多晶硅生产中冷氢化技术的应用探索  

作　　者：吴军甫 

机构地区：[1]新疆协鑫新能源材料科技有限公司,新疆维吾尔830000

出　　处：《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2020年第6期116-116,118,共2页

摘　　要：在多晶硅的生产过程中,会产生大量的四氯化硅(SiCl4),对周围环境造成严重的破坏,因此,需要将SiCl4进行科学、合理的利用,将其转化为三氯氢硅(SiHCl3)并进行循环利用,这样不仅可以有效的减轻其对环境的破坏程度,还可以降低多晶硅的成产成本,有助于实现我国绿色环保、节能降耗的战略发展目标,为多晶硅生产行业的可持续发展奠定了重要基础。本文简要概述了冷氢化技术的内容,分析了多晶硅生产过程中冷氢化技术的原理,同时根据热氢化技术与冷氢化技术的特点进行对比,最后对多晶硅生产中冷氢化技术的发展方向进行了阐述。

关 键 词：多晶硅 冷氢化技术 应用探索 

分 类 号：TQ127.2[化学工程—无机化工]