CVD金刚石膜

作品数：160被引量：380H指数：10
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预制应力提高大尺寸金刚石抛光成功率
《表面技术》2025年第6期143-151,共9页安康 张永康 刘鹏 张亚琛 杨志亮 许光宇 李利军 冯旭瑞 吴海平 李鸿 张旭芳 刘峰斌 李成明 
国家自然科学基金(52102034,U23A2025);北京市教育委员会科学研究计划项目资助(KM202410009010);北方工业大学有组织科研(2023YZZKY12);北方工业大学研究生教育教学改革研究项目(YJS2024JG16)。
目的 验证预制应力方法在抛光大尺寸金刚石膜中的有效性,通过预制应力方法提高大尺寸金刚石膜的抛光成功率。方法 首先,利用拉曼光谱(Raman Shift)、X射线衍射(XRD)对金刚石膜样品进行测试,利用拉曼测试数据在有限元分析中引入金刚石膜...
关键词：CVD金刚石膜 有限元分析 预制应力 大尺寸金刚石膜 金刚石抛光 机械抛光 
CVD金刚石膜研究进展
《真空科学与技术学报》2024年第10期841-852,共12页权乐 
江钻公司科研项目(JZ2022002-4)。
金刚石由于其优异的声、光、电、热和力学性能,是重要的功能材料之一。金刚石的制备方法主要有高温高压方法和低压化学气相沉积方法。化学气相沉积法因制备得到的样品质量高、面积大,设备简单、可规模化等特性,是合成金刚石膜的重要方...
关键词：金刚石膜 化学气相沉积 等离子体增强化学气相沉积 热丝化学气相沉积 燃烧火焰化学 气相沉积 
电弧法CVD金刚石膜热学性能影响因素分析被引量：1
《标准科学》2023年第S01期195-199,共5页郭建超 张雄文 靳士昌 邓冀泽 冯志红 
金刚石具有极高热导率和超强稳定性,使其在高频大功率器件及电路热沉(散热片)等方面有很大应用前景。在众多金刚石材料制备方法中,电弧法金刚石沉积速度快,沉积面积大且晶体质量相对较高,非常适用于金刚石散热材料快速制备。本文基于金...
关键词：电弧法 金刚石 热学性能 影响因素 改善措施 
CVD金刚石膜激光平整化效率和粗糙度被引量：4
《金刚石与磨料磨具工程》2022年第1期61-68,共8页李世谕 安康 邵思武 黄亚博 张建军 郑宇亭 陈良贤 魏俊俊 刘金龙 李成明 
国家磁约束核聚变能发展研究专项资助(2019YFE03100200);国家自然科学基金(5210020483);中央高校基本科研业务费(FRF-MP-20-48);北京科技大学顺德研究生院博士后科研经费(2020BH015)。
对化学气相沉积(CVD)多晶金刚石膜进行激光平整化的正交试验,使用场发射环境扫描电子显微镜(SEM)进行形貌分析,激光共聚焦扫描显微镜测量线粗糙度R_(a)、面粗糙度S_(a)和切缝锥度,分析激光参数对CVD膜平整化的影响。结果表明:影响切缝...
关键词：CVD金刚石膜 激光平整化 面粗糙度 机械研磨 
自支撑CVD金刚石膜光学性能与热学性能相关性研究被引量：9
《表面技术》2018年第4期11-16,共6页贾鑫 闫雄伯 安康 魏俊俊 陈良贤 刘金龙 李成明 
国家自然科学基金(51272024);装备预研基金项目(614280301031704)~~
目的通过等离子体喷射制备不同质量CVD金刚石膜并研究其光学及热学性能,试图建立起两种性能的相互关联性。方法采用光学显微镜、X射线衍射仪、激光拉曼光谱仪、傅里叶变换红外光谱仪和NETZSCH LFA467导热仪检测CVD金刚石膜的表面形貌、...
关键词：等离子体喷射 自支撑金刚石膜 热学性能 光学性能 相互关系 
固结磨料研磨CVD金刚石膜的运动轨迹仿真及试验研究
《重型机械》2017年第6期42-45,共4页罗和平 刘永吉 何艳 汲军 苑泽伟 
"高档数控机床与基础制造装备"科技重大专项(No.2013ZX04001-031)
CVD金刚石膜的应用范围日益扩大,已经从传统的刀具、模具领域扩展至高频通讯、光电、微电子等产业。本文首先通过理论分析建立抛光盘与工件之间的运动模型,然后根据建立的模型确定工件运动轨迹方程,并使用Matlab进行了抛光试验的运动仿...
关键词：CVD金刚石膜 运动仿真 电镀金刚石盘 抛光 
CVD金刚石膜与常用红外光学材料抗砂蚀性能对比研究被引量：5
《表面技术》2017年第6期270-275,共6页段萌 张运强 潘国庆 朱瑞华 魏俊俊 陈良贤 李成明 
国家自然科学基金项目(51272024)~~
目的通过分析CVD金刚石膜与几种常用红外光学窗口材料在砂蚀过程中形貌特征以及红外透过率的变化规律,获得CVD金刚石膜在砂蚀过程中的材料去除机制及抗砂蚀性能的关键因素。方法采用喷射式冲蚀磨损系统,对CVD金刚石膜及其他几种常见红...
关键词：CVD金刚石膜 红外窗口 砂蚀 冲蚀机制 
CVD金刚石膜在LED散热系统的研究现状及展望
《功能材料与器件学报》2017年第1期38-43,共6页高铭 祝恩光 张焱垚 陶先哲 任瑛 
金刚石由于其具有高的热导率,在自然界被认为是最好的热导材料,因此用化学气相沉积(CVD)法制备的金刚石膜是微电子器件的理想散热材料。本文主要阐述了四种不同的以金刚石膜为基础的散热系统在LED领域的应用现状及发展趋势,并对未来的以...
关键词：化学气相沉积法 金刚石膜 LED 散热片 
不同CO_2流量对CVD金刚石膜生长的影响研究被引量：2
《真空与低温》2016年第6期340-343,364,共5页吴骁 汪建华 翁俊 孙祁 陈义 刘辉 刘繁 
湖北省教育厅科学技术研究计划优秀中青年人才项目(Q20151517);武汉工程大学科学研究基金项目(K201506)
采用微波等离子体化学气相沉积法，以CH4-CO2为气源，通过改变CO2的流量，探讨了此气源下金刚石膜的生长情况。利用扫描电子显微镜对制备的金刚石膜表面形貌和断面进行了表征，采用Raman和X射线衍射仪对金刚石膜的质量和晶体结构进行分...
关键词：CO2 MPCVD CVD金刚石膜 
CVD金刚石膜在LED散热系统的研究现状及展望
《功能材料与器件学报》2016年第4期29-34,共6页高铭 祝恩光 张焱壵 陶先哲 任瑛 
河南省教育厅自然科学项目科学技术重点研究项目,项目编号15A430004;省属高校基本科研业务费专项资金项目青年支持计划,项目编号2015QNJH15
金刚石由于其具有高的热导率，在自然界被认为是最好的热导材料，因此用化学气相沉积（CVD）法制备的金刚石膜是微电子器件的理想散热材料。本文主要阐述了四种不同的以金刚石膜为基础的散热系统在LED领域的应用现状及发展趋势，并对未...
关键词：化学气相沉积法 金刚石膜 LED 散热片 
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