一种基于新型干涉结构测量薄膜折射率的装置  

作　　者：李典阳 

机构地区：[1]河北省衡水市武邑县第二中学,河北武邑053400

出　　处：《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2020年第11期296-297,共2页

摘　　要：薄膜材料作为一种新兴的材料在生产,生活和科研等领域都扮演了重要的角色。薄膜材料在成膜过程中原料晶体的取向,晶粒的大小,杂质浓度,成分的均匀性以及基底材料温度等因素都会直接影响薄膜材料的特性,因此实现对薄膜折射率的高精度测量对于研究薄膜材料的基础特性有着极为重要的作用。在本文中我们使用基于一体长方体分光补偿结构和反射镜误差消除装置的干涉仪对薄膜的折射率进行了高精度的非接触式测量,我们计算得到待测薄膜的折射率为1.296,我们使用的薄膜的折射率为1.3,测量精度为99.69%。

关 键 词：新型干涉 结构测量 薄膜折射率 

分 类 号：O484.5[理学—固体物理]