郭树虎

作品数：14被引量：24H指数：4
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发文主题：三氯氢硅硅基多晶硅高纯安全生产更多>>
发文领域：化学工程电子电信冶金工程医药卫生更多>>
发文期刊：《化工设计通讯》《半导体技术》《绿色矿冶》《应用化工》更多>>
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电子级正硅酸乙酯制备技术研究进展被引量：1
《绿色矿冶》2023年第4期55-60,共6页张兴毅 赵雄 万烨 郭树虎 袁振军 刘见华 
工业和信息化部工业强基工程项目(0714-EMTC02-5593/13);郑洛新国家自主创新示范区创新引领型产业集群专项(18100212700)。
正硅酸乙酯兼顾无机材料和有机材料的性能,广泛应用于化工、电子电气等诸多领域。重点介绍了电子级正硅酸乙酯的应用领域,比较了工业级正硅酸乙酯与电子级正硅酸乙酯的产品组分、颗粒度以及杂质含量。针对工业级正硅酸乙酯与电子级正硅...
关键词：电子级 正硅酸乙酯 提纯 吸附 络合 
四氯化硅综合利用现状及发展趋势被引量：3
《有色冶金节能》2021年第6期64-67,共4页李爱民 郭树虎 袁振军 刘见华 赵雄 赵宇 常欣 万烨 
工业和信息化部工业强基工程项目(0714-EMTC02-5593/13);郑洛新国家自主创新示范区创新引领型产业集群专项(18100212700)。
介绍了西门子法多晶硅的副产物四氯化硅的综合利用技术及其现状,从原理、工艺优缺点、存在问题、改进方向等方面介绍了四氯化硅制备气相白炭黑、硅酸乙酯、光纤预制棒及三氯氢硅的应用,重点介绍了四氯化硅氢化技术的最新进展,指出了氢...
关键词：多晶硅 气相白炭黑 硅酸乙酯 光纤预制棒 冷氢化 热氢化 氯氢化 改良西门子法 
高纯及超高纯四氯化钛制备技术研究进展
《应用化工》2021年第S01期244-247,266,共5页张兴毅 赵雄 万烨 郭树虎 袁振军 刘见华 
工业和信息化部工业强基工程项目(0714-EMTC02-5593/13);郑洛新国家自主创新示范区创新引领型产业集群专项(18100212700)。
四氯化钛是钛及其化合物生产中的重要中间产品,钛工业的重要原料,有着极其广泛的应用。综述了通过除钒、蒸馏、精馏、多级精馏等方法以及这些方法的组合来制备高纯四氯化钛;阐述了在高纯四氯化钛的基础上,通过吸附、汽提、蒸馏、亚沸蒸...
关键词：四氯化钛 除钒 蒸馏 复合提纯 
三氯氢硅的安全生产被引量：4
《化工设计通讯》2020年第12期150-151,共2页赵雄 赵国伟 袁振军 郭树虎 赵宇 常欣 王磊 刘见华 
河南省科技人才研发专项(174200510014);郑洛新国家自主创新示范区创新引领型产业集群专项(18100212700)。
三氯氢硅是生产多晶硅的主要原料,而高纯度的三氯氢硅是重要的硅外延片用电子特气,是制造电子元器件精密加工从而推动信息化和工业化深度融合的关键基础原材料。但三氯氢硅在空气中极易燃烧,其生产、检测、充装、仓储以及运输过程中都...
关键词：三氯氢硅 易燃液体 高纯充装 安全生产 
四氯化硅的安全生产
《化工设计通讯》2020年第11期140-141,共2页赵雄 袁振军 郭树虎 赵宇 常欣 王磊 刘见华 张兴毅 
河南省科技人才研发专项(174200510014);郑洛新国家自主创新示范区创新引领型产业集群专项(18100212700)。
随着光伏与集成电路产业的高速发展,多晶硅的需求量日益增加。四氯化硅是采用西门子法生产多晶硅过程中的大量副产物,其工业用途广泛。在四氯化硅生产、储存、运输过程中,安全事故屡见不鲜,危及自然环境与人身安全。简单介绍了四氯化硅...
关键词：四氯化硅 物性 安全生产 预防和应急处理措施 
二氯二氢硅的安全生产
《化工设计通讯》2020年第8期167-168,共2页李云昊 赵国伟 郭树虎 赵宇 常欣 赵雄 
郑洛新国家自主创新示范区创新引领型产业集群专项(18100212700)。
二氯二氢硅在半导体行业有广泛的应用,是一种重要的电子级硅基原料,但是二氯二氢硅在生产、充装、仓储、运输、使用的过程中有较大的安全风险。重点介绍了二氯二氢硅用途前景以及在制造前期和制造过程中所面临的安全问题,从工艺设计、...
关键词：二氯二氢硅 易燃易爆 副产物 安全生产 
先进硅基前驱体的应用研究与技术进展被引量：4
《半导体技术》2020年第6期409-418,共10页常欣 万烨 赵雄 严大洲 袁振军 郭树虎 
河南省科技人才研发专项资助项目(174200510014);郑洛新国家自主创新示范区创新引领型产业集群专项资助项目(181200212700)。
前驱体材料广泛应用于集成电路的关键工艺中,如外延、光刻、化学气相沉积以及原子层沉积。其中硅基前驱体是重要且用量较大的一个分支,近年来一直是先进集成电路材料领域研究的热点之一。以集成电路制造工艺和器件结构的技术发展为基础...
关键词：集成电路(IC) 硅基前驱体 化学气相沉积(CVD) 原子层沉积 提纯工艺 
高纯八甲基环四硅氧烷制备工艺研究进展被引量：2
《化工管理》2020年第4期177-178,196,共3页段超 赵旭 郭树虎 万烨 常欣 孙强 赵宇 张晓伟 
高纯八甲基环四硅氧烷广泛应用于光通讯行业,更是集成电路等电子工业生产中不可缺少的基础和支撑材料之一。文章重点介绍了高纯八甲基环四硅氧烷(D4)的除杂提纯工艺,包括精馏法、络合精馏法、结晶-真空抽滤法、金属去除剂除杂法,分析了...
关键词：八甲基环四硅氧烷 精馏 络合精馏 结晶真空抽滤 金属去除剂 
光纤用四氯化硅制备研究进展被引量：4
《应用化工》2017年第7期1370-1373,共4页郭树虎 赵雄 万烨 严大洲 杨典 
河南省自主创新产品专项(152205212006)
重点介绍了光纤用四氯化硅的制备工艺,包括精馏法、吸附法、部分水解法、光氯化法、等离子法以及这些方法的组合。对比分析了上述方法的优缺点,展望了光纤四氯化硅制备工艺的发展方向。此外,还简要介绍了光纤用四氯化硅的应用及经济概况。
关键词：四氯化硅 光纤预制棒 红外透过率 未知高沸 
海绵钛生产现状及发展展望被引量：2
《化工管理》2017年第5期112-112,114,共2页刘挥彬 石涛 郭树虎 
钛作为重要的稀有金属材料,具有密度小、强度高、耐热、耐腐蚀性好的突出优势,有着广泛的应用前景。本文综述了海绵钛的各种生产方法,并对海绵钛生产过程中存在的问题进行了分析,最后探讨了海绵钛制备技术发展方向。
关键词：海绵钛 氯化法 精制 钛渣 
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