半导体行业废弃物含氟污泥的资源利用现状探讨  

作　　者：陈亮 

机构地区：[1]英特尔半导体(大连)有限公司,辽宁大连116600

出　　处：《中文科技期刊数据库（文摘版）工程技术》2021年第9期141-141,143,共2页

摘　　要：本文以半导体行业含氟废物的处理为研究方向,首先分析了半导体制造业产生含氟废物的原因,然后研究了含氟废物的处理方法,并对完成废物处理后的污泥CaF2进行化学物质分析,把CaF2应用于化工水泥、陶瓷、钢铁等加工生产中,得到很好的应用效果,从而有效的实现了半导体含氟废物的资源化利用,并促进了我国的可持续发展事业的进步。

关 键 词：半导体制造业 含氟废物 CAF2 资源利用 

分 类 号：X76[环境科学与工程—环境工程]