共5页唐瑞 肖洁 吴洋 张弛 要文波 李传友 
中国机械工业集团有限公司重大科技专项项目(项目编号:SINOMAST-ZDZX-2019-03);重庆英才计划创新创业示范团队项目(项目编号:CQYC20193223);国家电网有限公司科技项目(项目编号:5700-202227445A-2-0-ZN)。
本文结合专利导航分析和文献综述,对薄膜热电偶专利申请、技术分布、创新主体等展开分析。结果表明:在航空发动机、精密车床、燃料电池等产业的牵引下,薄膜热电偶正处于高速发展阶段,其制备工艺会随微纳加工技术不断进步,且温度敏感元...
关键词：专利导航 薄膜热电偶 综述 
薄膜热电偶热氧化可靠性及结构优化
《北京航空航天大学学报》2023年第4期943-948,共6页王一丹 孙宇锋 雷东阳 薛雨晴 
国家重点研发计划(2018YFB2003100,2018YFB2003101)。
航空发动机涡轮叶片处于发动机温度最高的部位,将薄膜材料制备于待测物表面形成热电偶传感器,可及时有效的对涡轮叶片进行测温。薄膜热电偶多层膜间的热氧化界面扩散失效是导致薄膜可靠性不高的主要原因之一,基于Fick第二定律提出多层...
关键词：薄膜热电偶 界面扩散 可靠性 粒子群 优化仿真 
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