序  

作　　者：邓韬 董晓阳 李伟 

机构地区：[1]不详 [2]广钢气体电子超纯及现场制气业务中心 [3]广钢气体工艺研究中心

出　　处：《深冷技术》2023年第2期I0021-I0022,I0020,共3页

摘　　要：近几年来,随着我国超大规模集成电路、半导体材料制造、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气体市场需求量明显增长。因为电子气相关产业及技术在国外率先发展并成熟,在气体纯度及装置可靠性方面提出了远高于钢铁、化工等传统工业对气体的供应要求,气体产品规格从10^(-6)级别提高到了10^(-9)级别,所以直至几年之前超高纯电子大宗气体制取技术及运行经验主要由外资企业掌握,并跟随相关下游企业进入且全面占据了国内的电子气体市场,国内企业无法在该领域分一杯羹。

关 键 词：外资企业 电子气体 平板显示器 产品规格 半导体材料 气体纯度 运行经验 超大规模集成电路 

分 类 号：F42[经济管理—产业经济]