离子束刻蚀

作品数：192被引量：375H指数：9
导出分析报告
相关领域：电子电信更多>>
相关作者：洪义麟付绍军徐向东邱克强刘颖更多>>
相关机构：中国科学技术大学中国科学院苏州大学江苏鲁汶仪器有限公司更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划吉林省科技发展计划基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
离子刻蚀法铜基异形微结构表面加工及润湿特性研究
《工程热物理学报》2025年第3期938-944,共7页党超 李昊 王小伟 贾力 
国家自然科学基金项目(No.52036001,No.52106069)。
在金属表面加工异形微结构对于制造适用于低表面能工质的疏液表面具有重要意义。本文基于离子束刻蚀工艺,设计了一种异形微结构表面的加工方法。通过实验研究,优化了加工工艺,确定了异形微结构顶部的变形量与扩散焊接压力的关系,得到了...
关键词：异形微结构 离子束刻蚀 低表面能工质 疏液表面 
基于共面波导结构的晶圆玻片设计
《光子学报》2024年第12期23-32,共10页王靖杰 占春连 高涵 赵耀 张集权 刘超 
国家重点研发计划(No.2022YFF0705903);中国电子科技集团公司2023年度技术创新基金(No.KJ2304007)。
采用有限接地板厚度有限介质厚度的共面波导结构设计,根据保角转换理论获得了共面波导电极的理想特性参数,结合实际应用场景,建立仿真模型,通过光刻胶掩膜图形电镀和离子束刻蚀工艺实现了高质量晶圆玻片的制备,并利用矢量网络分析仪对...
关键词：电光采样 光电探测器 晶圆玻片 共面波导 湿法刻蚀 离子束刻蚀 传输特性 
混合基板表面前处理工艺研究
《电子机械工程》2024年第6期56-59,64,共5页李浩 王济乾 高浩 张伟强 崔凯 
基于氮化铝高温共烧陶瓷(High Temperature Co-fired Ceramics,HTCC)厚薄膜混合基板的结构特点和工艺流程,通过探究分析混合基板表面研磨抛光后的微观状态,文中揭示了抛光后基板表面富氮疏松层的存在及附着力下降的机理,研究和优化了氮...
关键词：厚薄膜 混合基板 离子束刻蚀 附着力 
离子束表面加工设备控制系统研究与设计
《电子工业专用设备》2024年第6期16-19,53,共5页范江华 黄一峻 周立平 周波 刘庆浩 胡坤 
通过研究离子束表面加工设备的功能要求和工艺流程,设计了一套具备全自动真空、控温、传片、镀膜、刻蚀等功能的控制系统,并详细阐述控制系统各模块的功能及设计实现。经过产线流片验证,该控制系统运行稳定,满足离子束加工设备镀膜与刻...
关键词：离子束溅射沉积 离子束刻蚀 离子束加工 控制系统 
一种非偏振高衍射效率透射光栅的设计与制作
《光学学报》2024年第20期9-19,共11页于良成 陆凡凡 李时洋 孙满满 邱克强 
国家重点研发计划(2021YFB3203102)。
表面浮雕(SR)光栅是光学天文望远镜系统中摄谱仪的核心分光元件,它的材料稳定、偏振灵敏度更低且可以提供更高的衍射效率以及更大的带宽。本文设计并制作了一种工作在630~680 nm波段的非偏振、高效率封装透射光栅,使用模态法结合有限元...
关键词：衍射光栅 非偏振 模态法 全息-离子束刻蚀 衍射效率 
碲镉汞红外探测器离子束刻蚀研究
《激光与红外》2024年第9期1410-1416,共7页宁提 何斌 刘静 徐港 
电极成型技术是红外焦平面探测器的重要组成部分,离子束刻蚀技术由于具有高各向异性和高分辨率等诸多优点,适用于制备低损伤、高均匀性以及可生产性的电极体系。本文采用离子束刻蚀制备了平面型、台面型器件的电极结构,通过FIB和SEM表...
关键词：碲镉汞 离子束刻蚀 电极接触 热处理 
离子束表面加工设备及工艺研究
《中国集成电路》2024年第9期87-91,共5页范江华 李勇 袁祖浩 龚俊 胡凡 黄也 
本文介绍了一种用于红外芯片金属化与刻蚀工艺的离子束表面加工设备。通过实验探索不同工艺角度下薄膜沉积速率与均匀性及刻蚀速率与均匀性的影响,结果表明薄膜沉积均匀性与刻蚀均匀性均优于3%。同时经过产线流片,红外芯片表面薄膜均匀...
关键词：离子束溅射沉积 离子束刻蚀 离子束加工 射频离子源 
基于激光复合技术的金刚石抛光研究被引量：1
《中国激光》2024年第16期147-154,共8页赵智炎 冯昱森 罗子艺 蔡得涛 薛亚飞 王忠强 于颜豪 
广东省基础与应用基础研究基金(2019B1515120081);广东省科学院发展专项资金项目(2023GDASZH-2023010105,2021GDASYL-20210103085);吉林省科技发展计划项目重大科技专项(20220301003GX)。
金刚石作为一种具有独特优异性能的半导体材料,在光学和电子学领域具有重要的应用价值。目前生长金刚石最常用的方法是化学气相沉积(CVD)法,采用该方法制备的金刚石薄膜通常为多晶结构,表面粗糙度高、颗粒大的缺点制约了金刚石薄膜的应...
关键词：超快激光 金刚石薄膜 激光抛光 离子束刻蚀 粗糙度 
离子束刻蚀技术与设备常见故障分析
《中国科技期刊数据库 工业A》2024年第4期0049-0052,共4页李飞 
对离子束刻蚀技术与设备常见故障进行分析和研究具有重要的意义。首先,通过对故障的分析,可以找出问题的根源,从而采取有效的措施进行维修和保养,提高设备的可靠性和稳定性。其次,通过对故障的监测和预测,可以及时发现潜在的问题,避免...
关键词：离子束刻蚀 原理 设备故障 预防 
离子束刻蚀技术在SAW滤波器频率修整上的应用
《微纳电子技术》2024年第3期169-175,共7页时鹏程 吴兵 袁燕 于海洋 林树超 孟腾飞 周培根 
随着声表面波(SAW)滤波器的应用向高频、窄带方向延伸,在制造过程中准确地控制其中心频率及一致性变得越来越困难,需要对SAW滤波器的频率进行微调。重点介绍了一种在SAW滤波器上可实现目标频率修整的离子束刻蚀修频工艺,通过实验发现刻...
关键词：声表面波(SAW)滤波器 离子束刻蚀 频率修整 刻蚀速率 微观结构 
全选清除导出
共19页<12345678910>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部