AL2O3薄膜

作品数：78被引量：194H指数：7
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原子层沉积工艺对TOPCon太阳电池电性能的影响研究
《太阳能》2025年第3期82-89,共8页朱少杰 王贵梅 程雅琦 王玉肖 许志卫 
针对采用原子层沉积(ALD)工艺制备的Al_(2)O_(3)薄膜对TOPCon太阳电池电性能的影响进行了研究。研究结果显示:1)空间型沉积方式下制备得到的Al_(2)O_(3)薄膜厚度为9 nm时与时间型沉积方式下制备得到的Al_(2)O_(3)薄膜厚度为5 nm时得到的...
关键词：原子层沉积 时间型沉积方式 空间型沉积方式 AL2O3薄膜 TOPCon太阳电池 电性能 
基于PLD溅射Al2O3薄膜的声表面波温度传感器的研究被引量：2
《仪表技术与传感器》2020年第12期105-109,共5页周煦航 郭涛 梁晓瑞 谭秋林 甘宇 
国家自然科学基金项目(U1837209)。
通过脉冲激光沉积系统沉积Al2O3薄膜层作为电极的防护层的声表面波温度传感器。在0~1300℃高温测试中,温度传感器的谐振频率随着温度的增加而减小。声表面波器件在1100℃环境下稳定工作了80 min,最后通过扫描电子显微镜(SEM)观察薄膜的...
关键词：PT/TI电极 硅酸镓镧 温度传感器 Al2O3防护薄膜 
低损耗Al2O3薄膜离子束溅射法制备与性能研究被引量：1
《光学与光电技术》2020年第4期91-95,共5页李钱陶 李定 熊长新 
采用离子束溅射技术在反射率大于99.9997%、中心波长(λ)为635 nm的35层高反波堆表面镀制2M(光学厚度为λ/2)的Al2O3低损耗薄膜。测量分析样品制备不同阶段的表面均方根粗糙度、反射率,通过理论分析,计算得出了2M Al2O3薄膜的光学吸收...
关键词：低损耗薄膜 光学吸收 离子束溅射 表面均方根粗糙度 消光系数 
离子束溅射Al2O3薄膜及其在蓝宝石窗口中的应用被引量：2
《红外技术》2019年第10期902-907,共6页米高园 杨崇民 张建付 王松林 刘青龙 朱筱群 李明伟 
国防基础科研计划资助
为了研究Al2O3薄膜在蓝宝石光学窗口中的应用,采用离子束溅射技术制备了不同工艺条件下的Al2O3薄膜,根据薄膜的测试结果对薄膜的折射率和消光系数进行了拟合,分析了工艺条件对Al2O3薄膜性能的影响。在蓝宝石窗口上用ZnS和Al2O3作为高、...
关键词：离子束溅射 AL2O3薄膜 光学窗口 环境适应性 
利用原位压痕技术表征原子层沉积Al2O3超薄纳米薄膜的力学性能被引量：3
《材料导报》2019年第18期3026-3030,共5页刘律宏 刘燕萍 马晋遥 桑利军 程晓鹏 张跃飞 
国家自然科学基金(21676005)~~
通过原子层沉积技术(ALD)在Si基片上制备厚度为20~60nm的Al2O3薄膜,采用三维光学显微镜和透射电子显微镜分别分析了它们的表面粗糙度和微观形貌;采用自主研发的扫描电子显微镜/扫描探针显微镜(SEM/SPM)联合测试系统对样品薄膜进行了原...
关键词：原子层沉积 AL2O3薄膜 原位纳米压痕 力学性能 弹性模量 
用椭偏法研究Al2O3薄膜的宽光谱特性
《石油石化物资采购》2019年第20期46-48,共3页唐帆斌 
南宁学院校级科研项目(2017XJ09);广西高校中青年教师基础能力提升项目(2018KY0751)。
为了获得Al2O3薄膜的光学常数,采用德国SENTECH生产的SE850宽光谱反射式光谱型椭偏仪,测量和分析了用光控自动真空镀膜机沉积在K9玻璃基底上的Al2O3薄膜样品,得到了Al2O3薄膜在380nm^2300nm宽光谱上的光学常数曲线和薄膜厚度。结果表明...
关键词：AL2O3薄膜 椭偏仪 薄膜厚度 光学常数 
FeAl/Al2O3阻氚涂层表面Al2O3薄膜形成机制与低温制备技术的研究进展被引量：6
《机械工程材料》2019年第6期1-7,共7页胡立 张桂凯 唐涛 
国家磁约束聚变能发展研究专项项目(2017YFE0300304)
应用基体渗铝+选择性氧化法制备由FeAl合金过渡层及其表面Al2O3薄膜组成的FeAl/Al2O3阻氚涂层是当前防氚渗透技术的首选,Al2O3薄膜是决定FeAl/Al2O3阻氚涂层服役性能的关键。综述了FeAl合金及其涂层的表面氧化行为,包括铝的选择性氧化...
关键词：FeAl/Al2O3阻氚涂层 氧化行为 AL2O3薄膜 低温制备 
阳极氧化制备硅基氧化铝薄膜MIM电容器被引量：1
《微纳电子技术》2019年第6期493-498,504,共7页吕雁慧 郭丽芳 李刚 李廷鱼 
国家自然科学基金资助项目(61674113;51622507;61471255);山西省自然科学基金资助项目(2016011040);山西省高校科技创新项目(2016138)
提出了一种在常温下通过简单的恒电流阳极氧化制备Al_2O_3薄膜构建金属-介质-金属(MIM)结构电容器的方法,通过控制阳极氧化时间制备出不同厚度Al_2O_3薄膜,避免了高成本且复杂的制备工艺。首先探究了不同Al_2O_3薄膜厚度对MIM电容器的...
关键词：AL2O3薄膜 阳极氧化 硅(Si) 金属-介质-金属(MIM)电容器 储能电容 
Al2O3薄膜制备及性能研究
《中国科技纵横》2018年第19期86-87,90,共3页张超 李令斌 顾娇 
Al2O3薄膜有着极其优良的光学、物理化学等性质,极大地引起了科研人员的研究兴趣.本文简述了Al2O3薄膜性能、应用领域以及制备方法等.我们以纯铝靶材,采用射频磁控反应溅射法制备出了Al2O3薄膜,并通过扫描电镜对薄膜表面形貌进行了观察.
关键词：AL2O3薄膜 射频反应磁控溅射 表面形貌 
沉积功率和退火工艺对PE-ALD氧化铝薄膜的影响被引量：3
《半导体技术》2018年第8期610-615,共6页刘媛媛 杜纯 曹坤 陈蓉 徐湘伦 黄静 单斌 
国家自然科学基金资助项目(517020510,51575217,51572097);中国博士后科学基金资助项目(2017M12451);ALD技术封装薄膜开发项目
Al2O3薄膜常用于有机电子器件的稳定化封装。除了薄膜的水气渗透率特性,薄膜的表面粗糙度、润湿性和折射率等性能也会影响薄膜的最终封装效果。采用自制等离子增强原子层沉积（PE-ALD）系统在低温下成功制备了Al2O3薄膜,研究了沉积功率...
关键词：等离子增强原子层沉积(PE-ALD) AL2O3薄膜 沉积功率 退火工艺 有机发光二极管(OLED) 
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