三氯氢硅除硼吸附性能分析  

作　　者：陈琛 

机构地区：[1]江苏中能硅业科技发展有限公司

出　　处：《你好成都（中英文）》2023年第25期0142-0144,共3页

摘　　要：文章基于吸附法,去除硼磷等杂质以提纯氯硅烷,首先阐述了吸附的基本原理,接着又将三氯氢硅的吸附效果跟以往的精馏效果展开对比,对二者差别进行归纳。对于具有显著危险性的二氯二氢硅,如能利用吸附性能,将其中的硼、磷杂质成功除去,就可以得到纯度较高的二氯二氢硅,只要将其投放到还原工序当中,就可以通过还原反应,制备出高纯度的多晶硅产品,从而使二氯二氢硅的实际贮存量大幅度减少,将危险性降到最低。本文提议制备出的吸附剂属于载体型,用于去除三氯氢硅当中的硼杂质,并结合其具体应用情况,对其吸附除硼性能作出评估。

关 键 词：吸附 三氯氢硅 二氯二氢硅 

分 类 号：C[社会学]