靶室

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旋转批靶离子注入机靶室晶圆传送系统设计
《电子工业专用设备》2025年第1期28-32,54,共6页郭锐利 彭立波 罗才旺 
为满足旋转批靶离子注入机的自动化需求,设计了旋转批靶离子注入机的靶室晶圆传送系统,介绍了靶室结构和晶圆传送流程、片库腔体、机械手腔体和靶室腔体;分析了3种传片流程,并进行比较;论述了靶室运动控制系统及硬件和软件设计思路。最...
关键词：离子注入机 晶圆传送系统 真空机械手 靶室 运动控制 
浅析影响离子注入晶圆电荷的因素
《中国集成电路》2024年第5期84-88,共5页林萍 赵官源 郭翠丽 高瑞松 尹进峰 
离子注入是微电子器件制程工艺中的一种重要的掺杂技术。然而,由于利用离子注入工艺掺入的离子带有电荷,而在注入晶圆后这些电荷会累积在晶圆的表面,大量积累在晶圆表面的电荷,可能通过已经制作在晶圆表面上的电容结构,形成电流,从而造...
关键词：离子淋浴枪 静电吸盘 静电吸盘电源 靶室腔体 晶圆 
某重离子加速器终端靶室设计方案的分析论证
《科技传播》2022年第23期93-95,99,共4页田丰 雷平 
收集了某重离子加速器的参数和终端靶室的设计方案,对重离子加速器终端靶室的^(12)C^(4+)重离子的射程、终端靶室外γ辐射剂量率、终端靶室外中子辐射剂量率和感生放射性进行了预测分析,论证了重离子加速器终端靶室设计方案的可行性。...
关键词：重离子加速器 终端靶室 设计方案 
D-T中子源旋转靶活化计算与分析
《强激光与粒子束》2018年第9期118-123,共6页高晖 沈姚崧 袁永刚 
为实现14 MeV D-T中子源旋转靶活化特性计算与分析,首次采用一种新的技术途径,将自主研发的活化程序BURNDOT与蒙特卡罗自动建模系统MCAM、蒙特卡罗粒子输运程序MCNP相结合,通过中子输运、材料活化、光子输运模拟计算的耦合,考察了材质...
关键词：BURNDOT 旋转靶室 放射性活度 放射性核素 剂量率 
氘-氚中子源辐照旋转靶剂量演化模拟计算
《核聚变与等离子体物理》2018年第3期293-298,共6页高晖 沈姚崧 
首次将蒙特卡罗自动建模系统(MCAM)、蒙特卡罗粒子输运程序(MCNP)及自主研发的活化程序BURNDOT相结合,实现了中子输运、材料活化、光子输运模拟计算的耦合。对14MeV氘-氚(D-T)中子源旋转靶室剂量演化分析,计算了氘-氚中子源辐照旋转靶...
关键词：活化程序 旋转靶室 瞬发中子 缓发γ 活度 剂量率 
超短超强激光实验伴生电磁脉冲的模拟研究被引量：2
《强激光与粒子束》2018年第8期86-90,共5页张露杭 刘红杰 谷渝秋 曹磊峰 周维民 
靶室腔体谐振产生的电磁辐射是超短超强激光与靶相互作用实验中生成的电磁脉冲(EMP)来源之一。基于有限元分析方法,对靶室腔谐振产生电磁脉冲和电磁脉冲通过窗口向外传播这两个过程进行仿真模拟。前者模拟获得空腔和含结构模型谐振时特...
关键词：超短超强激光 电磁脉冲 靶室 电磁干扰 
基于SiC的裂变靶室中子灵敏度标定技术
《现代应用物理》2018年第2期19-23,35,共6页陈亮 刘金良 刘林月 张显鹏 张忠兵 欧阳晓平 阮金陆 金鹏 何世熠 
国家自然科学基金资助项目(11505140)
为实现对基于SiC探测器的裂变靶室极低中子灵敏度的准确标定,提出了利用不同的中子源分别测量中子探测效率与裂变碎片的等效平均沉积能量,再将实验结果合成得到中子灵敏度的标定方法。利用该方法,获得了SiC探测器与不同厚度^(235) U或^(...
关键词：碳化硅探测器 裂变靶室 脉冲中子探测 中子灵敏度标定 
高温高能特种离子注入机靶室控制系统设计被引量：1
《电子工业专用设备》2018年第1期14-20,共7页蔡先武 钟新华 
提出了一种基于NI CompactRIO嵌入式实时控制器的高温高能离子注入机靶室控制系统;介绍了高温高能离子注入机的靶室控制系统主要功能、工作原理和系统组成。靶室控制系统采用NI CompactRIO实时测量与控制器作为靶室控制系统的主控制器,...
关键词：CompactRIO嵌入式实时控制器 剂量控制器 束流与剂量测量 均匀性控制 
光机靶室钢混结构基于动刚度等效的简化建模被引量：1
《强激光与粒子束》2017年第9期60-64,共5页胡杰 范宣华 陈学前 
国家自然科学基金项目(11472256);中国工程物理研究院院长基金项目(YZ2015011)
钢混结构分离式有限元建模方法由于考虑了钢筋的实际分布,其计算精度较高,但建模过程复杂繁琐。开展了基于动刚度等效的钢混结构简化建模研究,该方法将钢筋和混凝土考虑为一种等效材料。研究中首先以典型钢混组合结构为例,以等效模型与...
关键词：钢混结构 动刚度 模态分析 随机振动 稳定性 
超短超强激光加速电子束平台的建立
《中国原子能科学研究院年报》2015年第1期162-,共1页席晓峰 
为进行激光与气体靶相互作用产生高性能电子束的实验,需要建立完善的物理实验系统。为了将现有的圆柱形靶室改造成标准的激光靶室并通过真空管道与瞄准室连接,以满足使用非球面镜聚焦激光到气体喷嘴上的实验要求,需要对气体靶场进行设...
关键词：气体喷嘴 激光聚焦 电子谱仪 靶室 真空阀门 非球面镜 准直系统 真空管道 管道设计 监测装置 
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