离子束刻蚀技术与设备常见故障分析  

作　　者：李飞 

机构地区：[1]浙江驰拓科技有限公司无锡分公司,浙江无锡214112

出　　处：《中国科技期刊数据库 工业A》2024年第4期0049-0052,共4页

摘　　要：对离子束刻蚀技术与设备常见故障进行分析和研究具有重要的意义。首先,通过对故障的分析,可以找出问题的根源,从而采取有效的措施进行维修和保养,提高设备的可靠性和稳定性。其次,通过对故障的监测和预测,可以及时发现潜在的问题,避免因设备故障而引起的生产中断和损失。为此,本文主要对离子束刻蚀技术与设备在应用过程中常见的故障进行了分析,包括离子源故障、真空系统故障、控制系统故障等,并提出了相应的解决方案和预防措施。通过对这些故障的分析和处理,可以提高设备的稳定性和可靠性,保障生产线的正常运行。

关 键 词：离子束刻蚀 原理 设备故障 预防 

分 类 号：TN30[电子电信—物理电子学]