MEMS继电器典型结构及其研究进展  

Typical structures and developing trends of MEMS relays

作　　者：黄虎[1] 尤政[1] 阮勇[1] 张弛[1] 

机构地区：[1]清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084

出　　处：《传感器与微系统》2011年第7期1-4,9,共5页Transducer and Microsystem Technologies

摘　　要：综述了目前国内外主要MEMS继电器的原理和典型结构,包括静电型、电磁型、电热型、液态型及混合型微继电器,并对各种类型微继电器的特点进行了比较。The principles and typical structures of MEMS relays based on MEMS technology at home and abroad are summarized.The characteristics of various MEMS relay such as electrostatic,electromagnetic,electrothermal,liquid-filled and hybrid MEMS relays are compared.

关 键 词：微机电系统 继电器 典型结构 

分 类 号：TM581[电气工程—电器]