椭偏法

作品数：65被引量：156H指数：7
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基于椭偏法对薄膜器件参数测量及反向优化研究
《中国高新科技》2023年第20期105-107,共3页魏以婧 石澎 王丽荣 卢志坚 梁怡婷 
广东省普通高校青年创新人才类项目(2021KQNCX229);广东省普通高校特色创新类项目(2021KTSCX306)。
传统薄膜器件通常使用物理气相沉积法进行开发及镀制,难以实现薄膜镀制与设计的一致性,导致薄膜器件镀制及研发与设计不符。为此,文章基于椭偏法对薄膜器件进行测量及反向优化进行研究,建立薄膜参数测量及反向优化模型,使用椭偏仪对研...
关键词：薄膜器件 椭偏法 网格 拟合 
基于光谱干涉椭偏法的薄膜厚度测量被引量：4
《计测技术》2023年第1期122-127,共6页张金旭 陈家扬 吴冠豪 
自然科学基金重大研究计划培育项目(92150104);自然科学基金重点项目(51835007)。
薄膜厚度的测量在芯片制造和集成电路等领域中发挥着重要作用。椭偏法具备高测量精度的优点,利用宽谱测量方式可得到全光谱的椭偏参数,实现纳米级薄膜的厚度测量。为解决半导体领域常见的透明硅基底上薄膜厚度测量的问题并消除硅层的叠...
关键词：光谱干涉 椭偏 薄膜测量 偏振分离 
铬金属薄膜的椭偏法研究被引量：1
《光源与照明》2022年第10期44-46,共3页魏以婧 石澎 张鸿佳 胡梓杰 曾嘉琳 卢志坚 
广东省普通高校青年创新人才类项目(2021KQNCX229);广东省普通高校特色创新类项目(2021KTSCX306);广东大学生科技创新培育专项资金资助项目(pdjh2021b0954)。
为获得铬(Cr)金属薄膜的光学常数,文章采用武汉颐光科技公司生产的SE-VM-L型宽光谱全穆勒矩阵椭偏仪,测量和分析了用光控自动真空镀膜机沉积在石英玻璃上得到的单层Cr金属薄膜,得到了Cr金属薄膜在200~1 700 nm宽谱上的光学常数曲线和薄...
关键词：铬金属薄膜 光学常数 椭偏法 Cauchy模型 Gaussion模型 
椭偏法测量拓扑绝缘体的复折射率被引量：1
《物理实验》2021年第1期22-26,共5页陆华 李扬武 岳增记 曾为 
国家自然科学基金项目(No.11974283,11774290,61705186);陕西省自然科学基础研究计划项目(No.2020JM-130)。
采用椭偏法测量了拓扑绝缘体Bi 2Te 3单晶的复折射率.运用经典的德鲁德和托克-洛伦兹模型分别对拓扑绝缘体的表面态和体态进行拟合,获得了其折射率和消光系数,并且分析了色散曲线的变化规律.实验结果表明:Bi 2Te 3拓扑绝缘体的体态具有...
关键词：椭偏法 拓扑绝缘体 Bi 2Te 3 复折射率 消光系数 
直流磁控溅射制备锐钛矿TiO2薄膜生长速率的研究及其在多层膜制备中的应用被引量：5
《真空》2020年第5期19-23,共5页王朝勇 李伟 王凯宏 李宗泽 刘志清 余晨生 王新练 王小妮 吴昊 马培芳 
河南省科技攻关项目(172102210106,152102210038);平顶山市科技合作项目(2017009(9.5));河南城建学院2018年青年骨干教师项目。
利用直流磁控溅射技术(DCMS)制备锐钛矿TiO2薄膜,研究了工艺参数中的衬底温度、压强和溅射功率对TiO2薄膜的沉积速率的影响,利用场发射扫描电镜(FESEM)、X射线衍射仪(XRD)和椭圆偏振光测试仪表征了样品的表面形貌、结构和膜厚,实验结果...
关键词：磁控溅射 锐钛矿TIO2 溅射速率 椭偏法 
单波长椭偏法测量各向异性晶体光学参数的研究被引量：1
《激光与光电子学进展》2020年第15期216-224,共9页汪娟 冀丽娜 白芸 黄佐华 
国家自然科学基金(61704031);广州市科学研究专项(2014J4100130)。
采用单波长反射式椭偏仪以及多次旋转样品的方法,实现了光轴平行于表面的各向异性晶体光学参数的测量。分析了单波长椭偏法测量各向异性晶体光学参数的原理,改进了模拟退火单纯形联合反演算法,利用数值模拟讨论了光入射角、样品光轴取...
关键词：椭偏法 各向异性材料 光学参数 晶体 
用椭偏法研究Al2O3薄膜的宽光谱特性
《石油石化物资采购》2019年第20期46-48,共3页唐帆斌 
南宁学院校级科研项目(2017XJ09);广西高校中青年教师基础能力提升项目(2018KY0751)。
为了获得Al2O3薄膜的光学常数,采用德国SENTECH生产的SE850宽光谱反射式光谱型椭偏仪,测量和分析了用光控自动真空镀膜机沉积在K9玻璃基底上的Al2O3薄膜样品,得到了Al2O3薄膜在380nm^2300nm宽光谱上的光学常数曲线和薄膜厚度。结果表明...
关键词：AL2O3薄膜 椭偏仪 薄膜厚度 光学常数 
K9玻璃基底的宽光谱特性椭偏法研究
《中阿科技论坛（中英阿文）》2019年第1期60-63,J0078-J0081,共5页唐帆斌 
南宁学院校级科研项目(2017XJ09)~~
为了获得K9玻璃基底的光学常数,采用德国SENTECH生产的SE850宽光谱反射式光谱型椭偏仪,测量和分析了K9玻璃基底,得到了K9玻璃在380nm～2300nm宽光谱上的光学常数曲线。分别测量了在入射角为60o、65o和70o下的椭偏曲线,采用最简单的"基底...
关键词：K9 玻璃 椭偏仪 折射率 
采用椭偏法结合分光光度法研究极薄银的光学常数被引量：4
《应用光学》2018年第6期867-872,共6页牛江伟 潘永强 
陕西省自然科学基础研究计划项目(2018JM6031);陕西省教育厅重点项目(18JS054)
极薄银在滤光片、高反射镜等中有广泛的应用,其光学常数严重影响着膜系的特性。在室温条件下,采用电阻热蒸发技术分别在硅和玻璃基底上沉积5.3nm～26nm不同厚度的极薄银薄膜,用TalySurfCCI非接触式轮廓仪测量了薄膜的厚度,研究了不同厚...
关键词：薄膜 极薄银 椭偏法 光学常数 
椭偏法光学材料折射率测量精度分析被引量：3
《西安工业大学学报》2018年第3期214-218,共5页武月月 弥谦 
陕西省教育厅(204040007)
为了实现光学材料参数高精度测量与初步检测材料快速进行.基于对椭偏法测量光学材料折射率的原理,对实验仪器的选取和实验过程进行设计,得出实验数据,对实验中的光强强度变化误差、入射角精度、起偏器和检偏器转动误差等方面进行分析....
关键词：椭偏法 折射率 测量精度 光学材料 
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