黑立富

作品数:53被引量:149H指数:6
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供职机构:北京科技大学更多>>
发文主题:金刚石金刚石膜金刚石涂层CVD微波等离子体化学气相沉积更多>>
发文领域:化学工程一般工业技术理学金属学及工艺更多>>
发文期刊:《材料热处理学报》《新材料产业》《表面技术》《人工晶体学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家教育部博士点基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
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直流电弧等离子体喷射法生长大尺寸金刚石单晶被引量:4
《超硬材料工程》2018年第2期31-40,共10页吕反修 黑立富 李成明 唐伟忠 李国华 郭辉 孙振路 
化学气相沉积(CVD)大尺寸高质量金刚石单晶是近年来在CVD金刚石膜研究领域所取得的重大研究进展之一。迄今为止的研究,绝大多数都是采用微波等离子体CVD,在高腔压下(10~30kPa)进行的。这是因为,在高腔压下,微波等离子体球急剧收缩,从而...
关键词:金刚石单晶 外延生长 CVD DC ARC PLASMA JET 
金刚石自支撑膜的高温红外透过性能被引量:9
《材料工程》2017年第2期1-6,共6页黑立富 闫雄伯 朱瑞华 陈良贤 刘金龙 魏俊俊 廉伟艳 张荣实 李成明 
国家自然科学基金项目(51272024)
由于金刚石具有低吸收和优异的力学与导热性能使其成为长波(8~12μm)红外光学窗口材料的重要选择。对于许多极端条件的应用,化学气相沉积(CVD)金刚石自支撑膜的高温光学性质至关重要。应用直流电弧等离子喷射法制备光学级金刚石自支撑...
关键词:直流电弧等离子喷射 金刚石自支撑膜 高温红外透过 
等离子体电弧高温处理金刚石自支撑膜的强度和缺陷
《中国科技论文》2016年第10期1156-1159,共4页李成明 陈良贤 刘金龙 魏俊俊 黑立富 
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20110006110011)
为了适应高速气动强烈冲击对金刚石自支撑膜光学窗口强度的需要,提出了等离子体电弧高温处理金刚石自支撑膜以提高其强度的方法,对直径100mm的金刚石自支撑膜进行低气压电弧高温处理并抛光,获得了无裂纹的光学级金刚石自支撑膜。应用扫...
关键词:等离子体电弧 金刚石自支撑膜 强度 缺陷 
基于硅过渡层纳米金刚石膜/GaN复合膜系的制备(英文)被引量:3
《新型炭材料》2016年第5期518-524,共7页刘金龙 田寒梅 陈良贤 魏俊俊 黑立富 李成明 
National Natural Science Foundation of China(51402013,51272024);China Postdoctoral Science Foundation(2014M550022);Fundamental Research Funds for the Central Universities(FRF-TP-15-052A2)~~
本文研发了一种简便有效的在GaN半导体衬底上直接生长纳米金刚石膜的方法。研究发现,直接将GaN衬底暴露于氢等离子体中5 min即发生分解,且随着温度从560℃升高至680℃,这种分解反应愈加剧烈,很难在GaN衬底上直接形成结合力良好的纳米金...
关键词:氮化镓 硅过渡层 纳米金刚石膜 直接生长 分解 
Sc掺杂对AlN/金刚石薄膜质量的影响被引量:1
《材料热处理学报》2016年第S1期136-140,共5页刘皓 陈良贤 魏俊俊 刘金龙 黑立富 李成明 
中央高校基本科研业务费专项基金(FRF-TP-15-110A1)
采用射频磁控反应溅射在金刚石/Si衬底上制备不同Sc含量的ScxAl1-xN薄膜,并研究了Sc掺杂对薄膜沉积速率、表面粗糙度、晶体取向及压电性能的影响。结果表明,薄膜沉积速率随Sc靶功率的增加近似呈线性增长;合适的Sc掺杂能降低ScxAl1-xN薄...
关键词:Sc掺杂 AlN/金刚石薄膜 粗糙度 择优取向 压电常数 
碳化钨模仁表面沉积Re-Ir抗高温黏连涂层研究
《稀有金属材料与工程》2016年第1期227-231,共5页魏俊俊 朱小研 陈良贤 刘金龙 黑立富 李成明 
国家自然科学基金(51272024);中央高校基本科研业务费(FRF-TP-14-094A2);教育部博士点基金(20110006110011)
采用射频磁控溅射技术,在WC模仁基材表面分别生长Re、Ir单层膜及Re/Ir复合多层膜3种膜系。通过扫描电子显微镜、表面轮廓仪、X射线衍射仪以及纳米压痕仪等对所制备涂层的表面形貌、结构以及涂层力学性能进行表征,同时采用高温润湿角测...
关键词:  硬质合金 玻璃模造 高温润湿 
自支撑金刚石厚膜表面外延掺硼金刚石薄膜研究被引量:2
《人工晶体学报》2015年第12期3433-3438,共6页魏俊俊 李成明 文星凯 张建军 刘金龙 陈良贤 黑立富 
国家自然科学基金(51272024);中央高校基本科研业务费(FRF-TP-14-094A2)
采用微波等离子体化学气相沉积技术(MPCVD),在抛光厚度0.5 mm的高热导率自支撑金刚石厚膜表面沉积厚度10μm掺硼金刚石薄膜,通过热导率测试仪、扫描电子显微镜、激光拉曼光谱、X射线光电子能谱以及四探针仪等测试手段对材料的热导率、...
关键词:自支撑金刚石厚膜 掺硼金刚石薄膜 同质外延 热导率 电导率 
氢终止金刚石表面的形成机理被引量:1
《物理化学学报》2015年第9期1741-1746,共6页刘金龙 刘盛 郭建超 化称意 陈良贤 魏俊俊 黑立富 王晶晶 冯志红 刘青 李成明 
国家自然科学基金(51402013);中国博士后科学基金(2014M550022);中央高校基本科研业务费(FRF-TP-14-042A1);专用集成电路重点实验室基金资助项目~~
为考察金刚石形成氢终止表面的反应机制,采用微波氢等离子体处理以及电阻丝氢气气氛加热处理进行对比研究.利用光发射谱(OES)和漫反射傅里叶变换红外光谱(DRIFTS)分别表征了微波氢等离子体中的活性基团和金刚石表面氢终止浓度.结果表明...
关键词:微波氢等离子体 金刚石 氢终止 氧终止 
离子源预处理工艺对WC基底表面及Ta缓冲涂层的影响被引量:1
《材料热处理学报》2015年第6期164-168,共5页魏俊俊 朱小研 陈良贤 刘金龙 黑立富 李成明 张勇 
国家自然科学基金(51272024);中央高校基本科研业务费(FRF-TP-14-094A2)
研究了阳极层离子源预处理工艺对WC硬质合金基底表面粗糙度Ra和表面最大峰谷值Pv的影响,以及对后续镀制Ta缓冲涂层表面特征及膜基附着力的影响。结果表明,硬质合金基片表面粗糙度和表面最大峰谷值的增加量随基片偏压升高呈指数增加;而...
关键词:离子源预处理 结合力 表面粗糙度 表面最大峰谷值 
金刚石自支撑膜拉曼光谱1420cm^(-1)特征峰研究被引量:17
《人工晶体学报》2015年第4期867-871,884,共6页朱瑞华 刘金龙 陈良贤 魏俊俊 黑立富 李成明 
国家自然科学基金(51272024);中国博士后科学基金(2014M550022);中央高校基本科研业务费(FRF-TP-14-042A1)
采用带有半封闭式气体循环系统的100千瓦级直流电弧等离子体喷射CVD设备制备三组不同质量的金刚石膜,通过532 nm激光激发金刚石膜的拉曼光谱时,除1332 cm-1金刚石一阶拉曼峰外还出现了1420 cm-1宽峰,本文针对这一峰位的由来及分布进行...
关键词:金刚石膜 拉曼光谱 激发波长 
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