一种高精度的薄膜折射率的测量  

作　　者：金柄烨 

机构地区：[1]江苏省昆山中学,江苏 昆山 215300

出　　处：《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》2020年第10期00275-00276,共2页

摘　　要：薄膜作为一种新型的材料在人们的日常生活和生产中被越来越多的使用,因此实现对固体薄膜折射率的高精度测量便显得尤为必要。通过对现阶段所使用的各种测量方法的分析比较,我们提出使用基于三角一体分光补偿结构和反射镜误差消除装置的干涉仪具有极高测量精度的特点,实现了对固体薄膜折射率的非接触式高精度测量。

关 键 词：高精度 薄膜折射率 测量 

分 类 号：O484.5[理学—固体物理]