《真空科学与技术学报》

作品数：4335被引量：9108H指数：22
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《真空科学与技术学报》
主办单位：中国真空学会
最新期次：2025年3期更多>>
发文主题：磁控溅射真空性能研究数值模拟等离子体更多>>
发文领域：一般工业技术理学电子电信金属学及工艺更多>>
发文作者：杨斌巴德纯戴永年刘大春陈长琦更多>>
发文机构：合肥工业大学中国科学院东北大学中国科学院电子学研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
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溅射
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作品数：8973被引量：14569H指数：28
相关主题：磁控溅射 靶材 溅射靶材 磁控溅射法 射频磁控溅射
相关领域：理学 电子电信
磁控
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作品数：7425被引量：12906H指数：26
相关主题：磁控溅射 磁控溅射法 射频磁控溅射 磁控溅射技术 靶材
相关领域：一般工业技术 理学
磁控溅射
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作品数：6572被引量：11539H指数：25
相关主题：磁控溅射法 射频磁控溅射 磁控溅射技术 直流磁控溅射 磁控溅射制备
相关领域：一般工业技术 理学
真空
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作品数：16028被引量：24911H指数：33
相关主题：真空炉 真空处理 抽真空 真空泵 真空钎焊
相关领域：金属学及工艺 一般工业技术
等离子体
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作品数：19739被引量：33681H指数：42
相关主题：低温等离子体 表面等离子体 等离子体发生器 电极 等离子体处理
相关领域：理学 电子电信
纳米
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作品数：138462被引量：228104H指数：84
相关主题：纳米材料 碳纳米管 纳米复合材料 纳米纤维 SUB
相关领域：一般工业技术 理学
合金
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作品数：190006被引量：244448H指数：97
相关主题：铝合金 钛合金 镁合金 硬质合金 力学性能
相关领域：金属学及工艺 一般工业技术
光学
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作品数：71737被引量：114075H指数：55
相关主题：光学系统 光学元件 透镜 光学性能 光学镜头
相关领域：理学 机械工程 电子电信
值模拟
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作品数：139491被引量：403688H指数：99
相关主题：数值模拟 数值模拟研究 数值模拟分析 温度场 流场
相关领域：建筑科学 天文地球
数值模拟
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作品数：139313被引量：402622H指数：99
相关主题：数值模拟研究 数值模拟分析 温度场 流场 有限元
相关领域：建筑科学 理学
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