基于三角中位线的干涉装置测量薄膜的折射率  

作　　者：陈柯成 

机构地区：[1]江西省景德镇市第十八中学,江西景德镇333000

出　　处：《中国科技期刊数据库 工业A》2021年第9期38-39,共2页

摘　　要：本文对现阶段工业生产和科研领域较为常用的固体薄膜折射率的测量方法进行了原理分析,通过对比所有的测量方法我们发现现阶段较为常用的测量方法无法实现高精度的非接触式测量。通过使用一体三角形分光补偿结构的干涉仪具有更高测量精度的特点,我们使用该装置对固体薄膜的折射率进行了测量。本实验中设置待测薄膜的折射率为1.50,通过大量测量取平均值的方法测得折射率为1.495,测量精度为99.67%。

关 键 词：三角中位线 干涉装置 薄膜折射率 

分 类 号：O436.1[机械工程—光学工程]