阮勇

作品数：21被引量：65H指数：5
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发文主题：MEMS继电器刻蚀微机电系统微电子机械系统更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
发文期刊：《高技术通讯》《机械强度》《微电子学与计算机》《仪器仪表学报》更多>>
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圆片级封装中的二次硅-玻璃键合工艺研究
《传感器与微系统》2024年第10期50-54,共5页郑雅欣 阮勇 祝连庆 宋志强 吴紫珏 
国家自然科学基金资助项目(U21A6003)。
针对MEMS谐振器真空封装更高的要求,将盖帽硅片、器件硅片(Si)和玻璃衬底通过二次Si—玻璃(D-SOG)阳极键合工艺,实现了MEMS谐振器加工的同时,完成MEMS谐振器的6in圆片级高真空度封装。通过优化两次键合工艺参数,第二次键合温度由第一次...
关键词：微机电系统 圆片级真空封装 玻璃上硅键合封装密封环 二次硅—玻璃键合 
高精度NiCr/NiSi薄膜热电偶高温测试系统被引量：2
《仪表技术与传感器》2024年第2期1-5,10,共6页阮勇 肖倩 韩玉宁 刘海龙 李嘉恒 吴宇 石萌 董和磊 
国家重点研发计划(2020YFB2009103)。
针对航空发动机涡轮叶片和燃烧室内壁等高温恶劣环境下对温度测量的迫切需求,提出了一种基于薄膜热电偶的高精度测温方法。采用磁控溅射法在SiC衬底上制备了NiCr/NiSi薄膜热电偶。完成了薄膜热电偶的设计与制备,并设计了一套高精度温度...
关键词：高温 高精度 薄膜热电偶 测温电路 
一种MEMS平面线圈电镀方法被引量：1
《北京信息科技大学学报（自然科学版）》2022年第3期96-100,共5页卢宇杰 阮勇 
国家自然科学基金区域创新发展联合基金资助项目(U21A6003)。
电镀是微机电系统(micro-electro-mechanical system, MEMS)中制备平面线圈结构的常用工艺,电镀工艺中的边缘效应引起平面线圈表面电流密度分布不均匀,影响平面线圈电镀质量。利用有限元仿真软件,计算电镀平面线圈工艺电流及其密度,寻...
关键词：电镀工艺 微机电系统(MEMS) 有限元仿真 平面线圈 
无线MEMS传感系统在燃气轮机等恶劣环境下的应用被引量：3
《航空学报》2014年第8期2081-2090,共10页尤政 王伟忠 陈硕 阮勇 
清华大学自主科研计划(20131089351)~~
燃气轮机是应用于航空、能源、海陆交通等诸多领域的重大核心装备之一。对燃气轮机工作过程中各项环境参数(如温度、压力等)的实时监测,可进一步完善和优化燃气轮机结构、提高效率、减少排放和降低维护费用。新近发展起来的基于微机电系...
关键词：燃气轮机 无线MEMS传感系统 实时监测 恶劣环境 高温 高压 
叉指式高Q值可变电容仿真设计被引量：1
《兵工学报》2013年第10期1236-1242,共7页李延宁 阮勇 尤政 徐宏伟 黎玉刚 
提出了一种叉指式微机电系统（MEMS）可变电容设计方案，并从结构、电学特性、工艺三方面进行了仿真设计。由仿真结果可知：驱动电压为67V时，该设计理论电容可调率3．45，电容调节范围88．16～392．19iF，谐振频率36GHz，Q值223（1GHz...
关键词：电子技术 可变电容 微机电系统 仿真设计 蛇形梁 Q值 
芯片级原子器件MEMS碱金属蒸气腔室制作被引量：12
《光学精密工程》2013年第6期1440-1446,共7页尤政 马波 阮勇 陈硕 张高飞 
高等学校博士学科点专项科研基金新教师基金资助项目(No.20090002120007);精密测试技术及仪器国家重点实验室基金资助项目
提出了基于两步低温阳极键合工艺的碱金属蒸气腔室制作方法,用于实现原子钟、原子磁力计及原子陀螺仪等器件的芯片级集成。由微机电系统(MEMS)体硅工艺制备了腔室结构。首先采用标准工艺将刻蚀有腔室的硅圆片与Py-rex玻璃阳极键合成预...
关键词：微机电系统 阳极键合 原子蒸气腔室 碱金属封装 芯片级原子器件 
微纳米级键合强度分析(英文)
《纳米技术与精密工程》2012年第6期481-485,共5页阮勇 尤政 张大成 
教育部高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20091011292);清华大学精密测试国家重点实验室基金资助项目
本文主要研究了微米/纳米尺度的键合技术和键合强度,给出并发展了基于MEMS技术的微米/纳米键合分析模型.为提取微米/纳米键合面积的最大剪应力和压应力,设计、制备和测试了一系列单晶硅悬臂梁结构.并使用理论公式和ANSYS有限元模拟对实...
关键词：MEMS 阳极键合 键合强度 
MEMS用新型微型超级电容器的制造及性能分析
《高技术通讯》2012年第8期863-868,共6页陈学坤 王晓峰 张高飞 阮勇 尤政 
国家自然科学基金（50905096）资助项目.
采用微加工工艺为MEMS制作了一种基于电化学赝电容原理储能的微型能量存储器件——新型微型超级电容器。通过光刻、感应耦合等离子体刻蚀和溅射等MEMS微加工工艺制作了硅基3D微电极阵列，并在其表面用阴极电沉积法制备了氧化钌功能薄膜...
关键词：微机电系统(MEMS) 三维微电极阵列 微型超级电容器 氧化钌 赝电容 
MEMS继电器典型结构及其研究进展被引量：2
《传感器与微系统》2011年第7期1-4,9,共5页黄虎 尤政 阮勇 张弛 
综述了目前国内外主要MEMS继电器的原理和典型结构,包括静电型、电磁型、电热型、液态型及混合型微继电器,并对各种类型微继电器的特点进行了比较。
关键词：微机电系统 继电器 典型结构 
基于聚吡咯微电极的MEMS微型超级电容器的研究被引量：8
《电子器件》2011年第1期1-6,共6页周扬 王晓峰 张高飞 阮勇 尤政 
国家自然科学基金资助(613119)
MEMS微能源是指采用微加工技术制作实现能量的获取与转换、存储与释放的微纳器件与系统,而微型超级电容器则是一种基于电化学电容实现储能的微型能量存储器件,可作为能量存储单元在MEMS微电源系统中获得应用。设计制作了一种具有两腔并...
关键词：MEMS 微型超级电容器 聚吡咯 碳纳米管 比容量 
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