电子气体

作品数：173被引量：226H指数：8
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基于超滤膜的超高纯氨精馏工艺生产技术研究
《化工管理》2025年第8期147-149,158,共4页尹建华 梁雄 张云龙 康彦怀 刘永淘 黄广聪 王凯强 
甘肃省科技型中小企业技术创新基金项目“兰州新区特种气体产业化研究与应用”(22CX3GA005)。
文章针对超高纯氨电子气体的制备,开展了基于超滤膜与精馏耦合工艺的研究。采用PVDF中空纤维超滤膜对氨气进行预纯化,通过优化操作压力、温度、料液流速等工艺参数,获得了渗透通量118.5 L/(m^(2)·h)、杂质去除率98%的优异分离效果。超...
关键词：超高纯氨 超滤膜 精馏 电子气体 
氟气电子气体研究进展
《低温与特气》2025年第1期10-14,45,共6页郑晨明 孙福楠 崔静涛 黄正奇 黄军 徐庆松 
简要介绍了氟气的发展历史及性质,综述了氟气的制备方法、纯化方法以及氟气在电子行业中的应用,指出氟气因具有高效的刻蚀速率、无温室效应、良好的选择性,还可合成其他电子清洗气体,在电子行业中极具市场潜力。
关键词：氟气 制备 纯化 电子级 
机器学习探究电子气体在沸石分子筛上的吸附
《无机化学学报》2025年第1期155-164,共10页陈佳丽 赵国祥 颜亚玉 夏万厅 李巧红 张健 
国家重点研发计划(No.2021YFA1501500)资助。
使用机器学习进行高通量筛选是一种新的材料筛选方法,我们结合巨正则蒙特卡罗(GCMC)模拟和机器学习方法研究了沸石分子筛对气体的吸附。使用GCMC模拟方法,计算了12种电子气体在240种纯硅沸石分子筛上的绝对吸附量,并通过Zeo++程序分析...
关键词：电子特种气体 沸石分子筛 机器学习 巨正则蒙特卡罗模拟 
电子级氯化氢纯化研究进展
《低温与特气》2024年第4期1-5,共5页王刚 任少科 李子宽 祝全仁 赵鹏德 方建朝 刘禹含 
电子级氯化氢广泛用于半导体行业中的单晶硅气相抛光和外延基座腐蚀工序。随着芯片制程的不断减小,对氯化氢纯度的要求越来越高,给电子级氯化氢的纯化工艺提出了新的挑战。综述了现阶段电子级氯化氢的纯化技术:包括冷凝、吸收、精馏、...
关键词：电子气体 氯化氢 纯化 
含氟电子气体六氟乙烷的产业技术现状与国产化替代思考
《现代化工》2024年第5期21-26,共6页张金柯 刘圣慧 王士财 彭勇 王永江 刘武灿 张建君 
国家重点研发计划项目(2019YFC0214504);浙江省重点研发计划项目(2020C01120)。
从工业应用的角度,介绍了国内外六氟乙烷(R116)的主要合成方法,评估出较有前景的工业化路线。分析了国内外企业的纯化技术和纯化工艺设计等工程研究现状。结合作者课题组的研究,提出了高纯R116制备的核心是纯化技术,研究重点在于提升针...
关键词：六氟乙烷 合成 纯化 工艺设计 工业应用 
利用统计热力学对白矮星结构及演化的分析
《商丘师范学院学报》2024年第3期39-44,共6页黄柯 
利用统计热力学的理论对白矮星的结构进行分析,从经典统计的Boltzmann分布推导了白矮星外包层的理想气体物态方程,从量子统计的Fermi分布推导了白矮星内核电子气体在完全简并情况下的物态方程,包含了相对论与非相对论情况.在分析了白矮...
关键词：白矮星 理想气体 Boltzmann分布 自由电子气体 Fermi分布 Chandrasekhar极限 
六氟丁二烯的制备工艺研究进展被引量：1
《有机氟工业》2024年第1期23-27,共5页陈芳 夏秋阳 王昊 朱建秀 杜晨峥 
六氟丁二烯因其刻蚀精准、绿色环保等优势而备受关注,成为新一代电子刻蚀气体的理想产品。目前已报道的六氟丁二烯制备路线复杂多样,以现有制备方法中涉及到的关键中间体为分类标准对当前主流制备工艺进行归纳,并对现阶段取得的进展展...
关键词：六氟丁二烯 制备工艺 电子气体 刻蚀 关键中间体 
离子改性的CON材料用于吸附分离NF_(3)
《化工进展》2023年第11期6076-6085,共10页伍岳 李晓宇 陶春珲 张莹 李印辉 张文祥 杨伯伦 马和平 
国家自然科学基金(22178280);核数据基础重点实验室项目(JCKY2021201C151);西安交通大学“青年拔尖人才”项目(HG6J001)。
从半导体刻蚀废气中吸附分离NF_(3)具有重要的工业应用价值。通过在多孔有机分子笼(cage-like organic network,CON)中引入碘离子,制得了高NF_(3)吸附选择性的离子型吸附剂(I-CON)。DFT理论计算表明,碘离子的引入在吸附剂孔道表面形成...
关键词：多孔有机材料 离子型吸附剂 吸附分离 三氟化氮 含氟电子气体 
中国电子气体产业链发展现状与展望被引量：2
《精细与专用化学品》2023年第10期1-9,共9页孙小涛 胡世明 龚慧萍 
主要分析了世界及中国电子气体供需现状,展望了电子气体未来供需,以此对产业发展提出思考与建议。近10年来,中国电子气体国产化水平不断提升,部分高端产品供应能力实现突破。受益于半导体集成电路、光伏等产业的快速发展,2022~2027年中...
关键词：电子化学品 电子气体 市场供需 产业思考 发展建议 
序
《深冷技术》2023年第2期I0021-I0022,I0020,共3页邓韬 董晓阳 李伟 
近几年来,随着我国超大规模集成电路、半导体材料制造、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气体市场需求量明显增长。因为电子气相关产业及技术在国外率先发展并成熟,在气体纯度及装置可靠性方面提出了远高于钢铁、化工等传统...
关键词：外资企业 电子气体 平板显示器 产品规格 半导体材料 气体纯度 运行经验 超大规模集成电路 
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