刘见华

作品数：16被引量：21H指数：3
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基于5S管理模式的特气充装站现场管理应用被引量：1
《低温与特气》2023年第4期41-45,共5页马福圈 常欣 王磊 刘见华 袁振军 万烨 
在当前高质量发展的背景下,我国加大了对半导体集成电路产业的支持力度,集成电路国产化替代的步伐加速进行。电子特气作为半导体制造的重要原材料,出货量大幅增长,这就对特气充装站的管理提出了更高要求。根据企业实际情况,按照5S管理...
关键词：5S管理 特气 充装站 现场管理 
电子级正硅酸乙酯制备技术研究进展被引量：1
《绿色矿冶》2023年第4期55-60,共6页张兴毅 赵雄 万烨 郭树虎 袁振军 刘见华 
工业和信息化部工业强基工程项目(0714-EMTC02-5593/13);郑洛新国家自主创新示范区创新引领型产业集群专项(18100212700)。
正硅酸乙酯兼顾无机材料和有机材料的性能,广泛应用于化工、电子电气等诸多领域。重点介绍了电子级正硅酸乙酯的应用领域,比较了工业级正硅酸乙酯与电子级正硅酸乙酯的产品组分、颗粒度以及杂质含量。针对工业级正硅酸乙酯与电子级正硅...
关键词：电子级 正硅酸乙酯 提纯 吸附 络合 
电子级二氯二氢硅制备技术研究进展被引量：1
《有色冶金节能》2022年第6期5-8,15,共5页梁君 刘见华 常欣 袁振军 万烨 
电子级二氯二氢硅主要用于先进集成电路芯片制程中应变硅外延生长,氧化硅、氮化硅以及金属硅化物等薄膜沉积生产工艺,具有沉积速度快、沉积薄膜均匀、温度较低等特点,在集成电路制造中应用广泛,但是目前主要依赖进口的问题仍未解决。本...
关键词：二氯二氢硅 多晶硅 集成电路 电子气体 前驱体 精馏纯化 吸附络合 歧化反应 
电子特气充装管理与应急处置
《有色冶金节能》2022年第4期88-91,共4页马福圈 王磊 刘见华 常欣 万烨 
电子特气具有高压、腐蚀性、毒性、易燃易爆、使人窒息等危险特性,充装过程中的安全事故屡见不鲜,危及人员安全。本文简要介绍特气充装的一般流程,分析充装前检查、充装过程和充装后气瓶管理的注意事项以及充装过程的应急措施,旨在提高...
关键词：电子特气 气瓶 充装管理 应急处置 
高纯合成石英的制备技术和应用被引量：2
《有色设备》2021年第6期62-65,74,共5页李爱民 万烨 常欣 刘见华 曾晓国 袁振军 
高纯石英是石英玻璃和集成电路基板材料等生产的重要原料,在高新技术产业中具有极大地利用价值和不可取代的地位。随着天然水晶资源的持续减少,高纯合成石英的研究逐渐受到重视。本文全面地介绍了高纯石英的特性、合成制备技术及其研究...
关键词：高纯石英 制备技术 应用 液相水解法 
四氯化硅综合利用现状及发展趋势被引量：3
《有色冶金节能》2021年第6期64-67,共4页李爱民 郭树虎 袁振军 刘见华 赵雄 赵宇 常欣 万烨 
工业和信息化部工业强基工程项目(0714-EMTC02-5593/13);郑洛新国家自主创新示范区创新引领型产业集群专项(18100212700)。
介绍了西门子法多晶硅的副产物四氯化硅的综合利用技术及其现状,从原理、工艺优缺点、存在问题、改进方向等方面介绍了四氯化硅制备气相白炭黑、硅酸乙酯、光纤预制棒及三氯氢硅的应用,重点介绍了四氯化硅氢化技术的最新进展,指出了氢...
关键词：多晶硅 气相白炭黑 硅酸乙酯 光纤预制棒 冷氢化 热氢化 氯氢化 改良西门子法 
金属烧结滤芯用于多晶硅氯硅烷净化放大研究被引量：1
《现代化工》2021年第7期231-233,共3页刘见华 万烨 赵雄 赵宇 周勇毅 严大洲 
采用金属粉末烧结滤芯对多晶硅制备干法回收工序的氯硅烷进行中试净化研究,在相同过滤精度和面积下,对比处理量对初始过滤压降和不同滤饼剥离方式对剥离率的影响。结果表明,当原料颗粒浓度为235 g/m^(3)、采用液相反冲滤饼剥离方式时,...
关键词：金属烧结滤芯 氯硅烷 过滤 多晶硅 
高纯及超高纯四氯化钛制备技术研究进展
《应用化工》2021年第S01期244-247,266,共5页张兴毅 赵雄 万烨 郭树虎 袁振军 刘见华 
工业和信息化部工业强基工程项目(0714-EMTC02-5593/13);郑洛新国家自主创新示范区创新引领型产业集群专项(18100212700)。
四氯化钛是钛及其化合物生产中的重要中间产品,钛工业的重要原料,有着极其广泛的应用。综述了通过除钒、蒸馏、精馏、多级精馏等方法以及这些方法的组合来制备高纯四氯化钛;阐述了在高纯四氯化钛的基础上,通过吸附、汽提、蒸馏、亚沸蒸...
关键词：四氯化钛 除钒 蒸馏 复合提纯 
三氯氢硅的安全生产被引量：4
《化工设计通讯》2020年第12期150-151,共2页赵雄 赵国伟 袁振军 郭树虎 赵宇 常欣 王磊 刘见华 
河南省科技人才研发专项(174200510014);郑洛新国家自主创新示范区创新引领型产业集群专项(18100212700)。
三氯氢硅是生产多晶硅的主要原料,而高纯度的三氯氢硅是重要的硅外延片用电子特气,是制造电子元器件精密加工从而推动信息化和工业化深度融合的关键基础原材料。但三氯氢硅在空气中极易燃烧,其生产、检测、充装、仓储以及运输过程中都...
关键词：三氯氢硅 易燃液体 高纯充装 安全生产 
高纯气体管路系统颗粒物产生原因分析及防治被引量：1
《有色冶金节能》2020年第6期25-29,共5页刘见华 万烨 赵雄 赵宇 王磊 严大洲 
精密加工制造中颗粒物含量影响产品质量和成品率,是评价高纯系统的重要指标之一。高纯管路系统的颗粒物来自于高纯材料的制造、管道材料表面的杂质、产品气体自身携带的污染物、控制阀门和过滤器、施工安装产生的污染。通过分析颗粒物来...
关键词：高纯气体 颗粒物 管路系统 洁净度 
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