薄膜折射率

作品数：35被引量：105H指数：6
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基于三角中位线的干涉装置测量薄膜的折射率
《中国科技期刊数据库 工业A》2021年第9期38-39,共2页陈柯成 
本文对现阶段工业生产和科研领域较为常用的固体薄膜折射率的测量方法进行了原理分析,通过对比所有的测量方法我们发现现阶段较为常用的测量方法无法实现高精度的非接触式测量。通过使用一体三角形分光补偿结构的干涉仪具有更高测量精...
关键词：三角中位线 干涉装置 薄膜折射率 
一种基于新型干涉结构测量薄膜折射率的装置
《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2020年第11期296-297,共2页李典阳 
薄膜材料作为一种新兴的材料在生产,生活和科研等领域都扮演了重要的角色。薄膜材料在成膜过程中原料晶体的取向,晶粒的大小,杂质浓度,成分的均匀性以及基底材料温度等因素都会直接影响薄膜材料的特性,因此实现对薄膜折射率的高精度测...
关键词：新型干涉 结构测量 薄膜折射率 
膜层参数对长周期光纤光栅传感灵敏度的影响被引量：2
《半导体光电》2019年第6期789-792,共4页杨颖 
国家自然科学基金项目(51471130);山东省自然科学基金项目(ZR2015FL033);临沂大学博士启动基金项目(LYDX2016BS079)
基于耦合模理论,采用三包层光纤光栅模型,对镀有敏感薄膜的长周期光纤光栅的传感特性进行了分析。当敏感薄膜的光学参数(薄膜折射率和薄膜厚度)发生变化时,长周期光纤光栅传输谱中谐振峰处的透射率不变,但谐振峰会发生平移。进一步对薄...
关键词：长周期光纤光栅 模式耦合理论 薄膜厚度 薄膜折射率 传感灵敏度 
柔性光学聚酰亚胺薄膜折射率均匀性检测方法被引量：1
《光电工程》2016年第7期85-88,共4页王松 杨伟 吴时彬 任戈 
国家863高技术项目支持课题
针对空间应用的柔性光学聚酰亚胺薄膜折射率均匀性检测要求,本文提出以干涉测量法为基础,采用光学聚酰亚胺薄膜制备所用基板的反射波前数据、薄膜未剥离成膜基板时上表面反射波前数据以及薄膜剥离基板后的透射波前数据有效测量此类柔性...
关键词：柔性光学聚酰亚胺薄膜 折射率均匀性 波面 
HfO_2薄膜折射率非均质性生长特性研究被引量：1
《红外与激光工程》2015年第9期2761-2766,共6页鲍刚华 程鑫彬 焦宏飞 刘华松 王占山 
国家自然科学基金(61108036;61235011);高等学校博士学科点专项科研基金(20100072120037);中央高校基本科研业务费专项资金
在加热的BK7基板上,采用电子束蒸发(EB)工艺制备了一系列不同厚度的Hf O2单层膜,对Hf O2薄膜生长过程中的折射率非均质性进行了研究。光谱分析表明薄膜非均质性与其厚度息息相关。X射线衍射(XRD)测试表明不同非均质性薄膜对应不同的微...
关键词：光学薄膜 电子束蒸发 HFO2薄膜 折射率非均质性 
热处理对离子束溅射Ta_2O_5薄膜特性的影响被引量：5
《光学精密工程》2014年第10期2645-2651,共7页刘华松 姜承慧 王利栓 刘丹丹 季一勤 陈德应 
国家自然科学基金重点项目(No.61405145;No.61235011);中国博士后科学基金资助项目(No.2014M560104);天津市自然科学基金资助项目(No.13JCYBJC17300)
利用离子束溅射沉积技术制备了Ta2O5薄膜,在100～600℃的大气氛围中对其进行热处理（步进温度为100℃）,并对热处理后样品的光学常数（折射率、折射率非均匀性、消光系数和物理厚度）、应力、晶向和表面形貌进行了研究.研究显示,随着热...
关键词：离子束溅射 Ta2O5薄膜 退火温度 光学常数 薄膜折射率 
布儒斯特角法测量金属薄膜折射率并解释不消光现象被引量：3
《物理实验》2013年第6期40-43,共4页贺昊 赵地 王鑫 苏为宁 江洪建 
国家基础科学人才培养基金资助项目(No.0204G088);江苏高校优势学科建设工程资助项目
根据布儒斯特角原理对磁控溅射的铜膜样品进行了折射率的测量,实验发现当p偏振光以布儒斯特角入射时,反射光并没有完全消光.从理论上、通过数值计算分别论证了金属薄膜折射率的虚部、薄膜界面多次反射等因素的影响,并与实验结果比对得...
关键词：布儒斯特角 薄膜折射率 金属薄膜折射率 不完全消光 
管式PECVD工艺对氮化硅薄膜折射率的影响被引量：2
《山东科学》2012年第3期58-61,79,共5页任现坤 马玉英 张黎明 刘鹏 姜言森 徐振华 贾河顺 程亮 张春艳 
国家高技术研究与发展计划(863计划)重点项目(2012AA050303;2011AA050504);山东省自主创新成果项目(2010ZHZX1A0702;2011ZHZX1A0701)
折射率是反映薄膜成分以及致密性的重要指标,是检验薄膜制备质量的重要参数,其变化直接影响太阳能电池的转化效率。本文研究了不同射频功率、腔体压强、衬底温度以及硅烷和氨气配比等沉积条件对在太阳能电池上沉积的氮化硅薄膜折射率的...
关键词：折射率 致密性 转化效率 氮化硅 等离子增强型化学气相沉积(PECVD) 
帝人化成公司开发出全球最高水平的透明导电性薄膜
《石油化工》2012年第3期307-307,共1页
日本帝人化成公司开发出一种新型透明导电性薄膜。该薄膜具有防止画面分辨率下降的特点，它的画面分辨率可达全球最高水平。公司已向大触摸屏生产商提供试样，并得到高度评价。这次开发的新产品具有非常适宜的薄膜折射率和反射等光学特性。
关键词：薄膜折射率 透明导电性 开发 高水 人化 画面分辨率 光学特性 生产商 
椭圆偏振仪测量薄膜折射率及周期厚度解的分析被引量：4
《实验技术与管理》2011年第6期42-46,共5页陈星 童晟飞 王正忆 叶兵 
运用Mathematica,通过最优化理论开发迭代程序,计算SiO2、ZrO薄膜的折射率和单周期及多周期厚度,并与其他方法的计算结果进行对比分析,表明此方法计算结果可以达到较高的精度。通过分析椭偏参数和薄膜厚度的关系可知,一定厚度的薄膜材...
关键词：椭圆偏振 薄膜厚度 最佳入射角 
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