基于激光干涉的光学结构表面形貌检测方法研究  

作　　者：杜宏烨 

机构地区：[1]江西省光学镜头镜片产品质量监督检验中心,江西上饶334199

出　　处：《中国科技期刊数据库 工业A》2023年第11期017-020,共4页

摘　　要：本文研究了基于激光干涉的光学结构表面形貌检测方法。通过激光干涉技术,可以实现对光学结构表面形貌的高精度、非接触式测量。针对不同的应用场景和要求,本文提出了一系列具体策略,通过对比分析这些策略的原理、优缺点以及适用范围,可以为光学结构表面形貌的检测提供参考和指导。本文的研究成果对于光学结构的设计、制备和应用具有重要的理论意义和实际应用价值。

关 键 词：光学结构 表面形貌检测 激光干涉 相位测量 频谱分析 时间调制 

分 类 号：TH744[机械工程—光学工程]