二氯二氢硅

作品数：50被引量：40H指数：4
导出分析报告
相关领域：化学工程更多>>
相关作者：严大洲汤传斌肖荣晖杨永亮赵雄更多>>
相关机构：新特能源股份有限公司中国恩菲工程技术有限公司天津大学江苏中能硅业科技发展有限公司更多>>
相关期刊：《化学工程》《硅谷》《新材料产业》《化工设计通讯》更多>>
相关基金：“八五”国家科技攻关计划四川省教育厅自然科学科研项目更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
逆歧化反应在氯硅烷转化中的应用进展
《中国氯碱》2025年第2期20-24,33,共6页李思超 赵长森 牛强 
综述了二氯二氢硅和四氯化硅逆歧化反应的反应机理、反应动力学、工艺参数以及不同催化剂的性能。重点比较了固定床工艺、反应精馏工艺两种不同工艺的优劣势,并对反应精馏工艺的发展趋势进行了展望。
关键词：逆歧化反应 三氯氢硅 四氯化硅 二氯二氢硅 多晶硅 
三氯氢硅除硼吸附性能分析
《你好成都（中英文）》2023年第25期0142-0144,共3页陈琛 
文章基于吸附法,去除硼磷等杂质以提纯氯硅烷,首先阐述了吸附的基本原理,接着又将三氯氢硅的吸附效果跟以往的精馏效果展开对比,对二者差别进行归纳。对于具有显著危险性的二氯二氢硅,如能利用吸附性能,将其中的硼、磷杂质成功除去,就...
关键词：吸附 三氯氢硅 二氯二氢硅 
电子级二氯二氢硅制备技术研究进展被引量：1
《有色冶金节能》2022年第6期5-8,15,共5页梁君 刘见华 常欣 袁振军 万烨 
电子级二氯二氢硅主要用于先进集成电路芯片制程中应变硅外延生长,氧化硅、氮化硅以及金属硅化物等薄膜沉积生产工艺,具有沉积速度快、沉积薄膜均匀、温度较低等特点,在集成电路制造中应用广泛,但是目前主要依赖进口的问题仍未解决。本...
关键词：二氯二氢硅 多晶硅 集成电路 电子气体 前驱体 精馏纯化 吸附络合 歧化反应 
二氯二氢硅反歧化反应精馏工艺的模拟分析与控制被引量：3
《天然气化工—C1化学与化工》2021年第3期88-93,106,共7页李晨晨 陆平 曹俊雅 华超 白芳 
国家重点研发计划(2019YFC1907600);中国科学院洁净能源先导科技专项资助(XDA21030600)。
应用Aspen plus软件对二氯二氢硅反歧化反应精馏工艺进行了模拟,对反应精馏工艺进行了操作参数优化,在最佳条件下以年度总费用为依据对固定床工艺和反应精馏工艺设备投资和能耗进行了分析,进一步在Aspen dynamics软件下模拟了进料流量...
关键词：二氯二氢硅 反歧化 反应精馏 动态模拟 
集成电路用电子级多晶硅沉积工艺研究被引量：3
《当代化工》2020年第12期2814-2817,共4页吴锋 
江苏省重点研发计划(产业前瞻与共性关键技术),大规模集成电路用硅料生产工艺研发(项目编号:BE2018060)
随着集成电路产业近年来的高速发展,对可用于12寸晶圆的高纯电子级多晶硅的需求不断提升,但是国内少数厂家仅能进入中低端市场,在高端领域始终被国外技术垄断。多晶硅主流的生产工艺是改良西门子法,其核心工序为化学气相沉积,配方、流...
关键词：电子级多晶硅 化学气相沉积 二氯二氢硅 
二氯二氢硅的安全生产
《化工设计通讯》2020年第8期167-168,共2页李云昊 赵国伟 郭树虎 赵宇 常欣 赵雄 
郑洛新国家自主创新示范区创新引领型产业集群专项(18100212700)。
二氯二氢硅在半导体行业有广泛的应用,是一种重要的电子级硅基原料,但是二氯二氢硅在生产、充装、仓储、运输、使用的过程中有较大的安全风险。重点介绍了二氯二氢硅用途前景以及在制造前期和制造过程中所面临的安全问题,从工艺设计、...
关键词：二氯二氢硅 易燃易爆 副产物 安全生产 
多晶硅二氯二氢硅反应精馏和固定床反应器技术经济对比被引量：1
《化工管理》2019年第29期99-100,共2页姜利霞 张志刚 董丽萍 
多晶硅系统主要包括还原、冷氢化、精馏和还原尾气回收四部分,还原是将氢气与三氯氢硅在还原炉硅芯发热体表面上沉积、生长多晶硅,冷氢化是将四氯化硅与硅粉、氢气在流化床反应器中转化成三氯氢硅。在还原炉和流化床反应器中均产生副产...
关键词：多晶硅 反应精馏 固定床 
多晶硅副产物反歧化法合成三氯氢硅的研究进展
《化工管理》2019年第25期69-70,共2页贺玉刚 王芳 孙强 张晓伟 付强 时庆合 
随着环境污染和能源短缺问题的加剧,各国纷纷开始新型能源的开发,多晶硅的市场需求量也随之增加,而四氯化硅和二氯二氢硅等副产物的聚集制约着多晶硅行业的发展。四氯化硅反歧化工艺是解决系统副产物聚集的有效途径。文章简述了反歧化...
关键词：多晶硅 四氯化硅 二氯二氢硅 三氯氢硅 反歧化 
二氯二氢硅综合应用研究进展
《氯碱工业》2019年第5期29-32,共4页付绪光 陈其国 吕加南 
详述了二氯二氢硅与四氯化硅进行反歧化反应制备三氯氢硅技术的研究进展,简述了二氯二氢硅在制备多晶硅、硅烷气、多晶硅薄膜、氮化硅薄膜和二氧化硅薄膜中的应用。
关键词：二氯二氢硅 反歧化反应 三氯氢硅 硅烷 多晶硅 氮化硅薄膜 二氧化硅薄膜 
吸附在氯硅烷除杂方面的应用
《化工管理》2019年第10期48-49,共2页章莉 姜利霞 
文章总结了吸附在氯硅烷除硼磷杂质方面的应用,主要介绍了吸附原理、三氯氢硅吸附和二氯二氢硅吸附,对比吸附和传统精馏的差别。特别是危险性较高的二氯二氢硅利用吸附除去杂质硼、磷,可将吸附得到的高纯二氯二氢硅通入还原工序还原制...
关键词：吸附 三氯氢硅 二氯二氢硅 
全选清除导出
共5页<12345>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部