氧化铝薄膜

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基于ALD的高深宽比微孔光学元件内壁Al2O3薄膜研究
《微纳电子技术》2025年第5期94-100,共7页李明轩 唐吉龙 
国家自然科学基金(62027820)。
在微纳光学以及半导体领域中,高深宽比器件如三维芯片、集成电路、微通道板等十分常见。而由于其本身内部结构的复杂性,在器件内部进行薄膜沉积时,高精度的薄膜生长技术至关重要。主要研究了在高深宽比微孔光学器件中,使用原子层沉积(A...
关键词：原子层沉积(ALD)技术 微孔光学 高深宽比 氧化铝薄膜 薄膜均匀性 
铝合金T形对接接头根部缺陷分析
《热加工工艺》2025年第7期146-149,共4页崔云龙 汪认 何建英 张仁航 
铝合金T形对接接头存在一种根部缺陷,通过对缺陷的外观特征、金相组织、断口形貌进行分析,确定该缺陷是一种氧化物夹杂。坡口背面的氧化铝薄膜受焊接热作用软化变形;坡口间隙处溢出的熔池产生波动将氧化铝薄膜卷入其中;在冷却过程中氧...
关键词：铝合金 T形对接接头 根部缺陷 氧化铝薄膜 
巧用这种材料,轻松拿捏玉米包装!
《包装前沿》2024年第3期62-63,共2页
本文主要介绍了正一包装推出的高阻隔镀氧化铝薄膜,可满足甜玉米包装高温蒸煮后要求的阻氧阻水性能,起到保鲜保香的功效,成功实现了该材料的进口替代。
关键词：甜玉米 进口替代 氧化铝薄膜 高温蒸煮 阻水性能 高阻隔 包装 
p型“SE+PERC”双面太阳电池背面工艺对光伏组件PID效应的影响研究
《太阳能》2024年第4期80-86,共7页王玉肖 王贵梅 赵英芳 程雅琦 许志卫 
基于p型“SE+PERC”双面太阳电池的背面工艺,针对背表面抛光状态、背面氧化铝薄膜厚度、背面膜层结构、背面氮化硅薄膜折射率几个因素对光伏组件电势诱导衰减(PID)效应的影响进行了研究。研究结果表明:1)背表面抛光状态越光滑,对应制备...
关键词：p型晶体硅 SE+PERC 双面太阳电池 电势诱导衰减 背面工艺 抛光 氧化铝薄膜 折射率 
氧化铝薄膜的应用
《包装前沿》2024年第1期75-77,共3页王红兵 
本文主要介绍了氧化铝薄膜的性能特点及在各类包装中的应用。
关键词：氧化铝薄膜 性能特点 包装 
GH3535合金表面渗铝层原位氧化工艺研究
《核技术》2023年第5期43-50,共8页梁超飞 刘卫 张东勋 王韡 王军 夏晓彬 
国家自然科学基金(No.11935011)资助。
高温工况下钍基熔盐堆中存在氚泄漏的风险,建立氚渗透屏障涂层有助于应对这一问题。采用包埋渗铝和原位氧化工艺,在GH3535合金表面制备了Al2O3/Ni-Al复合阻氚涂层,重点分析了氧化温度和真空度对氧化铝薄膜微观结构的影响。利用掠入射X...
关键词：钍基熔盐堆 氚控制 渗铝层 原位氧化 氧化铝薄膜 
太赫兹石墨烯贴片式高温传感器的设计与研究
《电子测量技术》2023年第3期6-11,共6页翟荣锭 吴倩楠 王俊强 苏宁宁 李孟委 
装备发展部预研项目;国防重点项目;山西省研究生教育改革研究课题(11012133)项目资助
设计了一种太赫兹石墨烯贴片式高温传感器,可解决现有温度传感器测温量程小、尺寸较大和灵敏度较低的问题。该传感器由六边形石墨烯薄膜、氧化铝衬底和金三层结构组成。通过优化石墨烯结构尺寸、氧化铝衬底厚度,得到大量程、高灵敏度的...
关键词：石墨烯 氧化铝薄膜 温度传感 太赫兹 
用于光学放大的掺铒氧化铝脊型波导研究
《应用激光》2023年第2期127-133,共7页邬健 杨振 魏腾秀 张政 王威 刘瑞雪 王荣平 
国家重点研发计划项目(2020YFB1805900)。
使用磁控溅射制备了掺铒氧化铝薄膜,对薄膜进行了退火处理,测量薄膜的折射率和X射线衍射图谱,发现薄膜在600℃的退火温度下呈非晶态,在1.5μm处的折射率为1.67左右。模拟模场分布,获得光与掺铒层之间相互作用最大的波导结构参数,并进一...
关键词：氧化铝薄膜 射频溅射 紫外光刻 脊型波导 干法刻蚀 
HiPIMS室温溅射晶态氧化铝薄膜的粒子能量调控
《中国表面工程》2022年第5期246-253,共8页高方圆 许亿 李国栋 李光 夏原 
国家自然科学基金资助项目(51701229、51871230)
晶态氧化铝薄膜与非晶态相比,具有更加优良的力学性能和宽波段光学透过性能。基于等离子体发射光谱(OES)反馈控制方法(PEM),引入高能脉冲磁控溅射(HiPIMS)技术,实现了室温条件下晶态γ-Al_(2)O_(3)薄膜的快速制备。采用高压探针、电流...
关键词：HIPIMS 氧化铝薄膜 室温 晶化诱导 能量调控 
氧化铝薄膜的制备与结构缺陷研究
《传感器与微系统》2022年第9期4-7,15,共5页尚璐瑶 杨晓峰 
阐述了氧化铝(AlO)薄膜4层结构与台阶结构,同时提出了薄膜中含有的2种缺陷结构。通过Ar~+溅射和退火获得氧化铝薄膜,基于超高真空非接触式调频原子力显微镜(UHV-NC-FM-AFM)测试技术,对所制作的氧化铝薄膜进行表征研究。通过对氧化铝薄...
关键词：氧化铝薄膜 超高真空非接触式调频原子力显微镜 缺陷理论 
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