马波

作品数：1被引量：12H指数：1
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供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
发文主题：MEMS阳极键合碱金属蒸气碱金属芯片级更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《光学精密工程》更多>>
所获基金：国家重点实验室开放基金国家教育部博士点基金更多>>
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芯片级原子器件MEMS碱金属蒸气腔室制作被引量：12
《光学精密工程》2013年第6期1440-1446,共7页尤政 马波 阮勇 陈硕 张高飞 
高等学校博士学科点专项科研基金新教师基金资助项目(No.20090002120007);精密测试技术及仪器国家重点实验室基金资助项目
提出了基于两步低温阳极键合工艺的碱金属蒸气腔室制作方法,用于实现原子钟、原子磁力计及原子陀螺仪等器件的芯片级集成。由微机电系统(MEMS)体硅工艺制备了腔室结构。首先采用标准工艺将刻蚀有腔室的硅圆片与Py-rex玻璃阳极键合成预...
关键词：微机电系统 阳极键合 原子蒸气腔室 碱金属封装 芯片级原子器件 
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