PT/TI电极

作品数：8被引量：19H指数：2
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基于PLD溅射Al2O3薄膜的声表面波温度传感器的研究被引量：2
《仪表技术与传感器》2020年第12期105-109,共5页周煦航 郭涛 梁晓瑞 谭秋林 甘宇 
国家自然科学基金项目(U1837209)。
通过脉冲激光沉积系统沉积Al2O3薄膜层作为电极的防护层的声表面波温度传感器。在0~1300℃高温测试中,温度传感器的谐振频率随着温度的增加而减小。声表面波器件在1100℃环境下稳定工作了80 min,最后通过扫描电子显微镜(SEM)观察薄膜的...
关键词：PT/TI电极 硅酸镓镧 温度传感器 Al2O3防护薄膜 
爆炸复合Pt/Ti电极的电化学性能被引量：1
《腐蚀与防护》2015年第12期1143-1145,1149,共4页韩吉庆 邢健 赵涛 马小龙 
Pt/Ti电极作为一种优良的耐腐蚀复合材料,被广泛应用于海洋工业、氯碱工业及电子工业。根据铂层厚度及性能的差异,电镀与爆炸复合工艺均被广泛应用于Pt/Ti复合电极的工业化生产。采用SEM对爆炸复合Pt/Ti电极的表面及扩散层形貌进行了研...
关键词：Pt/Ti复合电极 爆炸复合 表面形貌 界面 电化学性能 
Pt/Ti复合电极制备工艺的研究进展
《材料导报（纳米与新材料专辑）》2015年第1期168-171,共4页韩吉庆 邢健 邹辉 陈昊 
Pt/Ti复合材料作为外加电流阴极保护阳极可用于船舶、桥梁及石油勘探平台等海洋设施的腐蚀防护;在化学工业上可用于氯气、氯化钠及过硫酸铵的制备;也可作为存储器用铁电薄膜在Si片上集成的稳定电极使用。目前Pt/Ti复合电极常用的制备工...
关键词：PT/TI电极 制备工艺 表面形貌 扩散层 
Pt/Ti双层电极应力的微观分析研究
《分析测试技术与仪器》2010年第3期162-165,共4页王敬宇 左长明 姬洪 
常温下用直流溅射法在Si(100)上淀积Pt/Ti电极薄膜.采用X射线衍射、原子力显微镜检测不同退火温度的薄膜,结果表明,退火初期Pt层内首先产生了压应力,从而使Pt表面形成了小丘凸起;退火过程产生的热应力在Pt层残余应力的产生中占主导地位...
关键词：PT/TI电极 X射线衍射 应力 
Pt/Ti电极的制备及其对甲基红的催化氧化被引量：1
《材料研究与应用》2008年第4期508-510,共3页张小弟 李伟善 黄启明 吕东生 孙保兴 
在钛基体上电沉积铂制得Pt/Ti电极,用该电极处理甲基红模拟废水,当电流密度为100A/m2,甲基红含量为100 mg/L,在较宽的pH值范围内,电解80 min后,脱色效率几乎达到100%.紫外-可见吸收光谱分析表明,废水处理的矿化程度高.
关键词：PT/TI电极 催化氧化 甲基红 紫外-可见吸收光谱 
TiO_x层在Pt/Ti电极中对Ti扩散的抑制作用被引量：2
《电子元件与材料》2006年第3期24-26,共3页张柏顺 何军 章天金 
湖北省自然科学基金资助项目(2003ABA066)
采用直流磁控溅射方法在SiO2/Si衬底上制备出Pt/Ti和Pt/TiOx底电极。用XRD分析其晶相结构,用AFM测量其晶粒尺寸和表面粗糙度。结果表明,用TiOx层代替金属Ti后,能有效地抑制在高温环境下Ti原子向Pt层扩散,使电极表面粗糙度减小(粗糙度为2...
关键词：电子技术 铁电薄膜 PT/TI电极 粗糙度 Ti扩散 
PZT厚膜拾振器微图形化工艺研究被引量：6
《微细加工技术》2005年第4期48-51,共4页方华斌 刘景全 徐峥谊 王莉 陈迪 蔡炳初 刘悦 
采用sol-gel方法制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Ti/Pt形式的拾振器敏感元结构。基于半导体光刻技术,通过干法刻蚀电极和化学湿法刻蚀PZT厚膜等技术,成功地实现了敏感元的微图形化,解决了Pt/Ti下电极刻蚀难、制作的PZ...
关键词：拾振器 PZT厚膜 PT/TI电极 湿法化学刻蚀 干法刻蚀 
Pt／Ti电极的扩散行为及其对铁电薄膜的影响被引量：7
《无机材料学报》1996年第3期499-504,共6页屈新萍 丁爱丽 罗维根 仇萍荪 陈先同 
"863"新材料专家委员会资助
采用直流磁控溅射方法制备Ｐｔ／Ｔｉ电极，用ＲＢＳ、ＸＲＤ、ＳＥＭ方法研究了Ｐｔ和Ｔｉ的扩散行为，发现在氧气氛中进行热处理造成Ｔｉ层的快速氧化，Ｔｉ厚度对Ｐｔ／Ｔｉ的扩散有很大影响．Ｐｔ／Ｔｉ的扩散造成其上的铁电薄膜较...
关键词：磁控溅射 电极 铁电薄膜 钛 铂 半导体薄膜 
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