陈良贤

作品数：35被引量：92H指数：5
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供职机构：北京科技大学更多>>
发文主题：金刚石金刚石膜单晶金刚石微波等离子体化学气相沉积金刚石表面更多>>
发文领域：化学工程一般工业技术金属学及工艺电气工程更多>>
发文期刊：《物理化学学报》《人工晶体学报》《电子显微学报》《真空电子技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金国家教育部博士点基金中国博士后科学基金更多>>
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金刚石探测器材料研制与中子探测性能研究被引量：6
《真空电子技术》2021年第5期46-53,72,共9页刘金龙 朱肖华 郭彦召 邵思武 胡婷婷 修青磊 孙志嘉 朱志甫 陈良贤 魏俊俊 李成明 
北京自然科学基金项目(4192038);国家自然科学基金项目(61964001);中央高校基本科研业务费(FRF-GF-20-29B);核探测与核电子学国家重点实验室项目(SKLPDE-KF-202101)。
核技术领域快中子监测需要探测器具有耐辐照、快响应和耐高温等特点。相比于其它探测器,金刚石探测器具有体积小、抗辐照能力强、时间响应快等优点,目前国内市场上成熟的探测器产品均采用国外的探测器级金刚石材料。本文基于市售的高温...
关键词：金刚石 探测器 杂质 位错 中国散裂中子源 
金刚石散热衬底在GaN基功率器件中的应用进展被引量：10
《表面技术》2020年第11期111-123,共13页贾鑫 魏俊俊 黄亚博 邵思武 孔月婵 刘金龙 陈良贤 李成明 叶海涛 
装备预研基金项目(614280301031704);国家重点研发计划项目(2018YFB0406501)。
氮化镓(GaN)基功率器件性能的充分发挥受到沉积GaN的衬底低热导率的限制,具有高热导率的化学气相沉积(CVD)金刚石,成为GaN功率器件热扩散衬底材料的优良选择。相关学者在高导热金刚石与GaN器件结合技术方面开展了多项技术研究,主要包括...
关键词：金刚石 氮化镓 电子器件 转移技术 高热导率 界面热阻 
CVD金刚石膜与常用红外光学材料抗砂蚀性能对比研究被引量：5
《表面技术》2017年第6期270-275,共6页段萌 张运强 潘国庆 朱瑞华 魏俊俊 陈良贤 李成明 
国家自然科学基金项目(51272024)~~
目的通过分析CVD金刚石膜与几种常用红外光学窗口材料在砂蚀过程中形貌特征以及红外透过率的变化规律,获得CVD金刚石膜在砂蚀过程中的材料去除机制及抗砂蚀性能的关键因素。方法采用喷射式冲蚀磨损系统,对CVD金刚石膜及其他几种常见红...
关键词：CVD金刚石膜 红外窗口 砂蚀 冲蚀机制 
金刚石自支撑膜的高温红外透过性能被引量：9
《材料工程》2017年第2期1-6,共6页黑立富 闫雄伯 朱瑞华 陈良贤 刘金龙 魏俊俊 廉伟艳 张荣实 李成明 
国家自然科学基金项目(51272024)
由于金刚石具有低吸收和优异的力学与导热性能使其成为长波(8~12μm)红外光学窗口材料的重要选择。对于许多极端条件的应用,化学气相沉积(CVD)金刚石自支撑膜的高温光学性质至关重要。应用直流电弧等离子喷射法制备光学级金刚石自支撑...
关键词：直流电弧等离子喷射 金刚石自支撑膜 高温红外透过 
氩氢摩尔比对直流电弧等离子体喷射法等离子体放电特征影响的计算
《工程科学学报》2016年第11期1629-1635,共7页郭建超 刘金龙 朱涛 陈良贤 魏俊俊 李成明 王海兴 
国家自然科学基金资助项目(51272024)
假定氩-氢等离子体处于局部热力学平衡状态,利用理想气体分子运动论和经典查普曼-恩斯科格(ChapmanEnskog)方法,在获取符合直流电弧等离子体喷射法实际工况的等离子体热力学和输运参数的基础上,基于FLUENT软件进行二次开发,添加电磁场...
关键词：等离子体喷射 放电特性 氩 氢 数值模拟 
基于硅过渡层纳米金刚石膜/GaN复合膜系的制备（英文）被引量：3
《新型炭材料》2016年第5期518-524,共7页刘金龙 田寒梅 陈良贤 魏俊俊 黑立富 李成明 
National Natural Science Foundation of China(51402013,51272024);China Postdoctoral Science Foundation(2014M550022);Fundamental Research Funds for the Central Universities(FRF-TP-15-052A2)~~
本文研发了一种简便有效的在GaN半导体衬底上直接生长纳米金刚石膜的方法。研究发现,直接将GaN衬底暴露于氢等离子体中5 min即发生分解,且随着温度从560℃升高至680℃,这种分解反应愈加剧烈,很难在GaN衬底上直接形成结合力良好的纳米金...
关键词：氮化镓 硅过渡层 纳米金刚石膜 直接生长 分解 
等离子体电弧高温处理金刚石自支撑膜的强度和缺陷
《中国科技论文》2016年第10期1156-1159,共4页李成明 陈良贤 刘金龙 魏俊俊 黑立富 
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20110006110011)
为了适应高速气动强烈冲击对金刚石自支撑膜光学窗口强度的需要,提出了等离子体电弧高温处理金刚石自支撑膜以提高其强度的方法,对直径100mm的金刚石自支撑膜进行低气压电弧高温处理并抛光,获得了无裂纹的光学级金刚石自支撑膜。应用扫...
关键词：等离子体电弧 金刚石自支撑膜 强度 缺陷 
氢终结金刚石表面P型导电沟道稳定性研究被引量：2
《材料热处理学报》2016年第7期156-161,共6页刘金龙 李成明 陈良贤 刘青 王晶晶 冯志红 
国家自然科学基金(51402013);中国博士后科学基金特别资助项目(2015T80037);中国博士后科学基金(一等)(2014M550022);中央高校基本科研业务费(FRF-TP-15-052A2);专用集成电路重点实验室基金
原位测试了氢终结金刚石膜在氮气保护和大气气氛中加热时的表面导电特征,分析并讨论了该导电沟道的高温稳定性。结果表明,室温下氢终结金刚石表面电导率均在10^(-5)S量级。随着温度的升高,N_2气氛下的金刚石膜表面电导率呈现逐渐下降的...
关键词：氢终结 金刚石膜 表面导电性 稳定性 
Sc掺杂对AlN/金刚石薄膜质量的影响被引量：1
《材料热处理学报》2016年第S1期136-140,共5页刘皓 陈良贤 魏俊俊 刘金龙 黑立富 李成明 
中央高校基本科研业务费专项基金(FRF-TP-15-110A1)
采用射频磁控反应溅射在金刚石/Si衬底上制备不同Sc含量的ScxAl1-xN薄膜,并研究了Sc掺杂对薄膜沉积速率、表面粗糙度、晶体取向及压电性能的影响。结果表明,薄膜沉积速率随Sc靶功率的增加近似呈线性增长;合适的Sc掺杂能降低ScxAl1-xN薄...
关键词：Sc掺杂 AlN/金刚石薄膜 粗糙度 择优取向 压电常数 
基于FLUENT软件直流电弧等离子体喷射法等离子体放电特征二维数值模拟被引量：4
《真空科学与技术学报》2016年第3期312-318,共7页郭建超 刘金龙 闫雄伯 化称意 赵云 陈良贤 魏俊俊 李成明 
国家自然科学基金项目(51272024)
直流电弧等离子体喷射法制备金刚石膜的过程中氩气主要起维持电弧放电作用,在一定程度上保证电弧放电的稳定性。本文利用自定义标量和自定义函数技术对FLUENT软件进行二次开发,在动量和能量守恒方程中添加相应电磁源项。对纯氩直流电弧...
关键词：直流电弧等离子体喷射 数值模拟 等离子体放电 FLUENT 
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