原子层沉积

作品数:428被引量:575H指数:10
导出分析报告
相关领域:电子电信理学更多>>
相关作者:陈蓉夏洋覃勇卢维尔单斌更多>>
相关机构:华中科技大学中国科学院微电子研究所朗姆研究公司中国科学院更多>>
相关期刊:更多>>
相关基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中央高校基本科研业务费专项资金北京市自然科学基金更多>>
只显示领域
只显示作品
只显示人物
只显示机构
只显示资助
只显示期刊
只显示主题
相关作者更多
陈蓉
华中科技大学机械科...
夏洋
中国科学院微电子研...
覃勇
中国科学院山西煤炭...
卢维尔
集成电路测试技术北...
单斌
华中科技大学材料科...
曹坤
华中科技大学