离子束加工

作品数：61被引量：193H指数：9
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相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>
相关作者：周林解旭辉戴一帆李圣怡田野更多>>
相关机构：国防科学技术大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院中国兵器科学研究院更多>>
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离子束表面加工设备控制系统研究与设计
《电子工业专用设备》2024年第6期16-19,53,共5页范江华 黄一峻 周立平 周波 刘庆浩 胡坤 
通过研究离子束表面加工设备的功能要求和工艺流程,设计了一套具备全自动真空、控温、传片、镀膜、刻蚀等功能的控制系统,并详细阐述控制系统各模块的功能及设计实现。经过产线流片验证,该控制系统运行稳定,满足离子束加工设备镀膜与刻...
关键词：离子束溅射沉积 离子束刻蚀 离子束加工 控制系统 
聚焦离子束加工的硅酸钇波导中铕离子的光学与超精细跃迁
《物理学报》2024年第22期115-123,共9页肖懿鑫 朱天翔 梁澎军 王奕洋 周宗权 李传锋 
科技创新2030-“量子通信与量子计算机”重大项目(批准号:2021ZD0301200);国家自然科学基金(批准号:12222411,11821404)资助的课题.
量子存储是大尺度量子网络的重要组成部分,基于波导等微纳结构的可集成量子存储可以提供更好的可扩展性并实现更低的光电能耗.在众多量子存储候选介质中,^(151)Eu^(3+):Y_(2)SiO_(5)晶体具有长达6 h的自旋相干寿命和1 h的相干光存储时间...
关键词：稀土掺杂晶体 量子存储 聚焦离子束 量子信息 
离子束表面加工设备及工艺研究
《中国集成电路》2024年第9期87-91,共5页范江华 李勇 袁祖浩 龚俊 胡凡 黄也 
本文介绍了一种用于红外芯片金属化与刻蚀工艺的离子束表面加工设备。通过实验探索不同工艺角度下薄膜沉积速率与均匀性及刻蚀速率与均匀性的影响,结果表明薄膜沉积均匀性与刻蚀均匀性均优于3%。同时经过产线流片,红外芯片表面薄膜均匀...
关键词：离子束溅射沉积 离子束刻蚀 离子束加工 射频离子源 
半球谐振子超精密修调方法研究
《精密成形工程》2024年第1期158-166,共9页刘俊峰 王瑜 杜春阳 赵羽乾 戴一帆 赖涛 
国家自然科学基金(52375473,51991372);国防科技重点实验室基金(KT0406052303)。
目的研究因谐振子质量缺陷而引起的频率裂解机制,进而对刚性轴位置进行质量高分辨率可控去除,提高陀螺精度。方法首先基于多区域配合划分法建立半球谐振子高精度有限元仿真模型,分析质量大小与位置对谐振子频差的影响规律。其次搭建谐...
关键词：半球谐振子 频差 超精密修调 刚性轴位置 离子束加工 
第19届全国特种加工学术会议通知
《电加工与模具》2022年第5期65-65,共1页无 
特种加工是先进制造技术的重要组成部分,它通过利用多学科的技术和手段,解决了大量传统加工方法无法解决的加工难题,在航空航天、汽车、模具、医疗、电子、冶金、石化、地质等行业得到了广泛应用,发挥着不可或缺的作用,为国家经济建设...
关键词：特种加工 传统加工方法 电子束加工 电化学加工 离子束加工 航空航天 先进制造技术 增材制造 
欢迎订阅《电加工与模具》
《电加工与模具》2022年第4期60-60,共1页
《电加工与模具》是我国特种加工和模具制造领域国内外公开发行的专业性技术刊物,主要报道内容为:特种加工(包括电火花加工、电化学加工、激光加工、增材制造、超声加工、电子束加工、离子束加工等)和模具制造领域的设计研究成果、工艺...
关键词：特种加工 电化学加工 电子束加工 模具制造 电火花加工 电加工 超声加工 离子束加工 
欢迎订阅《电加工与模具》
《电加工与模具》2021年第6期61-61,共1页
《电加工与模具》是我国特种加工和模具制造领域国内外公开发行的专业性技术刊物,主要报道内容为:特种加工(包括电火花加工、电化学加工、激光加工、增材制造、超声加工、电子束加工、离子束加工等)和模具制造领域的设计研究成果、工艺...
关键词：特种加工 电化学加工 电子束加工 电火花加工 模具制造 电加工 超声加工 离子束加工 
流动聚焦等先进特种加工技术发展现状及展望
《数字农业与智能农机》2021年第23期107-109,共3页王翠 
吉林省教育厅十三五科学技术项目资助(项目名称:微结构功能表面复合流体聚焦加工新方法的研究,项目号:JJKH20200310KJ)。
随着科技的快速发展,先进的高性能材料被大量使用,其加工技术面临着巨大的挑战。目前特种加工技术有激光加工、超声加工、电子束加工、电火花加工、离子束加工等,它们都各具优点,但缺点也比较明显,加工复杂内腔的型材,高强度、高塑性材...
关键词：激光加工 超声加工 电子束加工 电火花加工 离子束加工 
45°光纤微反射镜聚焦离子束加工及多轴位移检测研究被引量：2
《应用光学》2021年第3期557-564,共8页李俊 李嘉伟 张鼎博 刘旭 李阔 马天 王伟峰 翟小伟 
国家自然科学基金(51974236)。
聚焦离子束加工作为一种微纳加工手段,可以用来制造纳米元件和微结构元件。研究了在多芯光纤的末端,使用聚焦离子束加工技术设计和制造45°镜面的全过程。该光学镜面由两步加工完成,首先是扫描过程,用来制造粗糙的切割面;然后是抛光过程...
关键词：物理光学 微加工 聚焦离子束 位移检测 
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《电加工与模具》2021年第3期55-55,共1页
《电加工与模具》是我国特种加工和模具制造领域国内外公开发行的专业性技术刊物,主要报道内容为:特种加工(包括电火花加工、电化学加工、激光加工、增材制造、超声加工、电子束加工、离子束加工等)和模具制造领域的设计研究成果、工艺...
关键词：特种加工 电化学加工 电子束加工 电火花加工 模具制造 电加工 超声加工 离子束加工 
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