大行程X-Y二维微动工作台的设计与减耦  

作　　者：王祯妍 

机构地区：[1]合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥230009

出　　处：《装备维修技术》2020年第11期0208-0209,共2页Equipment Technology

摘　　要：设计了一种新型大行程 X-Y 二维微动工作台并完成减耦。该工作台采用压电驱动器提供微位移,串联构型与柔性铰链、杠杆 机构配合,实现二维大行程位移输出。利用有限元仿真调节传动铰链的位置,结合双平行四杆柔性移动副实现 X 和 Y 方向的 运动解耦。仿真结果表明,该微动台的工作行程为 370 μm×400 μm, X 与 Y 向的耦合误差均小于 1%。该微动台具有运动 行程大、耦合误差小等优点,可与宏动机构配合用于大行程二维宏微定位等场合。

关 键 词：大行程微动工作台 双平行四杆机构 运动解耦 有限元分析 

分 类 号：C[社会学]