于颜豪

作品数：11被引量：35H指数：3
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纳秒激光复合离子束刻蚀技术的CVD金刚石抛光研究
《激光杂志》2025年第1期214-221,共8页冯昱森 赵智炎 于颜豪 徐颖 徐地华 李爱武 
广东省基础与应用基础研究基金(No.2019B1515120081)。
高表面平整度的CVD金刚石在微刀具、光学窗口、半导体等领域具有非常广阔的应用前景。然而,由于CVD金刚石具有的高硬度、高耐磨性和化学惰性等特性,使得CVD金刚石的高精度抛光成为一个巨大的挑战。针对金刚石抛光难度问题,使用纳秒激光...
关键词：激光光学 纳秒激光抛光 离子束抛光 CVD金刚石 粗糙度 
大曲率低损耗弯曲波导的飞秒激光直写
《中国激光》2024年第16期268-276,共9页李义春 肖凯恒 李中天 刘畅 于颜豪 田振男 
国家自然科学基金(62131018,61805098);中国博士后基金(2019M651200);吉林省科技发展计划(20220301002GX,20230508110RC)。
飞秒激光直写光波导是实现三维光子集成芯片(PIC)的重要技术手段。PIC集成度的提升受弯曲波导曲率半径的限制。为了实现大曲率低损耗弯曲波导的飞秒激光直写,提出多次激光修饰增强波导芯层与包层折射率对比度的方法来优化芯层的横截面...
关键词：光学制造 光波导 飞秒激光直写 大曲率 弯曲损耗 截面控制 
基于激光复合技术的金刚石抛光研究被引量：1
《中国激光》2024年第16期147-154,共8页赵智炎 冯昱森 罗子艺 蔡得涛 薛亚飞 王忠强 于颜豪 
广东省基础与应用基础研究基金(2019B1515120081);广东省科学院发展专项资金项目(2023GDASZH-2023010105,2021GDASYL-20210103085);吉林省科技发展计划项目重大科技专项(20220301003GX)。
金刚石作为一种具有独特优异性能的半导体材料,在光学和电子学领域具有重要的应用价值。目前生长金刚石最常用的方法是化学气相沉积(CVD)法,采用该方法制备的金刚石薄膜通常为多晶结构,表面粗糙度高、颗粒大的缺点制约了金刚石薄膜的应...
关键词：超快激光 金刚石薄膜 激光抛光 离子束刻蚀 粗糙度 
基于水辅助的飞秒激光碳化硅微孔加工(特邀)被引量：7
《光子学报》2021年第6期66-70,共5页徐思佳 于颜豪 陈岐岱 
国家重点研发计划(No.2017YFB1104600)。
在350μm厚的碳化硅样品上加工了直径200μm的微孔,研究了基于水辅助的飞秒激光碳化硅微孔加工方法。探讨了空气中加工微孔与水辅助加工微孔的差别。水降低了加工区域的温度,大大减少了氧化反应的发生,而且加工产生的碎屑由水带走,避免...
关键词：飞秒激光 水辅助 碳化硅 微孔 热影响区 
激光脉宽对玻璃波导性能的影响(特邀)
《光子学报》2021年第6期78-83,共6页王映德 于颜豪 田振男 陈岐岱 
国家重点研发计划(No.2017YFB1104600)。
改变激光脉宽,在硼铝硅酸盐玻璃内直写光波导,研究了脉冲宽度对光波导截面形貌、模场大小及定向耦合器透射比的影响。实验中,采用脉宽为239 fs单模/多模临界功率的激光制备光波导,其截面大小由5.4μm×4.2μm(239 fs)变为5.1μm×2.4μm...
关键词：飞秒激光 脉冲宽度 能量耦合 玻璃波导 定向耦合器 
飞秒激光加工蓝宝石超衍射纳米结构被引量：3
《物理学报》2017年第14期201-207,共7页高斯 王子涵 滑建冠 李乾坤 李爱武 于颜豪 
国家自然科学基金(批准号:61590930;91323301;61435005;21473076)资助的课题~~
蓝宝石具有超强硬度及耐腐蚀、耐高温、在紫外-红外波段具有良好的透光性等优点,在军工业以及医疗器械方面具有广泛的应用前景.然而这些优点又对蓝宝石的机械加工或化学腐蚀加工带来困难.飞秒激光脉冲具有热损伤小、加工分辨率高、材料...
关键词：飞秒激光加工 光学衍射极限 蓝宝石 微纳结构 
曲面基底衍射光学元件的激光直写技术被引量：7
《中国激光》2017年第6期85-91,共7页姜俊 刘晋桥 徐颖 于颜豪 
国家自然科学基金(91423102;91323301;61605055;21473076)
飞秒激光直写技术(FsLDW)因其优异的三维加工能力、高空间分辨率、低附加损伤等优点被广泛地应用于微纳加工领域,但传统飞秒激光直写技术在加工效率、加工面积和加工精度之间存在矛盾。为了实现高速、大面积、高精度的激光微纳加工,构...
关键词：激光光学 衍射光学元件 飞秒激光直写 极坐标系扫描 
图案化聚合物表面的形状记忆特性被引量：1
《吉林大学学报（理学版）》2017年第3期702-706,共5页关薇 胥亦实 牛立刚 王艳辉 于颜豪 夏虹 
国家自然科学基金(批准号:51373064;61435005)
利用纳秒激光双光束干涉的光刻方法,在光刻胶层制备具有周期性的一维光栅结构样品,并研究其形状记忆特性.结果表明:显影后的样品在环境温度为195℃及压力的作用下,光栅形貌发生改变,光栅垂直高度降低,衍射光强减弱;当样品冷却至室温时,...
关键词：微加工 双光束干涉 形状记忆聚合物 微图案化 
基于微流控技术的高效液相脉冲激光烧蚀法被引量：3
《中国激光》2017年第4期69-74,共6页关凯珉 刘晋桥 徐颖 于颜豪 
国家自然科学基金(91423102;91323301;61605055;21473076)
液相脉冲激光烧蚀法(PLAL)具有绿色环保、适用范围广及可制备复合材料等优点,受到学术界的广泛关注,但是较低的制备效率限制了它进一步发展。将微流控技术与液相脉冲激光烧蚀法相结合,在硅基微流控芯片中实现了快速高效制备晶格型(400~8...
关键词：激光制造 液相脉冲激光烧蚀法 制备效率 微流体 硅纳米结构 
仿生水稻叶表面制备及其润湿性研究被引量：14
《科学通报》2012年第15期1362-1366,共5页姚佳 王剑楠 于颜豪 杨罕 徐颖 
国家自然科学基金(60525412,61077002,90923037)资助
自然界中,水稻叶表面具有对水滴的各向异性滚动特性.正是由于这种优良的特性在功能表面、微流体等领域广泛的应用前景,水稻叶仿生研究逐渐成为研究热点.虽然最近有研究者成功地仿生了水稻叶的微结构和功能,但是技术手段比较复杂,也不能...
关键词：各向异性润湿性 超疏水 模板转写 功能材料 水稻叶表面 
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